999精品在线视频,手机成人午夜在线视频,久久不卡国产精品无码,中日无码在线观看,成人av手机在线观看,日韩精品亚洲一区中文字幕,亚洲av无码人妻,四虎国产在线观看 ?

巨磁電阻電流傳感器空間位置特性調(diào)控與校正*

2018-01-24 07:53:35王興隆劉瑞敏楊志勇楊燕平
傳感器與微系統(tǒng) 2018年1期
關(guān)鍵詞:磁場(chǎng)方向

王興隆, 劉瑞敏, 仝 杰, 楊志勇, 楊燕平, 劉 靜

(1.昆明理工大學(xué) 信息工程與自動(dòng)化學(xué)院,云南 昆明 650500;2.中國(guó)電力科學(xué)研究院 信息通信研究所,北京 100192)

0 引 言

隨著智能電網(wǎng)的建設(shè)與發(fā)展,電網(wǎng)各關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)和設(shè)備狀態(tài)的精確測(cè)量變得十分重要。高效精確的傳感及測(cè)量技術(shù)是實(shí)現(xiàn)電網(wǎng)監(jiān)測(cè)、控制、分析和決策的基礎(chǔ),也是智能電網(wǎng)發(fā)展的關(guān)鍵。近年來(lái),隨著電磁測(cè)量技術(shù)的發(fā)展,基于巨磁電阻(giant magnetoresistance,GMR)效應(yīng)的傳感器也為智能電網(wǎng)在線(xiàn)電流監(jiān)測(cè)提供了一種全新的方法。相比于電流互感器、分流器、羅氏線(xiàn)圈、霍爾傳感器及磁通門(mén)傳感器等常見(jiàn)測(cè)量方法,GMR傳感器具有體積小、價(jià)格低、頻帶寬、靈敏度高、線(xiàn)性度強(qiáng)及溫度系數(shù)低等優(yōu)點(diǎn)[1,2]。因此,GMR電流傳感器必將成為電流傳感量測(cè)發(fā)展的新趨勢(shì)。

本文針對(duì)傳感器使用過(guò)程中的位置不確定性進(jìn)行了分析及校正,測(cè)量誤差減小一個(gè)數(shù)量級(jí)以上,極大地提高了傳感器測(cè)量精度,簡(jiǎn)化量測(cè)步驟。

1 GMR電流傳感器

利用磁電阻(magnetoresistance,MR)比表征磁電阻效應(yīng),定義為

(1)

式中RH(ρH)為外磁場(chǎng)強(qiáng)度為H時(shí)磁性材料的電阻(率);R0(ρ0)為外磁場(chǎng)強(qiáng)度為0Oe時(shí)磁性材料的電阻(率)[1]。

1.1 GMR效應(yīng)

GMR效應(yīng)可結(jié)合N.F,Mott的二流體(two current)模型及自旋電子學(xué)進(jìn)行描述[3~6],如圖1所示。

圖1 巨磁電阻效應(yīng)二流體模型

磁性材料上產(chǎn)生GMR效應(yīng)至少滿(mǎn)足3項(xiàng)條件:1)在外場(chǎng)強(qiáng)度為零時(shí),金屬層與隔離非金屬層構(gòu)成反平行自旋結(jié)構(gòu);2)各層薄膜厚度應(yīng)小于電子平均自由程;3)自旋方向相反的兩種電子,在磁性原子的散射差必須很大。因此,并非所有薄膜材料均具備巨磁效應(yīng)[7]。

1.2 GMR電流傳感器工作原理

GMR傳感器敏感結(jié)構(gòu)如圖2所示。通過(guò)畢奧—薩伐爾定律可知,無(wú)限長(zhǎng)直通電導(dǎo)線(xiàn)周?chē)嬖诖艌?chǎng),磁感應(yīng)強(qiáng)度為B=μ0I/(2πD),與激勵(lì)電流強(qiáng)度I成正比,與距載流體垂直距離D成反比。將GMR元件的敏感軸向垂直于電流流向,可得到GMR阻值與電流變化的對(duì)應(yīng)關(guān)系,實(shí)現(xiàn)電流量測(cè)功能[8]。

圖2 敏感結(jié)構(gòu)示意

1.3 GMR傳感器常見(jiàn)結(jié)構(gòu)

GMR分離式電流傳感器通過(guò)將GMR元件放置于載流體周?chē)ㄟ^(guò)感應(yīng)磁場(chǎng)強(qiáng)度變化以阻值變化的形式完成電流的測(cè)量。根據(jù)結(jié)構(gòu)差異,GMR電流傳感器分為開(kāi)環(huán)結(jié)構(gòu)與閉環(huán)結(jié)構(gòu)。如圖3所示。

圖3 GMR傳感器結(jié)構(gòu)

開(kāi)環(huán)結(jié)構(gòu)GMR直接通過(guò)測(cè)量長(zhǎng)直導(dǎo)線(xiàn)上電流產(chǎn)生的磁場(chǎng)測(cè)量電流,利用電橋結(jié)構(gòu)將電阻的變化以電壓形式輸出,輸出與被測(cè)電流成正比,實(shí)現(xiàn)電流信號(hào)的量測(cè)功能。

閉環(huán)結(jié)構(gòu)相比于開(kāi)環(huán)增加了一個(gè)由運(yùn)放和反饋線(xiàn)圈組成的反饋回路,將GMR敏感單元嵌入環(huán)形鐵芯開(kāi)口氣隙中,被測(cè)電流I產(chǎn)生的磁通φ集中穿過(guò)GMR元件產(chǎn)生感應(yīng)電流I0,通過(guò)放大輸送至磁芯的補(bǔ)償線(xiàn)圈產(chǎn)生磁通φ0,當(dāng)磁通φ0完全補(bǔ)償被測(cè)電流產(chǎn)生的磁通φ時(shí),通過(guò)測(cè)量取樣電阻R產(chǎn)生的Uout得到被測(cè)電流I。利用反饋形式可有效提高傳感器輸出線(xiàn)性度、精度及帶寬,增大動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍,較高的回路增益還可以有效降低器件誤差對(duì)測(cè)試性能的影響。

2 位置不確定性特性研究

在電力系統(tǒng)實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用中,由于安裝及外界環(huán)境變化等因素?zé)o法達(dá)到理想情況下傳感器與被測(cè)電流的相對(duì)位置,因此,對(duì)傳感器位置不確定性的研究至關(guān)重要。

2.1 位置不確定性對(duì)器件的影響

考慮到GMR傳感器的線(xiàn)性特性,多采用單軸形式設(shè)計(jì)傳感器敏感單元,即在空間中僅針對(duì)來(lái)自一個(gè)方向上的磁場(chǎng)變化敏感。

以采用多靶磁控濺射系統(tǒng)及退火工藝為基礎(chǔ)的多層膜結(jié)構(gòu)材料為例,分別對(duì)多層膜結(jié)構(gòu)材料的X,Y,Z軸向的傳感特性進(jìn)行研究。其中定義X軸為敏感軸方向,Y軸為多層膜電阻平面內(nèi)垂直于敏感軸的方向,Z軸則垂直于多層膜電阻平面。在外磁強(qiáng)度為-60~60Oe的范圍內(nèi)分別測(cè)量3個(gè)軸向的靈敏度。

由圖4和表1實(shí)驗(yàn)結(jié)果可知:X軸的靈敏度遠(yuǎn)大于其他兩個(gè)軸向的靈敏度,幅度約為Y,Z軸的20倍。X軸向上的線(xiàn)性范圍最小40Oe,當(dāng)X軸向方向的信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)入飽和區(qū)時(shí),Y,Z軸向上仍處于線(xiàn)性工作區(qū)。不同于敏感軸上輸出的明顯變化,外磁場(chǎng)在不敏感軸產(chǎn)生的干擾信號(hào)對(duì)傳感器輸出影響幾乎為零。由于地磁場(chǎng)或?qū)嶒?yàn)過(guò)程中干擾磁場(chǎng)的影響,在傳感特性曲線(xiàn)上存在不同程度上的直流偏置。

圖4 GMR傳感器各軸向傳感特性

方向靈敏度/(mV/VOe)偏磁/OeX軸3.1675.294Y軸0.1450.000Z軸0.1079.264

位置不確定傳感特性指GMR傳感器在同一磁場(chǎng)環(huán)境中,不同方向與位置下的傳感特性。GMR傳感元件采用單軸形式設(shè)計(jì),因此,不敏感軸向的磁場(chǎng)可以忽略不計(jì),對(duì)磁場(chǎng)進(jìn)行正交分解后,計(jì)算敏感軸向的磁場(chǎng)即可。

2.2 傳感器敏感度特性調(diào)控

在無(wú)磁環(huán)情況下,由畢奧—薩伐定律可知,傳感器敏感軸方向磁場(chǎng)為

(2)

由安培環(huán)路定律及磁通連續(xù)原理可得磁環(huán)開(kāi)口氣隙處磁場(chǎng)強(qiáng)度

(3)

兩者相比

(4)

磁環(huán)能顯著放大被測(cè)電流磁場(chǎng)強(qiáng)度,傳感器靈敏度可提高約31.4倍。通過(guò)Ansoft Maxwell仿真計(jì)算,氣隙中心1 mm2和磁環(huán)中心1 mm寬的環(huán)帶磁場(chǎng)分布如圖5、表2。磁環(huán)對(duì)被測(cè)電流的磁場(chǎng)放大倍數(shù)約為30倍,相對(duì)理論值較小,這是由于磁環(huán)端部漏磁造成的。同時(shí),開(kāi)口氣隙處磁場(chǎng)不均勻度不超過(guò)±5 %。

圖5 兩種情況下氣隙中心磁場(chǎng)分布

3 常見(jiàn)位置不確定性分析

實(shí)際生產(chǎn)運(yùn)行中,導(dǎo)線(xiàn)與傳感器位置不確定性分為角度偏轉(zhuǎn)與位置偏移兩種常見(jiàn)情況。

3.1 偏轉(zhuǎn)角度特性調(diào)控

理想情況下,磁環(huán)與導(dǎo)線(xiàn)的位置如圖2,導(dǎo)線(xiàn)沿Z軸方向,電流方向沿Z軸正方向。氣隙中心位置位于X軸。通過(guò)分析空間中角度關(guān)系,偏轉(zhuǎn)后的傳感器空間任意位置可由繞Z軸右手旋轉(zhuǎn)角度θ與繞Y軸左手旋轉(zhuǎn)角度φ確定。Givens旋轉(zhuǎn)變換矩陣為

(5)

無(wú)磁環(huán)時(shí),存在偏轉(zhuǎn)角度θ和φ時(shí),無(wú)窮長(zhǎng)直導(dǎo)線(xiàn)作用下,GMR敏感結(jié)構(gòu)敏感軸方向上磁場(chǎng)如下

(-sinθcosφ,cosθ,-sinθsinφ)

(6)

通過(guò)仿真計(jì)算角度θ在0°~90°范圍內(nèi)變化及角度φ在0°~80°范圍內(nèi)變化時(shí),有、無(wú)磁環(huán)情況下,GMR傳感器敏感方向上磁場(chǎng)大小變化如圖6所示。在有、無(wú)磁環(huán)情況時(shí),不同偏轉(zhuǎn)角度下,磁場(chǎng)變化一致,在極端角度下取得極值。當(dāng)θ=90°,φ=80°時(shí),氣隙最靠近導(dǎo)線(xiàn),同時(shí),磁場(chǎng)方向與敏感軸方向一致,此時(shí)取得極大值;當(dāng)θ=0°,φ=80°時(shí),氣隙距導(dǎo)線(xiàn)最遠(yuǎn),且磁場(chǎng)方向與敏感軸方向接近正交,此時(shí)取得最小值。相當(dāng)于無(wú)磁環(huán)情況,磁環(huán)可大大改善因角度偏轉(zhuǎn)引起的誤差,誤差減小超過(guò)30倍。有磁環(huán)情況下,極端角度偏移引起的誤差最大為-1.02 %~9.79 %,當(dāng)θ<60°時(shí),角度偏移引起的誤差最大為0.24 %~3.84 %。磁環(huán)的校正幾乎忽略了角度偏移引起的測(cè)量誤差,在實(shí)際使用中,極大限度地提高了測(cè)量精度,簡(jiǎn)化了測(cè)量程序[9]。

圖6 有無(wú)磁環(huán)氣隙中心敏感軸方向磁場(chǎng)不同角度變化

3.2 距離偏移特性調(diào)控

導(dǎo)線(xiàn)位置偏移坐標(biāo)原點(diǎn)時(shí),定義導(dǎo)線(xiàn)在X軸上偏移Z軸的坐標(biāo)為(r,0,0)。在沒(méi)有磁環(huán)情況下,GMR傳感器敏感軸方向上的磁場(chǎng)如下

(7)

通過(guò)Ansoft仿真有無(wú)磁環(huán)在不同位置偏移下,有、無(wú)磁環(huán)氣隙中心GMR傳感器敏感軸方向的磁場(chǎng)大小變化,如圖7。由圖可知:有磁環(huán)情況下,不同偏移位置時(shí),磁場(chǎng)變化基本一致,在極端位置下取得極值,當(dāng)r=8 mm時(shí),氣隙最靠近導(dǎo)線(xiàn),取極大值;反之r=-8 mm時(shí),取極小值。由有、無(wú)磁環(huán)時(shí)不同位置偏移下,氣隙磁場(chǎng)的最大變化范圍分析,相對(duì)于無(wú)磁環(huán)時(shí)的情況,磁環(huán)可以大幅改善因位置偏移引起的誤差,誤差減小超過(guò)10倍。有磁環(huán)情況下,極端位置偏移引起的誤差最大為-5.11 %~10.82 %,而當(dāng)|r|≤4 mm時(shí),位置偏移引起的誤差最大為-2.86 %~1.21 %。磁環(huán)的使用極大減小了由位置偏移引入的誤差。

圖7 有無(wú)磁環(huán)氣隙中心敏感軸方向在不同偏移下的平均幅值

4 結(jié) 論

研究了位置不確定性對(duì)GMR性能的影響。GMR傳感器對(duì)磁場(chǎng)方向敏感度較高,因此,通過(guò)高導(dǎo)磁環(huán)的方法很大程度上減小了空間位置對(duì)測(cè)量精度的影響。高磁導(dǎo)率的磁環(huán)起到穩(wěn)定氣隙磁場(chǎng),增強(qiáng)被測(cè)場(chǎng),提高GMR傳感器靈敏度的作用。同時(shí)GMR敏感結(jié)構(gòu)較小,因此,開(kāi)口氣隙尺寸小,可以做到高精度量測(cè)。同時(shí)應(yīng)注意為了有效減小空間位置引入的誤差,實(shí)際的磁環(huán)磁導(dǎo)率應(yīng)高于1 000,但由于一般磁導(dǎo)率越大,其頻率相應(yīng)越低,因此,在高頻應(yīng)用情況下,在誤差允許范圍內(nèi),磁環(huán)磁導(dǎo)率不宜高于2 000。磁環(huán)的應(yīng)用可以很大程度上削減角度偏轉(zhuǎn)及位置偏移引入的測(cè)量誤差,使傳感器在實(shí)際應(yīng)用中,極大地提高了測(cè)量精度,優(yōu)化測(cè)量程序。

[1] 鐘智勇.磁電阻傳感器[M].北京:科學(xué)出版社,2015:157-166.

[2] 錢(qián) 政,任雪蕊,陳 松.交/直流兩用巨磁電阻電流傳感器的特性[J].高電壓技術(shù),2008,34(5):914-918.

[3] 盧森鍇,陳遠(yuǎn)英.巨磁電阻效應(yīng)及其研究進(jìn)展[J].世界科技研究與發(fā)展,2008,30(1):84-88.

[4] 翟宏如.自旋電子學(xué)[M] .北京:科學(xué)出版社,2013:5-11.

[5] 馬 靜,錢(qián) 政.磁傳感器特性測(cè)試中標(biāo)準(zhǔn)磁場(chǎng)發(fā)生裝置設(shè)計(jì)[J].傳感器與微系統(tǒng),2011,30(4):105-107.

[6] 金海紅,吳東升,田 柳,等.傾斜補(bǔ)償式地磁傳感器的設(shè)計(jì)與誤差補(bǔ)償方法[J].傳感器與微系統(tǒng),2010,29(7):33-36.

[7] 王 超.基于AMR效應(yīng)的磁阻角度傳感器的設(shè)計(jì)[D]:西安:西北工業(yè)大學(xué),2007.

[8] Reig C,F(xiàn)reitas S C,Mukhopadhyay S C.Giant magnetoresistance(GMR)sensors[M].Berlin:Springer-Verlag,2013:214-239.

[9] Tumanski S.Handbook of magnetic measurements[M].Boca Raton,FL,USA:CRC Press:Taylaor &Francis Group,2011:1.

猜你喜歡
磁場(chǎng)方向
西安的“磁場(chǎng)”
2022年組稿方向
2022年組稿方向
為什么地球有磁場(chǎng)呢
2021年組稿方向
2021年組稿方向
2021年組稿方向
文脈清江浦 非遺“磁場(chǎng)圈”
《磁場(chǎng)》易錯(cuò)易混知識(shí)剖析
磁場(chǎng)的性質(zhì)和描述檢測(cè)題
主站蜘蛛池模板: 国产成人高清亚洲一区久久| 亚洲啪啪网| 99精品免费欧美成人小视频| 妇女自拍偷自拍亚洲精品| 女同国产精品一区二区| 久青草国产高清在线视频| 极品国产在线| 国产二级毛片| 亚洲人成人无码www| 男女猛烈无遮挡午夜视频| 亚洲香蕉久久| 熟妇丰满人妻av无码区| 国产欧美亚洲精品第3页在线| 国产爽歪歪免费视频在线观看| 1024你懂的国产精品| 五月天福利视频| 国产无码网站在线观看| 亚洲成人网在线播放| 亚国产欧美在线人成| 欧美久久网| 国产精品欧美在线观看| 欧美日韩福利| 91精品国产自产在线老师啪l| 99国产在线视频| 国产成人a毛片在线| 久久久国产精品免费视频| 韩日无码在线不卡| 一区二区偷拍美女撒尿视频| 亚洲热线99精品视频| 国产特一级毛片| 欧美成人二区| 婷婷伊人五月| 国产老女人精品免费视频| 911亚洲精品| 中文字幕1区2区| 国产在线视频二区| A级毛片高清免费视频就| 国产精品美女自慰喷水| 国产成人啪视频一区二区三区| 毛片视频网| 国内精品免费| 日韩小视频网站hq| 亚洲欧洲日产国码无码av喷潮| 中文字幕在线不卡视频| 免费国产高清精品一区在线| 欧美、日韩、国产综合一区| 国产精品久久久免费视频| 欧美亚洲第一页| 婷五月综合| 99热最新网址| 精品自窥自偷在线看| 亚洲欧美另类中文字幕| 2021国产精品自产拍在线| 亚洲天堂.com| 91极品美女高潮叫床在线观看| 亚洲中文在线视频| 久久精品一卡日本电影| 国产精品成人免费视频99| 久久99国产乱子伦精品免| 波多野结衣一区二区三区四区视频| 依依成人精品无v国产| 欧美日韩国产精品va| 美女潮喷出白浆在线观看视频| 亚洲天堂网在线播放| 久久黄色视频影| 国产精品人成在线播放| 无码AV动漫| www精品久久| 国产大片喷水在线在线视频| 久久国产V一级毛多内射| 久久人妻xunleige无码| 久久久久夜色精品波多野结衣| 青青草久久伊人| 无遮挡国产高潮视频免费观看 | 国产精品3p视频| 韩日无码在线不卡| a毛片在线播放| 国产激情在线视频| 中文字幕久久波多野结衣| a亚洲视频| 精品天海翼一区二区| 久热精品免费|