基于高Q值玻璃槽電感的優化與驗證

蘇華偉 ，林來存 ，李 君 ，3，曹立強 ，3

（1.中國科學院微電子研究所 北京 100029；2.中國科學院大學 北京 100049；3.華進半導體封裝先導技術研發中心有限公司江蘇無錫214135）

基于高Q值玻璃槽電感的優化與驗證

蘇華偉1，2，林來存1，2，李 君1，2，3，曹立強1，2，3

（1.中國科學院微電子研究所 北京 100029；2.中國科學院大學 北京 100049；3.華進半導體封裝先導技術研發中心有限公司江蘇無錫214135）

為了實現射頻系統對具有高品質因子的電感的迫切需求，本文提出了利用玻璃槽實現高品質因子電感的方法。通過對電感損耗機制分析得到影響玻璃槽電感品質因子的因素，通過建立玻璃槽電感的物理模型，并使用HFSS與ADS軟件聯合仿真的方法模擬了不同變量對玻璃槽電感的影響，得到的玻璃槽電感的品質因子大于100，同時，通過將基于玻璃槽電感的UWB超寬帶濾波器與STATS ChipPAC公司基于硅基的UWB帶通濾波器進行對比，仿真驗證了基于玻璃槽電感實現的濾波器的性能優良，這說明電感品質越高對器件的性能提升越明顯，所以本文提出的電感的設計方法有明顯的優勢。

玻璃槽電感；品質因子高；電磁仿真；仿真驗證

當今時代，電子科技不斷發展，人們對科技產品的要求越來越高。隨著移動設備功能的不斷強大，小型化，多功能，更加輕便卻是人們追求的趨勢。這意味著無源器件，芯片與電路設計的小型化將會越來越重要。對于無源元件，IPD技術是非常重要的技術[1-3]。本文側重討論片上集成無源電感的性能優化及仿真驗證。傳統的硅基電感的品質因子很低，損耗大，自諧振頻率低，很難滿足射頻系統高頻高速的要求，所以急需新的方法來實現高品質的無源電感。……