透射電子顯微鏡高精密可調(diào)基準(zhǔn)源的設(shè)計(jì)

董全林，吳國(guó)增，王鵬飛，陳鶴，孟慶浪

（北京航天航空大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院，微納測(cè)控與低微物理教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，北京，100191）

0 引言

在很多數(shù)字邏輯電路、混合信號(hào)和模擬電路中都采用電壓基準(zhǔn)源，因此了解基準(zhǔn)源的工作原理和選擇方法，對(duì)系統(tǒng)的合理設(shè)計(jì)是一個(gè)較為重要的因素[1、2]。基準(zhǔn)源本質(zhì)就是高精密電源，通常采用耦合電感的方式來(lái)提高輔助回路的輸出穩(wěn)壓精度[3、4]。該方法僅在一定程度上提高了輔助繞組的穩(wěn)壓精度，但仍無(wú)法實(shí)現(xiàn)精確穩(wěn)壓。目前實(shí)現(xiàn)多路穩(wěn)壓的方式主要有4大類，輔助繞組采用線性穩(wěn)壓方式、采用開(kāi)關(guān)電源二次穩(wěn)壓方式、采用同步開(kāi)關(guān)或磁放大器的后置調(diào)節(jié)方式。在高精度集成電路系統(tǒng)中，低溫度系數(shù)、低工作電壓基準(zhǔn)源的設(shè)計(jì)十分重要，基準(zhǔn)電壓的溫度特性直接影響電路精度和性能[5、6、7、8、9、10]。高精密穩(wěn)壓電源在很多應(yīng)用于各種直流基準(zhǔn)，基準(zhǔn)源的穩(wěn)定性對(duì)整個(gè)電子系統(tǒng)影響非常重要。為了更好的滿足各種不同的電子系統(tǒng)，可以設(shè)計(jì)出可調(diào)高精密直流電源[11、12]。

1 基準(zhǔn)源在透射電子顯微鏡中的應(yīng)用

在透射電子顯微鏡中需要高穩(wěn)定度的可調(diào)恒流源，使電磁透鏡產(chǎn)生穩(wěn)定可調(diào)的磁場(chǎng)，從而讓電子束更好聚焦從而減小象差。恒流源的基準(zhǔn)源如圖1所示。

高壓電源的穩(wěn)定性對(duì)電子顯微鏡分辨率產(chǎn)生影響，特別是當(dāng)電源不穩(wěn)定產(chǎn)生色差。在透射電子顯微鏡中影響高壓電源的穩(wěn)定性影響很多，在電路結(jié)構(gòu)中可以用表達(dá)式來(lái)表示高壓電源穩(wěn)定性相關(guān)因素。……