基于MCM技術的X波段四通道T/R組件設計

季 帥 張慧鋒 嚴少敏 潘栓龍

(西安導航技術研究所 西安 710068)

0 引言

有源相控陣雷達是現代雷達發展的一個重要方向，其應用前景廣闊，已受到各國的廣泛重視并得到大力發展。T/R 組件是有源相控陣雷達的最關鍵部分之一，其性能、成本直接決定著雷達系統的設計，在有源相控陣雷達中起著舉足輕重的作用。小尺寸、高性能的T/R 組件研制在現代雷達系統中的作用愈發重要。低溫共燒陶瓷(LTCC)技術是一種高集成度高密度多層電路封裝技術，其3D 結構為傳統微波介質板電路設計引入了全新的思路與實現方式［1-2］。

LTCC 技術是MCM 技術微波電路中的核心，該技術的工藝流程概述如下:利用低溫燒結陶瓷粉形成高密度且厚度精確的生瓷帶，采用激光打孔、精密導體漿料印刷等方式在生瓷帶上形成所需要的電路，同時將無源元件深埋其中，內部設計有互連導體，經疊壓后，在900℃下高溫燒結，制成3D 電路網絡的無源集成組件，形成的電路表面可以貼裝各種裸芯片，也可制成內置無源元件的3D 電路基板，形成成無源/有源集成的功能模塊【3】。

本文采用LTCC 基片、陶瓷基片等簡單成熟工藝，利用高密度封裝技術—多芯片組件(Multi-Chip Module，簡稱為MCM)技術和微帶混合集成電路技術實現了對X 波段T/R 組件的封裝設計。該封裝具有集成度高、散熱性好和可靠性高等特點，能夠應用于X 波段二維有源相控陣T/R 子陣的工程研制。

1 設計原理

T/R 組件的構成一般可以分成射頻電路、控制電路、電源三個部分，其電路原理圖如圖1所示。其中射頻電路主要完成發射信號的高功率放大過程和回波信號的低噪聲放大接收過程;控制電路主要功能有以下兩種:一是為射頻電路中的數控移相器、數控衰減器提供數字控制信號，二是為射頻電路收發開關提供控制信號切換電路的發射、接收狀態;電源為射頻電路中的有源元器件和控制電路中的數控器件提供必要的直流電信號。

圖1 組件電路原理圖

本文所設計的T/R 組件考慮其生產批量性，采用四通道方式實現，其射頻電路部分主要包括射頻功能部分和功率分配部分。射頻功能部分主要完成收發切換、功率放大、低噪聲接收、移相衰減、定標耦合等功能;功率分配主要完成四路回波信號的功率合成和發射激勵信號的四等分功率分配。

2 組件收發鏈路

本文所設計的四通道T/R 組件主要采用微帶混合集成電路和多芯片組裝(MCM)技術實現。MCM(多芯片組裝)技術是指將多個無外部封裝的芯片安裝于高集成度高密度多層電路基板上，并將該電路基板封裝于高密度封閉的管殼或腔體內，利用MCM 組裝技術結合微帶混合集成電路技術完成微波電路設計可以大幅減小系統的體積和復雜程度。

單通道組件的收發鏈路如圖2所示，發射通道包含隔離器、GsAs 前級驅動放大器、GsAs 功率放大器;接收通道包含限幅器、GsAs 低噪聲放大器;公共通道包含多功能芯片、環形器和定標耦合器。其中，隔離器的作用是防止回波信號泄露至發射通道，該泄露信號經發射通道放大后將由環形器耦合至接收通道阻塞接收機，影響系統的接收性能;多功能芯片的主要功能主要包括數控衰減、數控移相和功率放大;環形器主要完成收發開關的作用，用于切換組件收發狀態;定標耦合器主要完成發射的定標耦合輸出和接收時的定標耦合輸入。

圖2 收發鏈路示意圖

2.1 發射鏈路計算

根據所選取的器件，末級功率放大器工作在飽和放大狀態時，其飽和輸出功率為41dBm，該放大器后端由環形器、定向耦合器和微波接插件引入功率損耗，由工程計算，衰減約1.4dB，故發射通道功率輸出為39.6dBm，即9W。

2.2 接收鏈路計算

噪聲系數是衡量接收機性能的一個很重要的指標，由公式(1)可以看出總噪聲系數和接收鏈路前幾級器件密切相關，即耦合器、環形器、限幅器。

由鏈路仿真軟件計算可知接收通道噪聲系數為3.11dB，增益為30.3dB，鏈路仿真軟件計算過程如圖3所示。

圖3 接收鏈路計算示意圖

3 無源電路設計

3.1 微波電路三維垂直互聯結構

射頻微波電路垂直互聯結構，主要采用的是中心通孔結合周邊接地孔實現互聯，其中通孔傳輸微波信號，周邊接地孔為微波地，其特性阻抗可根據同軸傳輸線的計算得出［7］:

其中d 為中心通孔直徑，D 為周邊接地孔分布圓環的直徑。

通孔在電路中引入的是寄生電感，電感值可由式(3)求得，在通孔的表面加焊盤可以引入寄生電容，電容值可由式(4)求得，其中a 為傳輸線與接地孔焊盤的間距，b 為傳輸線的寬度;c 為垂直互聯過孔的焊盤直徑;d 為垂直互聯過孔的孔徑，h 為通孔的深度，通過調節這幾個參數的值就可以使寄生電感與寄生電容相互抵消，從而實現上下層電路的匹配，信號實現互通【4-5】。

通過計算求得d，D 以及焊盤直徑，用三維電磁場仿真軟件HFSS 進行建模仿真，仿真模型如圖4所示，通過對各參數進行優化，得到符合指標要求的電路參數。

圖4 垂直互聯仿真模型

仿真結果如圖5所示:

圖5 垂直互聯結構的S 參數

從圖5 中可以看出垂直互聯結構的駐波在1.3以內，插損在0.1dB 以內，達到了匹配傳輸的要求。

3.2 功分LTCC 電路板的設計

功分器主要完成四個收發通道的功率分配和合成，在發射時用作發射激勵信號的功率分配，接收時完成四路接收信號的功率合成。LTCC(低溫共燒陶瓷)技術是一種高集成度高密度多層電路封裝技術，其3D 結構為現代微波收發組件設計引入了全新的思路與實現方式。

利用LTCC 技術完成傳統微帶功分器的設計，一方面可以在LTCC 電路表層完成MMIC 裸芯片的組裝;另一方面，將功分器設計在LTCC 多層電路基板中并通過通孔完成與表層芯片的互連，使得微波傳輸線變短，進而大幅度提高了組裝密度，改善了收發組件的頻率特性和傳輸效率;其三，由于采用通孔完成了多層電路板內部的微波傳輸，減小了組件的互連寄生參數，有利于提高收發組件系統的帶寬和性能指標;其四，將該LTCC 功分器置于LTCC 基板底層，可實現微波電路的良好接地，保證微波信號的傳輸性能。

所設計的LTCC 功分器仿真結構圖如圖6所示，仿真結果如圖7所示。功分器為一分四一級威爾金斯功分器，采用階梯型阻抗匹配，利用輸出端口間串聯的隔離電阻可實現輸出端口間的信號隔離。本文選用金為導體，板材厚度為0.635mm，介電常數為9.9，50Ω 阻抗線寬為0.6mm，70.7Ω 阻抗線為0.23mm，采用薄膜電阻作為100Ω 隔離電阻。

功分器的仿真結構和仿真結果如圖6、圖7所示:在X 波段8-11GHz，如圖所示，四個輸出端口公分比均為6.4dB，匹配度良好，所設計的LTCC 功分器最終電路版圖如圖8所示。

圖7 LTCC 功分器仿真結果圖

圖8 LTCC 功分器布版圖

3.3 定標耦合器的設計

定標耦合器主要完成發射的定標耦合輸出和接收時的定標耦合輸入，本文采用陶瓷片作為介質基片實現定標耦合器的設計以保證更高的耦合精度和一致性。仿真結構如圖9所示:

選用介電常數為10.6 的陶瓷片作為定標耦合器的介質基板，金作為導體，板材厚度為0.508mm，50Ω 阻抗線寬為0.64mm，采用薄膜電阻作為50Ω接地電阻，仿真結果如圖10所示，端口耦合度為22dB，隔離度為27dB。

圖9 定標耦合器仿真結構圖

圖10 定標耦合器仿真結果

4 MCM 微組裝電路設計

在MCM 微組裝電路設計中，為保證組件系統的微波傳輸性能，需實現高密度多層微波基板以及射頻芯片與微波組件外部封裝腔體的有效燒結，以實現基板和芯片的良好接地和散熱。燒結的方式主要有以下兩種:其一是利用高性能導電膠直接進行粘接;其二是在高溫下利用金鍺、金錫等導電良好的金屬完成燒結。本收發組件中所涉及到的功率芯片屬于中小功率微波放大器件范疇，對散熱要求不高，故本文采用導電膠粘接的方式來實現收發組件系統的微組裝。

在微組裝電路設計過程中，芯片與芯片、芯片與微帶線的互聯多采用金絲線鍵合的方式實現，故金絲鍵合線的性能指標對微波信號的傳輸特性至關重要。微組裝中所采用的金絲鍵合線的等效電路模型如圖11所示【6】。

圖11 金絲鍵合等效電路模型

對長度為l(mm)、直徑為d(mm)的金絲鍵合線，其串聯電感L(H)和串聯電阻R(Ω)可由以公式表征:

當d/ds≤3.394 時:

當d/ds≥3.394 時:

其中:μ0為空氣介質的磁導率;μr為金絲鍵合線介質的相對磁導率;ρ 和ds分別為金絲鍵合線介質材料的電阻率和趨膚深度。

在設計由放大器、混頻器等微波器件構成的多芯片鏈路微波電路時，用于連接芯片輸入、輸出端口的金絲鍵合線，其特性阻抗需設計為50Ω，以保證與芯片輸入、輸出端口的阻抗匹配特性。一般情況下，金絲鍵合線拱高與跨距應滿足以下設計要求:同跨距情況下，保證金絲鍵合線的拱高盡量低;同拱高情況下，金絲鍵合線的跨距盡量短;采用金絲完成芯片鍵合時，盡量采用2 ～3 根金絲完成芯片的鍵合，以保證電路組裝的穩定度以及芯片對輸入功率、電流的要求。

5 電磁兼容性設計

T/R 組件中，射頻器件多，高低功率器件裝在一起，空間耦合影響大，電磁兼容問題很嚴重，一是各功能模塊電路之間的相互影響，如發射通道和接收通道之間、微波電路和波控電路之間，二是通道之間的相互耦合。

本文主要采用腔體隔離的方法來實現各功能電路及發射、接收通道間的電磁干擾隔離。進行組件的分腔設計時，要防止組件的腔體出現諧振。若將組件腔體視為矩形波導，則存在一定的諧振頻率，當工作頻率接近于諧振頻率時，內部的微波器件器件將不能正常工作。腔體對應的截止頻率fc應是工作頻率f 的3 ～4 倍，而腔體的寬度可由公式:w=c/2fc得出，該腔體寬度將有效減小輻射信號對微波元器件的影響，而腔體的高度應是微帶板厚度的10倍以上，同時小于其寬度W。根據該方式進行組件的分腔設計將有效提高組件內器件的工作效能，并提高各通道、功能電路的電磁隔離度。

為了改善通道之間的隔離度，擬采用如圖12所示的方式，設計腔體時將其內隔墻抬高，以嵌入內蓋板對應的隔板槽內，此時即使內蓋板未能與腔體緊密接合，通過內凹槽的結構也能夠顯著改善通道間的隔離度。

圖12 改善通道隔離的內嵌蓋板結構

6 結束語

本文采用LTCC 基片、陶瓷基片等簡單成熟工藝，利用高密度封裝技術—多芯片組件(Multi-Chip Module，簡稱為MCM)技術實現了對X 波段T/R 組件的封裝設計。該封裝具有集成度高、散熱性好和可靠性高等特點，能夠應用于X 頻段二維有源相控陣T/R 子陣的工程研制。

［1］Reinhold Ludwig，Pavel Bretchko Active RF Components［J］.RF circuit design Theory and Application，2002.

［2］J-M.Dieudonne，B.Adelseck，Advanced MMIC components for Ka-band communication systems，a survey，IEEE microwave systems conference，1995.

［3］Vafa-Sedghi，Abdolali-Abdipour，Ahbas-Mohammadi，A flat conversion gain sub-harmonically pumped image rejection mixer in MM-Wave band.Microwave and Millimeter Wave Technology，2004.ICMMT 4th International Conference on，2004，8:312-315.

［4］Cohn，S.B，Characteristic Impedance of Shielded Strip Transmission Line，IRE Trans.Microwave Theory Tech.，1954，2:52-55.

［5］Bahl，I.J.，and R.Garg，Designer's Guide to Stripline Circuits，［J］Microwaves，1978，17:69-90.

［6］Gunston，M.A.R.，Microwave Transmission-Line ImpedanceData［M］，VanNostrand-reinhold，London，1972.