AGC色譜分析儀在He、Ne提純工藝中的應用

席宏海

(愛爾蘭儀器有限公司 北京代表處，北京 102628)

·分析與測試·

AGC色譜分析儀在He、Ne提純工藝中的應用

席宏海

(愛爾蘭儀器有限公司 北京代表處，北京 102628)

概述色譜分析儀器在He、Ne提純設備中的應用。表述了每臺分析儀器的主要配置，以及對各個主要樣品分析監測點的分析結果。

He離子化放電檢測器；熱導檢測器；氦氣；氖氣；譜圖

0 引言

隨著社會的發展，特種氣體不再是局限于科研單位的研究對象，而是逐漸走向民用化、產業化，人們對特種氣體的需求量也越來越大。而高純的氦氣、氖氣作為特種氣體中少有的幾種惰性氣體，不僅科研價值極高，而且應用的領域也越來越廣泛。涉及到諸如電子、點光源、激光、超導、光導纖維、低溫、等離子體顯示器、航天及醫療等諸多領域。

在氦氣和氖氣的提純工藝中，需要使用到多臺儀器設備來對主要的監測點進行監測，然后根據結果適時地調整工藝參數，最終生產出優質的高純氦氣和氖氣。

在氦氣和氖氣提純時，在四個主要的監測點上選用了多臺色譜分析儀來完成此項工作，此套設備中所采用的分析儀器均來自于愛爾蘭AGC公司。四個主要的監測點是：

1. 粗He/Ne除氮后的N2含量分析；

2. 粗He/Ne除氮系統后的He/Ne/H2/N2含量的分析；

3. 產品He的純度分析；

4. 產品Ne的純度分析。

在下文中，將會分別展示出所使用的色譜分析儀的氣路結構圖，以及對此四個監測點的標氣和樣品氣譜圖的情況。

1 粗He/Ne除氮后的N2含量分析

儀器采用的是AGC公司生產的Series100DID氣相色譜分析儀，它的檢測元件是He放電離子化檢測器。……