長程面形儀測量數據的擬合方法

童新宇彭川黔，3何玉梅王 劼（中國科學院上海應用物理研究所 張江園區 上海 20204）2（中國科學院大學 北京 00049）3（重慶理工大學 重慶 400050）

長程面形儀測量數據的擬合方法

童新宇1，2彭川黔1，2，3何玉梅1王 劼1
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（中國科學院上海應用物理研究所 張江園區 上海 201204）2（中國科學院大學 北京 100049）3（重慶理工大學 重慶 400050）

為了尋找一種適用于長程面形儀（Long Trace Profiler， LTP）測量數據的曲線擬合算法，提高同步輻射用光學反射鏡表面幾何參數擬合的準確性，并合理可靠地評價同步輻射用光學反射鏡表面質量，本文對鏡面曲率半徑、測量環境噪聲和鏡面測量姿態這三個可能影響鏡面幾何參數擬合精度的因素進行了數值模擬，采用基于代數距離的最小二乘法、基于幾何距離的最小二乘法和遺傳算法對模擬面形進行了擬合對比。結果表明，基于幾何距離的最小二乘法對以上三個因素均不敏感，最適合長程面形儀測量數據的擬合。該方法能夠給上海同步輻射光源反射鏡的面形檢測提供一定的參考價值。

長程面形儀，曲線擬合算法，同步輻射，表面質量

隨著同步輻射技術的應用研究不斷深入，科研工作者對同步輻射光束線的性能要求越來越高，在某些領域光束線聚焦后的光斑尺寸需求由微米量級提高到納米量級［1-2］，這對同步輻射用光學反射鏡的表面質量提出了很高的要求。鏡面面形誤差的均方根（Root Mean Square， RMS）是評價鏡面質量的一個重要指標，美國布魯克海文國家實驗室提出用于第三代同步輻射光源的光學反射鏡的面形誤差RMS值應優于50nm［3-4］，這使得精確地檢測反射鏡面形并合理地評價其表面質量顯得尤為重要。……