M5111-6/UM型五管軟著陸擴(kuò)散爐研制

謝于柳，禹慶榮，許爍爍，朱奕漪

（中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所，湖南長(zhǎng)沙410111）

M5111-6/UM型五管軟著陸擴(kuò)散爐研制

謝于柳，禹慶榮，許爍爍，朱奕漪

（中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所，湖南長(zhǎng)沙410111）

M5111-6/UM型五管軟著陸擴(kuò)散爐用于晶體硅太陽能電池片擴(kuò)散工藝，具有全自動(dòng)化、高產(chǎn)能、減壓擴(kuò)散等特點(diǎn)，介紹該型號(hào)設(shè)備結(jié)構(gòu)組成及性能，并給出了工藝結(jié)果，結(jié)果表明該設(shè)備各方面性能均已達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平。

太陽能電池；擴(kuò)散工藝；減壓擴(kuò)散爐

光伏產(chǎn)業(yè)正處于加快調(diào)整期，市場(chǎng)“倒逼機(jī)制”加速企業(yè)重組，提高電池產(chǎn)線的工藝技術(shù)和裝備水平，淘汰落后產(chǎn)能。設(shè)備作為光伏產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)和支撐，一代裝備支撐一代工藝技術(shù)，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷引入光伏產(chǎn)業(yè)，傳統(tǒng)電池線的工藝設(shè)備得到發(fā)展［1］，擴(kuò)散工藝技術(shù)有從常壓向減壓發(fā)展趨勢(shì)，而工藝設(shè)備有由單臺(tái)自動(dòng)化向整線全自動(dòng)化發(fā)展的趨勢(shì)，更高的產(chǎn)能是市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)的一個(gè)永恒的主題。擴(kuò)散爐是晶體硅光伏電池生產(chǎn)工藝中的關(guān)鍵工藝設(shè)備，用來在硅襯底表面進(jìn)行摻雜制備pn結(jié)結(jié)構(gòu)。pn結(jié)是晶體硅太陽能電池將光能轉(zhuǎn)化成電能的核心，因此擴(kuò)散爐性能的優(yōu)劣直接決定晶體硅太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率［2］。傳統(tǒng)的擴(kuò)散工藝采用常壓擴(kuò)散，即石英管內(nèi)為常壓或微正壓。隨著太陽能電池?cái)U(kuò)散工藝向淺結(jié)高方阻方向發(fā)展，傳統(tǒng)的常壓擴(kuò)散對(duì)硅片摻雜均勻性

中國電子科技集團(tuán)公司第四十……