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M5111-6/UM型五管軟著陸擴散爐研制

2016-08-24 09:39:59謝于柳禹慶榮許爍爍朱奕漪
電子工業專用設備 2016年8期
關鍵詞:工藝設備

謝于柳,禹慶榮,許爍爍,朱奕漪

(中國電子科技集團公司第四十八研究所,湖南長沙410111)

M5111-6/UM型五管軟著陸擴散爐研制

謝于柳,禹慶榮,許爍爍,朱奕漪

(中國電子科技集團公司第四十八研究所,湖南長沙410111)

M5111-6/UM型五管軟著陸擴散爐用于晶體硅太陽能電池片擴散工藝,具有全自動化、高產能、減壓擴散等特點,介紹該型號設備結構組成及性能,并給出了工藝結果,結果表明該設備各方面性能均已達到國內領先水平。

太陽能電池;擴散工藝;減壓擴散爐

光伏產業正處于加快調整期,市場“倒逼機制”加速企業重組,提高電池產線的工藝技術和裝備水平,淘汰落后產能。設備作為光伏產業的基礎和支撐,一代裝備支撐一代工藝技術,隨著半導體技術的不斷引入光伏產業,傳統電池線的工藝設備得到發展[1],擴散工藝技術有從常壓向減壓發展趨勢,而工藝設備有由單臺自動化向整線全自動化發展的趨勢,更高的產能是市場經濟的一個永恒的主題。擴散爐是晶體硅光伏電池生產工藝中的關鍵工藝設備,用來在硅襯底表面進行摻雜制備pn結結構。pn結是晶體硅太陽能電池將光能轉化成電能的核心,因此擴散爐性能的優劣直接決定晶體硅太陽能電池的光電轉換效率[2]。傳統的擴散工藝采用常壓擴散,即石英管內為常壓或微正壓。隨著太陽能電池擴散工藝向淺結高方阻方向發展,傳統的常壓擴散對硅片摻雜均勻性

中國電子科技集團公司第四十……

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