加快國產(chǎn)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)化進程推動我國集成電路產(chǎn)業(yè)做強

加快國產(chǎn)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)化進程推動我國集成電路產(chǎn)業(yè)做強

6月24日國務院正式批準的《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》中指出了要突出"芯片設計-制造-封測-裝備材料"全產(chǎn)業(yè)鏈的布局。中國已經(jīng)是全球集成電路市場的大國，但集成電路大量依賴進口。要將我國集成電路產(chǎn)業(yè)做大做強，就一定要把我國集成電路裝備制造業(yè)搞上去。

1 我國集成電路裝備制造業(yè)現(xiàn)狀

1.1 在國家科技重大專項的支持下，一些大規(guī)模集

成電路關鍵裝備通過驗收并走進了大生產(chǎn)線

極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝科技項目（簡稱02專項），2008年-2013年共安排集成電路裝備研制項目29項，到2013年底已驗收12項，這些裝備也走進了300 mm（12英寸）極大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)線（見表1）。

1.2 國產(chǎn)集成電路先進封裝生產(chǎn)線關鍵設備產(chǎn)業(yè)化進展迅速

國產(chǎn)集成電路先進封裝生產(chǎn)線關鍵設備得到了集成電路生產(chǎn)廠商的信任和認可，實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。其中有集成電路先進封裝用勻膠機、3 μm步進式投影光刻機、用于三維芯片封裝的硅通孔刻蝕機、高密度深硅等離子刻蝕機、TSV硅通孔物理氣相沉積設備（PVD）等，這些關鍵裝備的國產(chǎn)化有力地推進了我國集成電路先進封裝產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

表1 已進入大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線的關鍵設備

1.3 國產(chǎn)集成電路硅片生產(chǎn)設備尚未進入產(chǎn)業(yè)化

在02專項的支持下，300 mm集成電路硅片生產(chǎn)設備（硅單晶生長爐、多線切割機、磨片機、拋光機）目前的γ機已通過工藝認證，但尚未進入大生產(chǎn)線。

2 我國集成電路裝備制造業(yè)存在的主要問題

2.1 市場占有率低

目前，我國大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線裝備大都依賴進口，我國大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線（8-12英寸）中的硅片和晶圓（芯片）制造裝備大都是依賴進口的（8英寸以下的生產(chǎn)線是引進翻新的二手設備），這不僅嚴重影響了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，也對我國電子信息的安全造成重大的隱患。根據(jù)中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會對我國13家主要集成電路生產(chǎn)單位的統(tǒng)計，2013年共銷售集成電路設備1093臺，銷售金額10.34億元（其中芯片制造設備約7億元），大約是當年我國半導體設備進口額的5%左右。

2.2 產(chǎn)業(yè)化進程緩慢

“十二五”期間，盡管在國家重大專項的支持下，一些關鍵設備進入了大生產(chǎn)線，并經(jīng)過了驗收，但在新建的生產(chǎn)線上，使用單位有較大的風險，在與進口設備的競爭中，國產(chǎn)設備很難擠得上去。特別是對大規(guī)模集成電路芯片制造設備國產(chǎn)化缺乏信心，使已經(jīng)在生產(chǎn)線上驗收的國產(chǎn)設備產(chǎn)業(yè)化進程艱難。目前，一些設備制造單位，已經(jīng)將集成電路設備成果應用到風險相對低的LED等其它半導體器件領域。

2.3 缺乏“領軍”的高技術人才

一些技術難度大的關鍵設備，由于缺乏“領軍”的高技術人才，久攻不下，同時也影響了集成電路生產(chǎn)線設備國產(chǎn)化的推廣。

3 我國集成電路裝備制造業(yè)發(fā)展設想

（1）對國家投資的集成電路建設工程項目，要提出集成電路生產(chǎn)線設備國產(chǎn)化的要求，推廣已經(jīng)在集成電路大生產(chǎn)線上驗收過的國產(chǎn)設備；

（2）依托國家科技專項集成電路關鍵裝備科技項目，對承擔項目的單位設備產(chǎn)業(yè)化目標要提出更高的要求，進一步推進集成電路產(chǎn)業(yè)化的進程；

（3）鼓勵和支持積極使用國產(chǎn)集成電路設備的集成電路生產(chǎn)企業(yè)，對使用首臺（套）集成電路關鍵設備給予優(yōu)惠政策，以減少承擔的風險；

（4）建設國產(chǎn)化集成電路示范生產(chǎn)線，推進我國產(chǎn)集成電路產(chǎn)業(yè)做強。

沒有國產(chǎn)的集成電路生產(chǎn)線，僅依賴進口集成電路設備的集成電路產(chǎn)業(yè)是不可能做強的，只能跟在人家后面跑，并且還要受制于人，所以建設國產(chǎn)化示范生產(chǎn)線是當務之急。從目前的市場需要和我國集成電路設備發(fā)展情況來看，建議在2～3年內(nèi)建設以下三條集成電路國產(chǎn)化示范生產(chǎn)線：300 mm集成電路硅片生產(chǎn)線；集成電路先進封裝生產(chǎn)線；200 mm，90 nm集成電路晶圓（芯片）生產(chǎn)線。

（CEPEA金存忠）