英諾推出耐等離子輻照的聚酰亞胺高功能塑料

英諾推出耐等離子輻照的聚酰亞胺高功能塑料

日前，英諾（上海）工程塑料有限公司向微電子行業客戶推出一款牌號為“N-140”的聚酰亞胺（PI）材料。該款材料耐等離子氣體輻照，綜合性能優良，可滿足半導體制造工序中對原材料的苛刻要求。

英諾聚酰亞胺制品

經過改良配方后的N-140牌號聚酰亞胺具有更好的耐等離子輻射及耐高溫性能；在等離子氣體腐蝕下更低的分解性，對晶圓造成的污染更小；其它性能如強度、絕緣性、耐磨性亦有不錯的表現。這款材料主要用在半導體前工序干法刻蝕領域及一些高端設備上的零配件；現已批量應用在國內的大型FAB企業及先進的半導體設備企業。這款高端國產聚酰亞胺材料完全自主知識產權，和國外同款類材料性能相當，可以作為替代材料來使用。在大幅度降低成本的同時，更短的交貨周期、專業的技術團隊，使客戶享受到更多本土化服務的優勢。

英諾公司N-140牌號聚酰亞胺材料具有的耐等離子輻照、耐高溫、耐摩擦、高絕緣、高強度等綜合優良性能；已廣泛應用于：半導體、液晶顯示等微電子領域；在微電子領域用N-140牌號聚酰亞胺型材加工的工件有：CLAMP RING、止動器、閥帽、固定環、隔熱帽、舟皿插片、摩擦導片、真空棒頭、熱絕緣子、水槽、運送盤、真空把手、測試基座、傳輸組件等。這些工件在特殊的工作環境中保持穩定的性能，為微電子產品良率的提升及穩定的可持續生產發揮了關鍵作用。

英諾工程塑料愿做微電子領域高端零配件及材料國產化的踐行者！我們將把一流的產品和優質的服務提供給廣大客戶。英諾公司的技術團隊為客戶量身定制完善的產品解決方案；并且愿意和客戶一起研究開發更多領域的新應用！