三維功率MOSFET器件漏極持續電流分析方法

林潔馨　楊發順　馬奎　唐昭煥　傅興華

摘 要： 二維功率MOSFET器件的漏極持續電流是一個受限于封裝形式和芯片設計的極限參數，傳統分析方法是通過器件的最大耗散功率對其進行評估。基于三維集成技術的功率MOSFET器件，散熱路徑熱阻難于精確確定，故提出一種針對三維集成功率MOSFET器件，以晶格自加熱效應為基礎的漏極持續電流分析方法，并以一顆開關工作狀態下的100 V功率VDMOS器件為研究對象，在正向設計階段分析了功率VDMOS器件漏極持續電流的導通偏置條件。最后通過流片結果驗證了該方法的可行性。

關鍵詞： 漏極持續電流； 三維集成； 自加熱效應； 導通偏置條件

中圖分類號： TN722.7+3?34； TN104.2?34 文獻標識碼： A 文章編號： 1004?373X（2016）24?0137?04

Analysis method of drain sustained current of 3D power MOSFET

LIN Jiexin， YANG Fashun， MA Kui， TANG Zhaohuan， FU Xinghua

（College of Big Data and Information Engineering， Guizhou University， Guiyang 550025， China）

Abstract： The drain sustained current of 2D power MOSFET is an absolute parameter limited by encapsulation mode and chip design， and is evaluated by the traditional analysis method via the maximum dissipation power of devices. It is difficult to determine the accurate thermal dissipation resistance of the power MOSFET based on 3D integration technology， so a drain sustained current analysis method based on the lattice self?heating effect is proposed for the 3D integration power MOSFET. A 100 V power VDMOS working at switching state is taken as the research object to analyze the breakover bias conditions of the drain sustained current of the power VDMOS in forward design phase. The feasibility of the method was verified by stream chip results.

Keywords： drain sustained current； 3D integration； self?heating effect； breakover bias condition

功率MOSFET器件作為電力電子設備中的主要元件之一，廣泛地應用于各種高速開關電路、開關電源、高功率放大電路、電力轉換電路、電機變頻調速、控制電路與功率負載之間的開關電路等[1]。目前，高可靠功率MOSFET器件的制作工藝仍然以平面集成工藝為主，器件面積將隨著電流容量的增大而增大，而且隨著集成度的提高，信號延遲時間及互連線功耗也將越來越大。2007年，國際半導體技術藍圖（ITRS）提出三維集成將成為克服信號延遲導致“布線危機”的關鍵技術[2]。將多層平面功率MOSFET芯片堆疊起來，通過硅通孔（Through Silicon Via，TSV）來實現各層之間的互連，在保證芯片面積不變的前提下提高芯片上的電流容量，但由于堆疊層間介質材料的熱導率很低，成為了散熱的瓶頸，而且功率MOSFET器件在給負載提供盡可能大的輸出功率的同時自身也消耗了很大的電能，消耗的電能將轉變為熱量，如果這些熱量不能及時、有效地散發出去，器件有源區溫度將急劇上升甚至超過最高結溫。根據Arrhenius法則，元器件的管芯溫度每升高10 ℃，其失效率將增大1倍左右[3]。因此為了降低散熱路徑的熱阻，在芯片中嵌入一定數量的硅通孔作為散熱通道，可有效解決器件發熱造成的可靠性問題。本文針對三維集成功率MOSFET的散熱問題，提出了一種針對封裝形式及散熱路徑熱阻未知情況下，能有效地評估功率MOSFET器件漏極持續電流的分析方法，根據漏極持續電流的工作偏置條件評估器件的最大功率損耗，從而確定散熱路徑的熱阻，最后以一款100 V功率VDMOS器件為研究對象，在正向設計階段對功率VDMOS器件的漏極持續電流進行分析和確定，并通過流片測試結果驗證了該方法的可行性。

1 功率MOSFET器件漏極持續電流分析

1.1 二維功率MOSFET漏極持續電流的分析方法

由于功率器件在工作時自身也會消耗一定的電能，把單位時間內器件消耗的電能稱為器件的功率損耗，這部分損耗主要轉換為熱量，導致器件有源區的溫度升高，從而產生了散熱的需求。把單位時間內通過散熱路徑散發出去的熱量稱為耗散功率，當器件的功率損耗和耗散功率達到平衡時，器件有源區的溫度保持恒定不再上升，器件達到熱平衡狀態[4]。功率MOSFET器件漏極持續電流的傳統分析方法步驟如下：

（1） 根據器件的封裝形式得到器件節點到底座的熱阻Rth，例如：常用的封裝形式TO220，Rth等于1.52 ℃/W，然后根據公式（1）計算器件的最大直流耗散功率Pmax：

式中：Tj是器件的最大工作結溫，由器件本身的晶體材料決定，通常硅材料取175 ℃；Tmb是環境溫度，一般取25 ℃。

（2） 由于功率MOSFET器件的安全工作區（SOA）按照信號占空比可分為直流SOA、重復脈沖SOA以及單脈沖SOA，且直流時的安全工作區域最窄，故器件能在直流條件下正常工作則在其他條件下也能正常工作[5]。直流SOA的工作條件相當于信號占空比為1，故此時的功率損耗可用下式計算：

式中，IDS為漏極持續電流，則直流功率損耗P最大，導通電阻Ron由器件流片測試結果所得，它是一個關于器件結溫的函數，溫度越高，導通電阻越大。

（3） 當器件有源區的溫度達到最大工作結溫Tj，且達到熱平衡狀態時，器件的最大功率損耗P等于最大直流耗散功率Pmax。則MOSFET器件的漏極持續電流可用式（3）計算：

由傳統方法分析所得的漏極持續電流是一個基于封裝形式限制的最大結溫電流，僅適用于二維功率MOSFET器件。

1.2 三維功率MOSFET漏極持續電流的分析方法

基于三維集成技術的功率MOSFET器件，每一個堆疊層仍是平面工藝制作的器件層，但堆疊層間存在熱傳導率較低的絕緣介質層，所以三維功率MOSFET器件的散熱不僅要通過外部的強制散熱，還要通過內部嵌入的散熱通孔進行內部熱疏導，故芯片內部散熱路徑熱阻會與堆疊層數、散熱通孔的個數、散熱通孔的尺寸等因素相關，不能通過傳統的分析方法評估功率MOSFET器件的漏極持續電流，故提出了一種在晶格自加熱效應條件下對漏極持續電流進行評估的分析方法。由于功率MOS器件通常工作在大電流下，且堆疊層間絕緣介質層的存在，器件內部熱積聚嚴重，產生了自加熱效應。高溫工作條件下，晶格自加熱效應對MOSFET器件的電學參數影響是十分嚴重的。 當MOSFET器件的柵源電壓一定時，漏極電流將引起有源區溫度升高，晶格散射增強，載流子遷移率下降，漏極電流會隨著結溫的升高而減小；同時結溫升高會導致導通電阻增大，在-50～150 ℃的范圍下，Ron與溫度成線性關系[6]如下：

式中，α是一個與工藝相關的參數，一般當功率MOSFET的BVDS小于200 V時，α取1.5，當功率MOSFET的BVDS大于300 V時，α取2.5。因此，功率MOSFET器件的功率損耗是一個關于溫度的復雜函數，無法確定器件的最大功率損耗。

基于晶格自加熱效應漏極持續電流的分析步驟如下：

（1） 找出功率MOSFET器件的零溫度系數（ZTC）點[7]。功率MOSFET器件都有一個ZTC點，當漏極電流低于ZTC點對應的漏極電流時，漏極電流具有正溫度系數，存在熱逃逸風險；當漏極電流高于ZTC點對應的漏極電流時，漏極電流具有負溫度系數，熱穩定性好；在大電流應用中，一定要保證功率MOS器件正常工作時輸出的漏極電流存在負溫度系數區。

（2） 找出功率MOSFET器件得到漏極持續電流的導通偏置條件。首先設置柵源偏置電壓，該電壓要大于ZTC點對應的柵源電壓，保證MOSFET器件的漏極電流在負溫度系數區域，但該電壓又不能太大，否則器件易發生準飽和效應[8]；然后在自加熱模型下設置漏源偏置電壓，采用逐步增加漏源電壓的方式，隨著漏極電流的增大，器件有源區溫度升高，當結溫達到0.8Tj左右時，所加漏源電壓即為最大漏源偏置電壓。根據業界工程經驗，硅基MOS器件選擇150 ℃比較保險，用結溫為150 ℃時的漏源電壓來確定硅基MOS器件的漏極持續電流比較合理[9]。

（3） 驗證步驟（2）中設置的導通偏置條件的合理性，在自加熱模型下逐步增加柵源電壓的持續導通時間，直到導通時間略高于100 ms。通常認為導通時間大于100 ms后，柵源電壓為直流應用，即信號占空比[10]相當于為1。隨著柵源電壓導通持續時間的增加，器件結溫繼續升高，當導通時間為100 ms時，器件結溫必須低于最大工作結溫Tj，否則降低步驟（2）中所得到的最大漏源偏置電壓。通常業界設定硅基MOS器件的最大工作結溫為175 ℃，即器件失效溫度，保證持續導通時間略高于100 ms后，器件結溫低于失效溫度。

（4） 選擇漏極持續電流最大時的導通偏置條件。在Tmb=25 ℃條件下，對步驟（2）得到的多組導通偏置條件下的器件漏極電流進行評估，找出漏極持續電流最大時的導通偏置條件。

2 功率VDMOS器件漏極持續電流的分析

2.1 實驗分析

由于三維功率VDMOS器件的堆疊層也是平面工藝制作，故使用TCAD工具建立了VDMOS仿真元胞，元胞大小為24 μm×1 μm，其中多晶硅柵間距為12 μm，多晶硅柵長12 μm，使用Silvaco軟件進行二維仿真，默認元胞寬度為1 μm。根據功率VDMOS器件的ZTC和發生準飽和效應的最小柵源電壓，如圖1、圖2所示。

圖1中ZTC點對應的柵源電壓是6.3 V，圖2中開始發生準飽和效應的最小柵源電壓約為12 V，在6.3～12 V間選擇柵源偏置電壓，實驗中分別設置柵源偏置電壓為7 V，8 V，9 V，10 V，11 V，12 V，然后漏源電壓以步長0.1 V逐漸增到4 V，當器件溫度升到150 ℃時對應的漏源電壓分別為2.1 V，1.92 V，1.89 V，2.0 V，1.9 V，1.96 V；然后在對應的導通偏置條件下改變柵源電壓的持續導通時間分別為10 ns，100 ns，1 μs，10 μs，100 μs，1 ms，10 ms，100 ms時元胞內的溫度未超過失效溫度；最后在溫度為25 ℃條件下對上述6組導通偏置條件的漏極電流進行了仿真，結果見表1，可見在導通偏置條件為VGS=10 V，VDS=2 V時，單位面積的漏極持續電流最大。

圖3是VGS=10 V時，漏源電壓以步長0.1 V逐漸增到4 V時元胞內的溫度變化情況，圖3中當VDS=2 V時，結溫達到423 K。然后根據VDMOS器件的截止頻率，當器件的導通偏置條件為VGS=10 V，VDS=2 V時，圖4是改變柵源電壓的持續導通時間分別為10 ns，100 ns，

1 μs，10 μs，100 μs，1 ms，10 ms，100 ms時元胞內的溫度變化情況，圖4中最高溫度為438 K，未超過失效溫度。

根據基于晶格自加熱效應漏極持續電流的分析方法所得到的導通偏置條件VGS=10 V，VDS=2 V，分別在溫度為298 K，348 K，398 K，423 K下對漏極電流、導通電阻、開關斷時間進行了仿真分析，結果見表2。從表2可知，一般功率MOS器件的開關斷時間很短，開關損耗在功率損耗中的比重很小，采用信號占空比為1的方式評估最大功率損耗是可行的。

由于VDMOS器件是由數以萬計的元胞并聯組成，若設計的VDMOS器件的目標導通電阻為140 mΩ，則器件有效面積S=Ron·sp（150 ℃）÷目標導通電阻≈0.094 9 cm2，則VDMOS器件包含395 238個仿真元胞。于是得到最大的漏極持續電流IDS≈30.8 A，由式（2）得最大功率損耗P≈133 W，有效散熱路徑熱阻Rth≤1.13 ℃/W，則在設計三維功率MOS器件的內部散熱時，必須保證離熱沉最遠的堆疊層到熱沉的散熱路徑熱阻小于1.13 ℃/W，從而當堆疊層厚度、散熱通孔深寬比一定時可確定散熱通孔的個數。

2.2 流片測試分析

根據仿真元胞尺寸設計的100 V功率VDMOS器件進行了3批次的工藝流片。并隨機抽取了10個圓片在VGS=10 V，VDS=2 V條件下對漏極持續電流及導通電阻進行了測試，測試數據見圖5、圖6。

從圖5、圖6中的數據可以看出，流片測試結果與仿真數據在工藝容差允許范圍內，因此實驗中提出的漏極持續電流分析方法是可行的。

3 結 語

本文針對基于三維集成技術的功率MOS器件在封裝形式未知及散熱路徑熱阻不確定情況下，提出了一種以晶格自加熱效應為基礎的功率MOS器件漏極持續電流的分析方法，并以功率VDMOS器件為研究對象，在正向設計階段，基于晶格自加熱效應對漏極持續電流進行了分析。結果表明，仿真結果能很好地反映測試結果，以晶格自加熱效應為基礎的功率MOS器件漏極持續電流的分析方法對功率MOS器件及三維功率MOS器件的熱可靠性管理都具有一定的指導意義。

注：本文通訊作者為傅興華。

參考文獻

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