全氟丙烷中的多種雜質(zhì)色譜(DID)分析

李 智，程 鵬

·分析與測試·

全氟丙烷中的多種雜質(zhì)色譜(DID)分析

李 智1，程 鵬2

(1.廣東華特氣體股份有限公司，廣東 佛山 528241；2.愛爾蘭AGC儀器有限公司 北京代表處，北京 102628)

概述了采用配置DID檢測器的氣相色譜分析全氟丙烷的原理及方法。利用中心切割技術(shù)對全氟丙烷中的H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CF4、CO2、C2F6、C3F8、C3F6、C3H2F6、C4F8、C3HF7進(jìn)行定量分析，用多種不同標(biāo)氣進(jìn)行定性分析。實驗結(jié)果證明，該方法能很好的避免C3F8主峰對各種碳氟化物雜質(zhì)峰的干擾，分離效果好，響應(yīng)高。

氦離子化；全氟丙烷；中心切割；碳氟化物

全氟丙烷，也叫八氟丙烷，英文名為Perfluoropropane，其分子式為C3F8，沸點為-36.6℃，熔點為-147.6℃。八氟丙烷具有很好的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。它的無毒、無嗅、不燃、不溶于水和油，在有機溶劑中溶解度甚小、電絕緣性好、介電率高、導(dǎo)熱性佳和生理耐藥性能等的特點而被人們所青睞，目前，八氟丙烷被廣泛應(yīng)用于電子、微電子等行業(yè)。在醫(yī)學(xué)臨床上還有兩大主要用途，一是如報道所說的用作玻璃體視網(wǎng)膜手術(shù)后填充物，二是用于超聲造影劑[1]。

由于八氟丙烷無毒無嗅、穩(wěn)定性強，作為蝕刻劑、清洗劑而被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造過程。隨著半導(dǎo)體和太陽能及LED的蓬勃發(fā)展，在未來很長時間內(nèi)其需求量會呈上升趨勢，市場對高純電子級八氟丙烷的需求量將越來越大。由于該產(chǎn)品國內(nèi)沒有生產(chǎn)廠家，完全依賴進(jìn)口，價格昂貴，常常會因國際形勢緊張和政策變化而受到限制。

1 實驗方法

1.1 方法簡述

本實驗采用配置雙DID檢測器的NovaChrom1000氣相色譜儀分析，該儀器配置電子流量顯示，在進(jìn)樣分析時可以讓進(jìn)樣量更精確，維護(hù)時也可更方便的調(diào)節(jié)流量。……