金屬顆粒燒結型流導性能研究初探*

王金庫 于紅燕 葛楚鑫

(中國計量科學研究院，北京 100029)

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金屬顆粒燒結型流導性能研究初探*

王金庫 于紅燕 葛楚鑫

(中國計量科學研究院，北京 100029)

通過實驗的方法研究了粒徑在1μm以下的不銹鋼金屬顆粒燒結成的流導元件特性。該種形式流導在上游壓力為10kPa下即可進入分子流區域，且上游壓力在100Pa～100kPa范圍內流導值變化只有10%。流導元件的溫度系數約0.2%/K。在分子流狀態下，不同氣體的流導值之比與氣體分子量平方根之比成反比，但有一定的偏差。這些特性使得金屬顆粒燒結型流導在真空漏率校準裝置、動態流導法真空校準裝置及真空分壓力校準裝置中具有廣泛的應用價值。

微小流導；微小氣體流量；分子流；流導測量方法

0 引言

已知流導值的微小流導元件，可用于真空漏率校準裝置、動態流導法真空校準裝置中。流導通常可以采用定壓法、定容法和線性規法測量,其中定壓法測量精度最高。但在流導上游壓力小于100Pa量級時，由于定壓式氣體微流量計受內部結構吸放氣的影響而使測量精度逐漸變差。當流導元件內流導處于分子流狀態時，其流導值與壓力無關。因此當流導元件能夠在上游壓力高于100Pa進入分子流狀態，即可在上游壓力高于100Pa時測量流導值，以獲得較高精度的流導值。而在上游壓力低于100Pa時使用，可代替流量計提供更小且更準確的微小流量，從而擴展真空漏率校準裝置和動態流導法真空校準裝置的測量下限。通過在兩個或多個該類型元件前施加不同氣體和上游壓力，可以方便的為高真空下真空分壓力校準裝置提供微小流量，調節不同氣體的分壓力值。……