“超高純四氯化硅技術研發項目”通過科技成果鑒定

本刊訊2018年1月9日上午，中國電子材料行業協會組織行業專家對中國恩菲和中硅高科共同承擔的“超高純四氯化硅技術研發項目”進行成果鑒定。該項目于2015年10月10日得到河南省科技廳審批，隨后，中國恩菲依托中硅高科，發揮強大的研發團隊和持續的技術研發能力，結合已有四氯化硅提純工藝技術，經過2年潛心研發，該項研發成果已經得到了應用實踐檢驗。

鑒定委員會聽取了項目組的匯報并對現場進行了詳實考察，審查了相關資料，經質疑和討論，一致認為：“超高純四氯化硅技術研發項目”自主研發了“以多晶硅副產物四氯化硅為原料制備光纖用OVD級高純四氯化硅的吸附精餾提純工藝、以OVD級高純四氯化硅為原料制備光纖用PCVD級超高純四氯化硅的光催化反應精餾提純工藝、超高純四氯化硅的全自動充裝技術和裝備、超高純四氯化硅產品密閉在線取樣系統”等先進的工藝及裝備技術，保證了產品質量穩定性及檢測結果的準確性。該成果實現了多晶硅副產物四氯化硅的綜合利用，提高了四氯化硅的產品附加值，已應用并建成了10000噸/年的OVD級高純四氯化硅和100噸/年的PCVD級、半導體超高純四氯化硅生產裝置，具有自主知識產權和創新性，鑒定委員會專家一致認定，該項目技術水平達到國際先進水平，順利通過科技成果鑒定。

該項成果鑒定的順利通過，不僅標志著中硅高科超高純四氯化硅技術水平得到業內專家的一致認可，同時也代表著中國恩菲轉型發展邁出了堅實的一步。