2015年元旦前夕,國家質檢總局、國家標準化管理委員會發布公告,《電子工業用氣體高純氯》和《電子工業用氣體氯化氫》正式頒布。
參與這兩項標準制修訂工作的中昊光明化工研究設計院有限公司相關人士表示,高純氯和氯化氫是電子工業的重要原材料,它們主要在半導體制備過程中用作刻蝕劑和清洗劑等。這兩項國家標準的制修訂對于規范高純氯和氯化氫產品的研發、生產和使用,提升行業技術水平都將起到有力的促進作用。
低溫與特氣2015年1期
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