碳納米管互連技術新進展

楊立軍，　崔健磊, ，　王　揚，　梅雪松，　王文君,　謝　暉

(1.哈爾濱工業大學 機器人技術與系統國家重點實驗室，黑龍江 哈爾濱150001；2.哈爾濱工業大學 先進焊接與連接國家重點實驗室，黑龍江 哈爾濱150001；3.西安交通大學 機械制造系統工程國家重點實驗室，陜西 西安710049)

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碳納米管互連技術新進展

楊立軍1, 2，崔健磊1, 2, 3，王揚1，梅雪松3，王文君3,謝暉1

(1.哈爾濱工業大學 機器人技術與系統國家重點實驗室，黑龍江 哈爾濱150001；2.哈爾濱工業大學 先進焊接與連接國家重點實驗室，黑龍江 哈爾濱150001；3.西安交通大學 機械制造系統工程國家重點實驗室，陜西 西安710049)

隨著功能器件互連導線的規模逐漸擴大，導線的尺寸不斷減小，量子效應明顯加強，未來將導致目前采用銅互連技術的微納功能器件無法遵循傳統半導體物理的原理工作。碳納米管憑借其獨特的一維納米結構而具有優越的電學、熱學及機械等性能，有望取代銅連線而成為下一代芯片的互連導線材料，而碳納米管的互連技術則是結構制造、功能器件制備或其組裝不可或缺的重要環節，現已成為國際新材料領域的研究前沿和熱點，本文詳細概述碳納米管作為互連導線的優越性能、互連形式、互連技術的最新研究進展以及應用前景。

碳納米管； 性能； 互連； 應用前景

1　前言

互連技術，就是將同一芯片內各個獨立的元器件，通過一定的方式連接成具有一定功能的電路模塊的技術[1]。為了保證實現電路模塊運行的可靠性及穩……