應用材料公司推出下一代電子束檢測設備具有業內最高的分辨率

應用材料公司推出下一代電子束檢測設備具有業內最高的分辨率

應用材料公司日前宣布其下一代電子束檢測系統已在多家領先的晶圓代工廠，以及邏輯芯片、DRAM和3D NAND工廠得到廣泛應用。隨著客戶逐漸轉向更先進的技術節點，這款新一代電子束檢測系統能夠為其提供最高的分辨率和圖像質量，同時保持最快的檢測速度。

應用材料公司新的PROVisionTM系統是目前業界最先進的電子束檢測工具，結合了應用材料公司在電子束復查和測量領域長達20多年的領先經驗和最新創新成果。作為唯一的電子束熱點檢測工具，該系統提供精確到1 nm的分辨率，使客戶能夠準確檢測出其他技術無法識別的“致命”缺陷，同時監測工藝窗口邊緣情況，從而迅速解決進入產量的問題，顯著提高良率。

“PROVision系統是我們先進電子束檢測技術產品目錄中的又一新產品，同時也是應用材料公司發展戰略中的一個重要組成部分。”應用材料公司副總裁兼成像和工藝測控部門總經理Bob Perlmutter表示：“我們與眾不同的電子束技術在行業中處于領先地位，通過結合客戶的最新檢測方法，使PROVision系統不僅可以應用于研發階段，而且還可以使用于實際生產環境中。”

目前，PROVision系統已獲得良好的市場反響，已發貨十余臺，其中包括來自一家領先的代工廠商和一家主要的存儲器制造商的重復訂單。2016年下半年預計還將有多臺設備銷售給現有客戶和新客戶。

與現有的電子束熱點檢測工具相比，PROVision系統可使檢測速度提高3倍，確保在整個產品生產周期中對影響性能和良率的缺陷進行準確的表征、預判和識別，從而進一步充實了應用材料公司現有的電子束復查、量測產品線和光學的帶圖型的晶片檢測產品線。