高品質汽車測試套件的細胞感知經驗

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高品質汽車測試套件的細胞感知經驗

介紹一種基于CMOS（互補金屬氧化物半導體）來提高高品質汽車設計中整體缺陷覆蓋率的方法，給出具有216個高電壓閥值細胞的細胞感知結果流，并通過對數百萬個零部件進行測試，獲得了130nm制造工藝（集成電路的一種高技術制造工藝）的模式生成流和大生產測試結果。細胞感知（CA）測試是檢測細胞內橋、開路、耗散及高阻性晶體管缺陷，是現有測試方法無法實現的技術。

本研究針對130nm制造工藝的產品測試，對CA、停滯（stuckat, SA）和過渡延遲（transition delay, TR）3種測試方法進行比較，驗證了3種方法對該工藝的有效性，并分析了3種測試方法的缺陷覆蓋率。研究發現，CA測試相比SA和TR測試，缺陷覆蓋率分別擴展0.63%和3.83%。研究得出，不同細胞結構的缺陷覆蓋率擴展程度不同，介紹了對新增缺陷覆蓋率貢獻最大的3種細胞結構，新增缺陷只能通過CA測試方法檢測。

研究表明，CA測試方法更適用于高品質汽車的設計。在汽車設計中，由于零百萬分率策略是首要追求目標，不能做出任何質量方面的妥協，因此分析整體缺陷率十分重要。

在130nm制造工藝中，CA方法在第1次晶圓測試試驗中檢測出多個CA缺陷部件，在不同溫度的第2次晶圓測試中，仍能檢測出一些特殊CA缺陷部件。

CA測試方法是當前停滯與過渡延遲測試方法的一種擴展，有望通過提高細胞感知測試檢CA測質量而取消當前的停滯與過渡延遲測試。

F.Hapke et al.19th IEEE European Test Symposium (ETS),2014.

編譯：王迪