一種利用迭代法實現的熔絲修調方案

（中國電子科技集團公司第58研究所，江蘇 無錫 214035）

一種利用迭代法實現的熔絲修調方案

吳熙文，顧衛民

（中國電子科技集團公司第58研究所，江蘇 無錫 214035）

隨著集成電路的迅速發展，測試過程中熔絲修調的精度受到越來越多的重視。在某些產品熔絲步距一致性欠佳的情況下，傳統的查表法熔絲修調方案已經無法滿足當下的精度要求，從而表現為測試過程中區域性或批次性的低良率，造成人力、物力的損失。將迭代法應用到熔絲表的計算中去成為了提升測試精度的必然趨勢。采用迭代法的熔絲方案可以根據圓片當前區域的熔絲步距實時調整熔絲表，提升測試良率和測試精度。

熔絲修調；迭代法；熔絲步距

1 引言

熔絲是集成電路生產中所使用的一項重要技術。在圓片測試時，可以根據電路實際基準值在一定范圍內進行修調，使出廠電路的基準值更加精確，一致性更好。當前的熔絲修調方案以查表法為主，即在測得基準初始值以后，根據芯片設計公司提供的Trimming Table（如表1所示）進行修調，使基準值更接近目標值。由于圓片工藝上的缺陷，某些產品的實際熔絲步距按區域變化，與理論值存在差異，如果再按照理論的Trimming Table進行修調，修調后的基準值會存在偏差，當差異過大時可導致整片圓片報廢，帶來經濟損失。為了減少因工藝上的缺陷所帶來的損失，本文研究了利用迭代法實現的熔絲修調方案。迭代法也稱輾轉法，是一種不斷用變量的舊值遞推新值的過程，應用于熔絲修調中即為一種不斷用前一顆Die的熔絲步距應用于下一顆Die中去的過程?！?br>