無水氟化氫的純化工藝研究進展

李丹丹，岳立平，鄭 藝

（中國船舶重工集團公司 第七一八研究所，河北 邯鄲 056027）

無水氟化氫的純化工藝研究進展

李丹丹，岳立平，鄭 藝

（中國船舶重工集團公司 第七一八研究所，河北 邯鄲 056027）

HF有著非常廣泛的用途。簡介了HF的應用領域；概述了HF的幾種純化方法；重點介紹了HF的除水和精餾工藝；對HF產業的發展前景進行了展望。

氟化氫；純化；精餾法

1 HF的應用領域[1]

氟化氫（HF）是一種有著廣泛應用的化學品，其主要應用領域如下：（1）用作含氟化合物的原料，也用于氟化鋁和冰晶石的制造，半導體表面刻蝕及用作烷基化的催化劑；（2）在電子工業中用作強酸性腐蝕劑，可與 HNO3、乙酸、NH3·H2O、H2O2配合使用；（3）用作分析試劑，也用于高純氟化物的制備，是氟鹽、氟制冷劑、氟塑料、氟橡膠、氟醫藥及農藥等所必需的氟源；（4）生產氟里昂、含氟樹脂、有機氟化物和氟的原料；（5）用于有機或無機氟化物的制造；（6）用于刻蝕玻璃，酸洗金屬，制無機類氟鹽產品及化學試劑；（7）用于電子工業大規模集成電路的蝕刻及清洗氣體。

2 氟化氫的合成方法[2]

目前工業化生產氟化氫主要有以下兩種方法。

（1）以螢石（CaF2）為原料的方法 通過CaF2與濃H2SO4反應，以回轉窯、氣固流化床、氣液固流化床等工藝手段生產HF。

（2）以氟硅酸為原料的方法 該方法又分為以下4個工藝：（1）利用氟硅酸和石灰合成人造CaF2，然后按傳統螢石法生產氫氟酸的工藝得到HF；（2）將氟硅酸先轉化為氟氫化鈉、在熱分解氟氫化鈉生產得到HF；（3）氟硅酸與氨進行氨化反應，生成的氟化銨經過濾、蒸發濃縮完全轉化為氟化氫銨，制片得到氟化氫銨固體，與濃H2SO4酸經混合后進行高溫反應得到HF氣體；……