集成電路測試移機評價方法

何燕青

（中國電子科技集團公司第58研究所，江蘇無錫214072）

集成電路測試移機評價方法

何燕青

（中國電子科技集團公司第58研究所，江蘇無錫214072）

集成電路測試是可靠性檢測中最重要的檢測手段。隨著產品需求擴大和檢測設備與系統的提升，就存在檢測過程中設備的更新或老設備的報廢和淘汰、因檢測產能擴充而增加新設備、更換檢測單位等等情況。如何保證測試平臺前后測試的重復性、一致性、相關性等都是用戶非常關注的內容。將測試移機與產品測試驗證相結合，評估新的測試平臺是否滿足準確、有效、可靠性的符合程度，降低測試測量誤差，使測量值與產品實際真值接近。通過測試移機前后數據的相關系數來判斷變更后測試的有效性，評價測量結果判斷被測件的移機是否一致或存在測試結果明顯偏移。

測試移機驗證；重復性；復現性；一致性；相關性

1　　引言

集成電路測試是對集成電路或模塊進行檢測，通過測量對于集成電路的輸出和預期輸出進行比較，以確定或評估集成電路元器件功能和性能的過程，它是驗證設計、監控生產、分析實效以及指導應用的重要手段。集成電路大部分都會使用測試系統，測試系統的基本任務是測試輸入應用與被測器件，并分析其輸出的正確性，最后經過分析處理得到測試結果。

圖1　集成電路測試過程

集成電路測試的準確性、有效性對于產品質量是非常重要的。測試系統的更新和測試系統的更換非常常見，如何確認測試系統移機前后是否存在方法的偏移、測試準確有效是需要關注和分析的?！?br>