PLASMADETEK-PED等離子發射氣相色譜儀在半導體工業的10-9級氣體分析應用

徐慕華，王建讓

(1.LDetek北京代表處，北京 豐臺100068； 2.邯鄲鋼鐵集團，河北 邯鄲 056015)

PLASMADETEK-PED等離子發射氣相色譜儀在半導體工業的10-9級氣體分析應用

徐慕華1，王建讓2

(1.LDetek北京代表處，北京 豐臺100068； 2.邯鄲鋼鐵集團，河北 邯鄲 056015)

等離子發射檢測器(Plasma Emission Detector)是一種應用于氣相色譜儀的新型檢測器。等離子體(plasma)不是一種新技術，早在20世紀30年代已經產生，到20世紀70年代隨著電子和材料科學的發展，等離子體技術取得了較大的發展，在基礎工業和高科技領域獲得了廣泛的應用。PlasmaDetek是一種超高靈敏度的檢測器，可以很好地解決一般高純氣體或者混合氣體的微量痕量分析，加拿大LDetek儀器公司團隊經過近20年的探索，Plasma在特氣和半導體氣體方面也得到了越來越廣泛的應用，并且取得了非常好的效果。

等離子發射檢測器；等離子體；氣相色譜儀；濾光片；超高靈敏度

0 引言

在特種氣體和超高純半導體氣體領域，特種氣體的特殊性質以及痕量分析的高要求使得廣大用戶在購買分析設備的時候非常謹慎，既要考慮到安全性，又要確保分析數據的準確性。PlasmDetek是一種超高靈敏度的通用型檢測器，一個檢測器可以實現多種雜質的分析檢測，如對H2S，COS，AsH3，PH3，NMTHC，Ne，Ar，N2O，SF6，CF4等雜質的分析。由于PlasmDetek具有光譜濾光系統，結合切割技術，可以很好的實現0.5×10-9～5×10-9的檢出限。

PLASMADETEK-PED檢測器通常使用高純Ar作載氣，一般檢測雜質含量在0.05×10-6以上的樣品可以使用高純Ar作載氣即可滿足檢測需求；在檢測50×10-9以下級別的雜質時，需要用高純He作載氣，這樣，儀器的使用成本就會大幅度的降低，得到了客戶的廣泛認可。……