LTCC智能生產線關鍵技術研究

杜 彬，李姍澤

（中國電子科技集團公司第二研究所，太原 030024）

1 引言

國內對于LTCC的應用已經有相當長的時間，但目前主要用于軍用領域，例如TR組件和圖像識別模塊等，在民用領域仍然以厚膜混合集成電路為主[1]。國內LTCC技術在開發及產業化方面比發達國家晚，LTCC生產水平仍處于手工、半自動的階段，因此產品質量、批量化生產的一致性與國外水平仍有一定差距[2]。LTCC智能生產線的出現能夠緩解這一局面。

2 LTCC智能生產線

要方向之一[2]。LTCC智能生產線是指在現代傳感技術、網絡技術、自動化技術等先進技術的基礎上，將LTCC生產工藝融入到生產線中，實現設計過程、制造過程智能化，是信息技術和智能技術的深度融合與集成[3]。LTCC生產線典型流程和架構見圖1、圖2。

圖1 LTCC生產線典型流程

智能制造技術無疑是世界制造業未來發展的重

圖2 LTCC智能生產線構架

3 智能生產線的關鍵技術

3.1 工藝關鍵技術

智能生產線中LTCC工藝技術是頂層總體設計的基礎，是智能制造生產線設計首先要開展的。它決定了生產線中最重要也是投資最大的硬件，即加工設備的選型，也是智能制造生產線調度、運行控制的決策依據，是決定智能制造生產線的節拍、工藝流程、產品質量的關鍵技術。只有將LTCC基板智能制造工藝這塊“地基”打好，才能使這條智能生產線更好更快更順利地建設起來[2]。

該LTCC智能生產線是基于現已成熟的LTCC半自動化工藝技術（8英寸），研發出適用于該智能生產線的新工藝技術。主要需改進的工藝有以下幾種。……