海歸博士：打造光刻膠的國產(chǎn)夢

孫樹寶

“對于中國的光刻膠市場，大約92%的產(chǎn)品來自國外，國內(nèi)的生產(chǎn)不足8%，我所努力的就是8%之外的光刻膠生產(chǎn)。”海歸博士孫遜運說。孫遜運這樣說，也是這樣做的。光刻膠，又名光阻，是半導體芯片制造工業(yè)的核心材料，而芯片又是國防、航天、航行、信息、科研等多個領域在內(nèi)的關鍵技術(shù)。目前，國內(nèi)企業(yè)對于光刻膠的需求多數(shù)依賴進口。為了打破國外對高端光刻膠的壟斷，2010年，先后獲得加拿大戴爾豪斯大學博士、美國密蘇里大學博士后的孫遜運，回到山東濰坊高新區(qū)創(chuàng)立了公司，致力于光刻膠的研發(fā)和生產(chǎn)。

在這之前，曾獲得美國國家科學基金企業(yè)創(chuàng)新研究獎的孫遜運，長期擔任美國一家知名科技公司資深科學家，并已獲得3項美國專利、1項日本專利和2項中國專利。光刻膠的實驗和生產(chǎn)要求極為嚴格，僅是對于生產(chǎn)操作間就必須要達到百級凈化標準，特殊工序甚至要求達到十級凈化標準，為了避免感光還要求在黃色光源下進行。就是靠著這些嚴格的外在標準、細膩的思維和耐得住寂寞的潛心研究，孫遜運博士和他的創(chuàng)業(yè)團隊，已申請注冊了高硅光刻膠的5項專利技術(shù)。這些專利是目前世界上唯一的高硅光刻膠技術(shù)。2013年6月，擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的光刻膠進入量產(chǎn)階段，首批投產(chǎn)的30加侖光刻膠投放市場，用于LED芯片的加工，這標志著有5萬片LED芯片內(nèi)有了中國“心”。