微波測試夾具及其TRL校準件的設計與制作

芮金城，曹 銳，陶曉輝

(1.合肥工業大學 光電技術研究院，安徽 合肥 230009；2.中國電子科技集團公司第38研究所 重點實驗室，安徽 合肥 230088)

微波測試夾具及其TRL校準件的設計與制作

芮金城1，曹 銳2，陶曉輝2

(1.合肥工業大學 光電技術研究院，安徽 合肥 230009；2.中國電子科技集團公司第38研究所 重點實驗室，安徽 合肥 230088)

為了滿足設計功率放大器時對晶體管精確測試的要求，設計了一種工作在S波段的氮化鎵晶體管專用微波測試夾具，根據TRL校準原理制作了相應的校準件來完成夾具的去嵌入。實際測試結果表明，該測試夾具及TRL校準件達到了預期的效果，仿真值與實測值一致性好，損耗誤差為0.3 dB，去嵌入之后得到的夾具差損<0.4 dB，S11和S22<-15 dB，用該夾具測得的晶體管參數與其數據手冊給出的值相吻合。

微波測試；夾具；TRL校準件；氮化鎵；去嵌入

隨著以晶體管為核心部件的功率放大器的廣泛應用，目前很多晶體管并沒有相應的模型，有的晶體管制造商雖然提供了晶體管模型用以放大器的仿真設計，但是模型依然沒有足夠的準確度和可靠性[1]。因此為了設計性能良好的功率放大器，減少后期的調試工作，對晶體管的精確測試很有必要。在實際測試中為了實現對晶體管的固定以及散熱，實現測試儀器與晶體管之間的連接以及同軸到非同軸環境的轉換，需要用到微波測試夾具，而目前的夾具在所有晶體管的所有頻段并不能做到通用。因此為了得到不同晶體管在不同設計頻段的參數，需要制作專門的測試夾具以及與其相匹配的校準件[2]。……