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基于MEMS的多模態(tài)電磁式能量采集器設(shè)計(jì)與仿真

2018-08-29 00:44:40陳慶東,王俊平,王寧
傳感器與微系統(tǒng) 2018年7期
關(guān)鍵詞:模態(tài)設(shè)計(jì)

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