M5111-6/UM型五管軟著陸擴散爐研制

謝于柳，禹慶榮，許爍爍，朱奕漪

（中國電子科技集團公司第四十八研究所，湖南長沙410111）

M5111-6/UM型五管軟著陸擴散爐研制

謝于柳，禹慶榮，許爍爍，朱奕漪

（中國電子科技集團公司第四十八研究所，湖南長沙410111）

M5111-6/UM型五管軟著陸擴散爐用于晶體硅太陽能電池片擴散工藝，具有全自動化、高產能、減壓擴散等特點，介紹該型號設備結構組成及性能，并給出了工藝結果，結果表明該設備各方面性能均已達到國內領先水平。

太陽能電池；擴散工藝；減壓擴散爐

光伏產業正處于加快調整期，市場“倒逼機制”加速企業重組，提高電池產線的工藝技術和裝備水平，淘汰落后產能。設備作為光伏產業的基礎和支撐，一代裝備支撐一代工藝技術，隨著半導體技術的不斷引入光伏產業，傳統電池線的工藝設備得到發展［1］，擴散工藝技術有從常壓向減壓發展趨勢，而工藝設備有由單臺自動化向整線全自動化發展的趨勢，更高的產能是市場經濟的一個永恒的主題。擴散爐是晶體硅光伏電池生產工藝中的關鍵工藝設備，用來在硅襯底表面進行摻雜制備pn結結構。pn結是晶體硅太陽能電池將光能轉化成電能的核心，因此擴散爐性能的優劣直接決定晶體硅太陽能電池的光電轉換效率［2］。傳統的擴散工藝采用常壓擴散，即石英管內為常壓或微正壓。隨著太陽能電池擴散工藝向淺結高方阻方向發展，傳統的常壓擴散對硅片摻雜均勻性

中國電子科技集團公司第四十……