名詞解釋

水合拋光 水合拋光法是一種利用在工件界面上生成水合化學反應的研磨方法，其主要特點是不使用磨粒和加工液，而加工裝置又與當前使用的研磨盤或拋光機相似，只是在水蒸氣環境中進行加工。因此，要極力避免使用能與工件產生固相反應的材料作研具。

懸浮拋光 懸浮拋光技術旨在進行電子材料無畸變的超精密加工而開發的，是應用于高密度磁性薄膜及磁性材料加工的唯一途徑。懸浮拋光加工具有以下特點:研具平面可采用超精密金剛石切削;有極高的平面度、最光滑的表面和無加工變質層的表面;加工面無污染;生產效率高;操作簡單，易于生產管理。

激光打孔 激光打孔是基于聚焦后的激光具有極高的功率密度而使工件材料瞬時氣化蝕除。許多高精尖產品的關鍵零部件都設計有許多微小孔。微小孔的優質、高效、低成本加工已成為現代制造技術的關鍵問題之一。激光打孔是激光加工的主要應用領域之一，主要用于小孔、窄縫的微細加工。目前已應用于火箭發動機和柴油機的燃料噴嘴、飛機機翼、航空發動機燃燒室、渦輪葉片、化學纖維噴絲板、寶石軸承、印刷電路板、過濾器、金剛石拉絲模、硬質合金、不銹鋼等金屬和非金屬材料小孔的加工。另外已成功地用于集成電路陶瓷襯套和手術針的小孔加工。激光打孔主要特點是:1)可加工精度高、深徑比大的微小孔。2)能加工小至幾微米的小孔，而一般機械加工鉆孔只能加工直徑大于幾十微米的孔。3)可加工各種異型孔。4)能在所有金屬和非金屬材料上打孔。5)容易實現自動化，加工效率高。

激光切割 激光切割的原理和激光打孔原理基本相同，都是基于聚焦后的激光具有極高的功率密度而使工件材料瞬時氣化蝕除。所不同的是工件與激光束要相對移動，一般都是移動工件。激光切割可分為脈沖激光切割和連續激光切割兩大類。脈沖激光適用于切割金屬材料，連續激光切割適用于非金屬材料切割。與傳統切割方法相比，激光切割具有下列特征:(1)激光束聚焦后功率密度高，能夠切割任何難加工的高熔點材料、耐高溫材料和硬脆材料等。(2)切割精度高。(3)非接觸切割，被切割工件不受機械作用力、變形極小。適宜于切割玻璃、陶瓷和半導體等硬脆材料及蜂窩結構和薄板等剛性差的零件。(4)切割速度高。(5)切割的深度大。(6)切口質量優良。(7)可與計算機數控技術結合，實現加工過程自動化，改善勞動條件。

電子束光刻 用低功率密度的電子束照射工件表面雖不能引起表面的溫升，但入射電子與高分子材料的碰撞，會導致它們的分子鏈的切斷或重新聚合，從而使高分子材料的化學性質和分子量產生變化，這種現象叫電子束的化學效應，也稱為電子束曝光。利用這種效應進行加工的方法叫電子束光刻。

離子鍍覆 離子鍍覆是將一定能量的離子束轟擊某種材料制成的靶，離子將靶材粒子擊出，使其鍍覆到靶材附近的工件表面上。離子鍍所利用的也是濺射效應，但是目的不是加工而是鍍膜，以改善工件材料表面的性能。鍍覆時將鍍膜材料置于靶上，一般使靶面與離子束方向成一角度接受離子束的轟擊，被鍍工件表面應與濺射粒子運動方向相垂直。離子鍍的膜層附著力強，鍍層組織致密，可鍍材料廣泛，各種金屬、半導體、高熔點材料和某些合成材料均可鍍覆。離子鍍工藝用于對工件表面鍍覆耐磨材料、抗腐蝕材料、耐熱材料、潤滑材料以及鍍覆裝飾膜層等。

離子注入 用離子束轟擊工件表面，使離子鉆入被加工材料表面層，以改變表面層性能的方法稱為離子注入。離子注入技術主要應用在半導體參雜方面，即把磷或硼等“雜質”注入單晶硅中規定的區域及深度后，可以得到不同導電型的P型或N型和制造P-N結。也可以用來制造一些通常用熱擴散難以獲得的各種特殊要求的半導體器件。離子注入的優點在于注入元素數量和注入深度可以精確控制，注入元素的選配不受限制，注入元素的數量也不受材料溶解度的限制，注入工件表面元素的均勻性好、純度高，注入元素不受溫度限制。但是，離子注入設備昂貴、成本高、生產率低，而且還要求較高的安全性、可靠性。因此，在使用價值很高的半導體器件方面宜采用離子注入技術。

離子鍍 離子鍍是在真空條件下，利用氣體放電使氣體或被蒸發物質部分離子化，在氣體離子或被蒸發物質離子轟擊作用下同時把蒸發物沉積在基體上成膜。離子鍍兼具蒸發鍍的沉積速度快和濺射鍍的離子轟擊清潔表面的特點，特別具有膜層附著力強、繞射性好、可鍍材料廣泛等特點，因此這一技術獲得了迅速的發展。

關節機器人 關節機器人的運動類似人的手臂，由大小兩臂和立柱等機構組成。大小臂之間用鉸鏈聯接形成肘關節，大臂和立柱聯接形成肩關節，可實現三個方向旋轉運動。它能抓取靠近機座的物件，也能繞過機體和目標間的障礙物去抓取物件，具有較高的運動速度和極好的靈活性，成為最通用的機器人。

加熱切削 加熱切削方法是在機械加工過程中引入熱能的復合加工方法。在切削或磨削過程中，用熱源加熱工件的待加工區，以改善材料的切削加工性，使難加工材料的切削得以順利進行。利用加熱切削法，不但可減小切削力，提高切削速度，減少刀具磨損，而且還可以降低表面粗糙度，提高加工表面的質量。加熱切削的熱源種類很多，其中通電加熱、焊炬加熱、整體加熱、火焰和感應局部加熱及導電加熱，通稱為一般熱源。但這些熱源都存在加熱區過大、熱效率低、溫控困難、加工質量難以保證等問題，使加熱切削不理想，因而難以應用到生產實際中去。此外，還有等離子弧和激光束熱源。目前，加熱切削的加熱方式主要有用于毛坯預加工的整體加熱和用于粗加工的等離子弧感應加熱，以及用于半精加工和精加工的導電加熱和激光加熱。