關(guān)于ITO透明導(dǎo)電膜玻璃生產(chǎn)及應(yīng)用的分析

張少波

摘 要：在高新技術(shù)領(lǐng)域，ITO透明導(dǎo)電膜玻璃得到了較好的應(yīng)用。基于這種認(rèn)識，本文對ITO玻璃的生產(chǎn)工藝技術(shù)發(fā)展情況進(jìn)行了分析，并對其應(yīng)用前景展開了探討，從而為關(guān)注這一話題的人們提供參考。

關(guān)鍵詞：ITO透明導(dǎo)電膜玻璃；生產(chǎn)；應(yīng)用

隨著電子器件的發(fā)展，其對液晶顯示界面的導(dǎo)電性和光學(xué)透過性也提出了更高的要求。而使用ITO透明導(dǎo)電膜玻璃，則能滿足電子器件的發(fā)展需要。加強(qiáng)對ITO玻璃生產(chǎn)工藝技術(shù)的研究，并了解ITO玻璃的應(yīng)用前景，則能為企業(yè)進(jìn)行該種材料的生產(chǎn)制造提供指導(dǎo)，同時也能為企業(yè)的發(fā)展指明方向，繼而更好的促進(jìn)該種材料的發(fā)展與應(yīng)用。

1 ITO透明導(dǎo)電膜玻璃介紹

ITO是氧化銦錫的英文縮寫，所以ITO透明導(dǎo)電膜玻璃其實(shí)就是氧化銦錫透明導(dǎo)電膜玻璃，為上世紀(jì)70年代得到研發(fā)的一種材料。目前，該種玻璃主要應(yīng)用于進(jìn)行LCD的生產(chǎn)[ 1 ]。

從特性上來看，該種玻璃膜層電阻率能夠達(dá)到10-4Ω°cm，具有良好導(dǎo)電性，并且耐磨、耐腐蝕，具有較好加工性，能夠達(dá)到85%的可見光透過率，紅外線反射率可達(dá)80%以上，紫外線吸收率可達(dá)85%以上，微波衰減率則能達(dá)到85%以上。

2 ITO透明導(dǎo)電膜玻璃的生產(chǎn)工藝

由于ITO透明導(dǎo)電膜玻璃生產(chǎn)生產(chǎn)起來較為困難，所以生產(chǎn)該種玻璃的國家較少，主要是日本、美國等科技發(fā)達(dá)的國家。在實(shí)際生產(chǎn)時，需要使用厚度在0.4-1.3mm的超薄玻璃、ITO靶材等原料，并使用鍍膜設(shè)備完成鍍膜加工。

在玻璃鍍膜階段，目前可以采用的生產(chǎn)方法有較多，如浸漬法、噴涂法和濺射法等。其中，利用直流磁進(jìn)行濺射控制的方法使用較為廣泛，可以完成ITO膜層的連續(xù)鍍制，所以能夠用于進(jìn)行工業(yè)生產(chǎn)。使用該技術(shù)鍍制的膜層擁有均勻的厚度，并且具有較好的重復(fù)性及穩(wěn)定性。

此外，在生產(chǎn)環(huán)境溫度較低的情況下，使用該技術(shù)也能完成致密膜層的鍍制，并且能夠按照需求完成基片和靶的安放。由于具有較高的生產(chǎn)效率，所以該種工藝技術(shù)在工業(yè)生產(chǎn)中得到了應(yīng)用，可完成多種規(guī)格和質(zhì)量良好的玻璃材料制備，產(chǎn)生的能耗則較小。在具體應(yīng)用該工藝技術(shù)時，需要先利用去離子水和超聲波對超薄玻璃片進(jìn)行預(yù)處理，然后在真空環(huán)境中完成二氧化硅的鍍制。

在鍍膜時，需要在鍍膜室內(nèi)進(jìn)行材料加熱，并在材料固化退火后完成材料制備。由于該種玻璃生產(chǎn)有著較高的環(huán)境要求，所以需要進(jìn)行氧氣和氬氣的充入，從而使生產(chǎn)環(huán)境保持無塵潔凈。在磁控下，使用濺射法進(jìn)行鍍膜，則能使玻璃表面的氧化銦錫薄膜得到沉積。由于需要確保玻璃膜層的導(dǎo)電性和透明度，所以還要加強(qiáng)靶材組分、沉積速率、濺射壓力等多個要素的控制，盡量實(shí)現(xiàn)低壓濺射，以免膜層受損。值得注意的是，想要完成優(yōu)質(zhì)ITO透明導(dǎo)電膜玻璃的生產(chǎn)，還要完成優(yōu)質(zhì)玻璃基片的選擇。

就現(xiàn)階段而言，國際市場上的優(yōu)質(zhì)基片主要來自于美國、英國、日本等國家，國內(nèi)也需要通過進(jìn)口這些基片進(jìn)行玻璃生產(chǎn)[ 2 ]。而ITO靶材作為重要的工業(yè)生產(chǎn)原料，目前受制造難度限制，其先進(jìn)生產(chǎn)技術(shù)依然主要被美國、日本等國家把持。

3 ITO透明導(dǎo)電膜玻璃的應(yīng)用分析

從應(yīng)用情況來看，ITO透明導(dǎo)電膜玻璃主要被應(yīng)用在LCD領(lǐng)域、工業(yè)領(lǐng)域和交通等領(lǐng)域。在LCD領(lǐng)域，ITO玻璃應(yīng)用范圍較廣，最早被應(yīng)用在計算器和電子表等設(shè)備的液晶顯示屏上。

隨著電子技術(shù)的發(fā)展，ITO玻璃也逐漸在筆記本電腦、文字處理機(jī)和新一代液晶顯示器中得到應(yīng)用。由于具有能耗低、無閃爍、抗干擾等優(yōu)點(diǎn)，ITO玻璃開始在監(jiān)視器、電視機(jī)和太陽能電池面板等產(chǎn)品中得到應(yīng)用，為LCD的發(fā)展奠定了良好基礎(chǔ)。

我國作為LCD產(chǎn)品生產(chǎn)大國，每年將產(chǎn)生數(shù)百萬的ITO玻璃需求，建立了數(shù)十條ITO玻璃生產(chǎn)線，但是生產(chǎn)的ITO玻璃仍然供不應(yīng)求。此外，利用ITO玻璃可以完成特種玻璃的制備，從而應(yīng)用在汽車、飛機(jī)、航空設(shè)備等多個生產(chǎn)領(lǐng)域[ 3 ]。應(yīng)用ITO玻璃制備得到特種玻璃，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)隔熱降溫，還能連電去除冰霜，所以在國防工業(yè)、交通和航天等多個領(lǐng)域都能得到較好的應(yīng)用。利用該種玻璃完成多功能建筑玻璃的制造，如電加熱玻璃、太陽能玻璃和防盜玻璃等，也能為建筑工程的設(shè)計提供更多選擇。

4 結(jié)論

通過分析可以發(fā)現(xiàn)，ITO透明導(dǎo)電膜玻璃具有較多的優(yōu)勢，能夠在多個領(lǐng)域得到較好的應(yīng)用，所以擁有良好的應(yīng)用前景。但就目前來看，該種玻璃具有一定的生產(chǎn)難度，在國內(nèi)仍處于供不應(yīng)求的狀態(tài)。因此，國內(nèi)企業(yè)還應(yīng)加強(qiáng)ITO玻璃的生產(chǎn)工藝技術(shù)研究，以便更好的進(jìn)行市場開拓。

參考文獻(xiàn)：

[1] 湯儆，龐文輝，任禾，等.微接觸印刷技術(shù)在ITO基底上快速轉(zhuǎn)移Au納米粒子圖案[J].物理化學(xué)學(xué)報，2013，03：612-618.

[2] 寧靜，智林杰.基于碳納米材料的柔性透明導(dǎo)電薄膜研究進(jìn)展[J].科學(xué)通報，2014，33：3313-3321.

[3] 張念椿，劉彬云，肖定軍，等.透明導(dǎo)電膜材料納米銅線的制備及其性能研究[J].材料研究與應(yīng)用，2014，02：117-120.