EUV熱賣ASML或?qū)⒌琼擨C設(shè)備市場(chǎng)

陳炳欣

近日，TIN調(diào)研公司總裁羅伯特·卡斯特拉諾預(yù)測(cè)，全球半導(dǎo)體設(shè)備龍頭應(yīng)用材料公司2019年有可能失去其蟬聯(lián)多年的龍頭寶座，讓位給光刻機(jī)大廠荷蘭阿斯麥（ASML）公司。應(yīng)用材料自從1992年超過(guò)日本東電電子成為全球最大半導(dǎo)體設(shè)備制造商后，就一直占據(jù)這個(gè)位置。ASML則由于開(kāi)發(fā)極紫外光刻機(jī)（EUV）的成功，成為7nm及以下半導(dǎo)體制造過(guò)程中不可或缺的設(shè)備，受到市場(chǎng)追捧。兩家設(shè)備大廠到底孰強(qiáng)孰弱？ASML真能如羅伯特·卡斯特拉諾預(yù)測(cè)般超過(guò)應(yīng)用材料登頂半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)？

應(yīng)用材料和ASML，一個(gè)全面均衡，一個(gè)專注優(yōu)勢(shì)當(dāng)前的時(shí)間節(jié)點(diǎn)似乎有利于ASML的優(yōu)勢(shì)發(fā)揮。

應(yīng)用材料與ASML哪個(gè)第一？

羅伯特卡斯特拉諾表示，過(guò)去三年之中，ASML可謂出盡風(fēng)頭，EUV光刻機(jī)被幾大芯片制造巨頭爭(zhēng)搶。根據(jù)其統(tǒng)計(jì)，2018年ASML在全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)份額為18%，2019年上升到21.6%。而半導(dǎo)體設(shè)備傳統(tǒng)霸主應(yīng)用材料，在2018年的市場(chǎng)份額為19.2%，今年小幅增長(zhǎng)到了19.4%。因此，如果這一預(yù)測(cè)和統(tǒng)計(jì)成真，ASML將超過(guò)應(yīng)用材料，登上全球半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商第一名的寶座。羅伯特·卡斯特拉諾還預(yù)測(cè)2020年的市場(chǎng)。基于2020年半導(dǎo)體制造商計(jì)劃的資本支出情況，ASML市場(chǎng)份額將提高到22.8%，應(yīng)用材料將保持19.3%的份額。這意味著ASML還將蟬聯(lián)龍頭寶座至明年。

就這一預(yù)測(cè)，半導(dǎo)體專家莫大康認(rèn)為，應(yīng)用材料是產(chǎn)品線最全的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，應(yīng)用材料善于并購(gòu)，通過(guò)一系列并購(gòu)，加強(qiáng)著自身的實(shí)力。這也使得其產(chǎn)品線變得很寬，涵蓋了半導(dǎo)體制造的數(shù)十種設(shè)備，包括物理氣相沉積設(shè)備（PVD）、化學(xué)氣相沉積設(shè)備（CVD）、平坦設(shè)備（CMP）、原子層沉積設(shè)備（ALD）、離子注入機(jī)、刻蝕機(jī)、快速熱處理設(shè)備（RTP），以及晶圓檢測(cè)設(shè)備等。除PVD和CMP占據(jù)全球最大市場(chǎng)份額外，其他設(shè)備并非最強(qiáng)，卻也擁有不弱的實(shí)力。應(yīng)用材料憑借相對(duì)全面的產(chǎn)品線，長(zhǎng)期穩(wěn)坐在半導(dǎo)體設(shè)備第一供應(yīng)商的位置。不過(guò)2019年半導(dǎo)體偏于下滑，這也使得應(yīng)用材料業(yè)績(jī)不甚理想。2019財(cái)年，應(yīng)用材料實(shí)現(xiàn)營(yíng)收146.10億美元，凈利潤(rùn)27億美元，同比減少了11%。

相對(duì)而言，ASML一直專注于光刻機(jī)的開(kāi)發(fā)。據(jù)Gartner統(tǒng)計(jì)，2018年.該公司在全球光刻機(jī)市場(chǎng)中的份額達(dá)到76%。特別ASML是唯一一家能夠提供EUV光刻機(jī)的設(shè)備廠商，而7nm及更先進(jìn)制程工藝對(duì)該種設(shè)備的依賴度非常高.英特爾、臺(tái)積電和三星三家芯片制造巨頭均需要采購(gòu)ASML的EUV設(shè)備。未來(lái)EUV的使用范圍還將從先進(jìn)邏輯工藝，逐漸擴(kuò)展到存儲(chǔ)器方面。這樣其使用量還將大大增加。

因此，莫大康認(rèn)為，以這樣的發(fā)展態(tài)勢(shì)來(lái)看，ASML超過(guò)應(yīng)用材料，在2020年成為半導(dǎo)體設(shè)備廠商首位的可能性是很大的。然而，就此認(rèn)為ASML強(qiáng)于應(yīng)用材料又是不準(zhǔn)確的。“應(yīng)用材料和ASML，一個(gè)全面均衡.一個(gè)專注優(yōu)勢(shì)。在當(dāng)前的時(shí)間節(jié)點(diǎn)下，似乎有利于ASML的優(yōu)勢(shì)發(fā)揮。但是，應(yīng)用材料也有其優(yōu)勢(shì)的地方”莫大康說(shuō)。

設(shè)備廠一定要有全球化視野，不能只盯著中國(guó)市場(chǎng)，產(chǎn)品設(shè)備的性能指標(biāo)要面向國(guó)際一流水準(zhǔn)_。一代設(shè)備一代工藝，中國(guó)如何做強(qiáng)？

無(wú)論今年設(shè)備龍頭寶座會(huì)否變化卻可以看出設(shè)備廠商與半導(dǎo)體互動(dòng)越來(lái)越緊密，作用越來(lái)越突出。正如應(yīng)用材料中國(guó)公司首席技術(shù)官趙甘鳴在此前接受記者采訪時(shí)指出.隨著摩爾定律的放緩，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正面臨全新的技術(shù)變革，需要最底層的材料工程技術(shù)的發(fā)展，提供強(qiáng)有力的支撐。

半導(dǎo)體行業(yè)素有一代設(shè)備，一代工藝，一代器件的說(shuō)法。從上世紀(jì)80年代末期開(kāi)始，半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)便致力于工藝的開(kāi)發(fā)，將工藝能力整合到設(shè)備中，也就是設(shè)備廠在做制造廠的工作，讓制造廠買到設(shè)備就能保證使用，并目達(dá)到工藝要求。從這個(gè)意義巨看，說(shuō)設(shè)備的發(fā)展決定了器件和工藝的進(jìn)步并不為過(guò)。可也正因?yàn)檫@種情況的出現(xiàn)，對(duì)于中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的發(fā)展來(lái)說(shuō)也就提出了更高的要求。

對(duì)此，莫大康指出，一臺(tái)設(shè)備從研發(fā)、樣機(jī)開(kāi)始，必須經(jīng)過(guò)大量硅片通過(guò)等工藝試驗(yàn)，才能發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，并進(jìn)行改型。這樣的過(guò)程要重復(fù)多次，改型多次，才能最后定型。并且出廠前要經(jīng)過(guò)馬拉松試驗(yàn)，測(cè)算平均無(wú)故障時(shí)間等。這對(duì)實(shí)力尚弱的國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商來(lái)說(shuō).將是一個(gè)巨大的挑戰(zhàn)。

近年來(lái)為了扶持設(shè)備業(yè)發(fā)展，國(guó)家出臺(tái)政策給予支持。雖然我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的市場(chǎng)需求量非常大，但是國(guó)內(nèi)設(shè)備業(yè)發(fā)展仍然是一個(gè)短板。SEMI的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2018年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售總額達(dá)645億美元。中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備幣場(chǎng)首度以131.1美元超越中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)，居全球第二，但半導(dǎo)體設(shè)備廠商營(yíng)收全球占比仍處于個(gè)位數(shù)級(jí)別。

盛美半導(dǎo)體董事長(zhǎng)、首席執(zhí)行官王暉指出，半導(dǎo)體設(shè)備制造是一個(gè)門檻很高的行業(yè)，不僅技術(shù)高度密集.廠商需要掌握嚴(yán)密的IP，而且產(chǎn)品售出之后還有大量后續(xù)服務(wù)需要做好。如果售價(jià)被壓得過(guò)低，勢(shì)必會(huì)大幅壓低設(shè)備企業(yè)的利潤(rùn)空間。短期內(nèi)用戶企業(yè)雖然可能獲利，但是勢(shì)必會(huì)影響到后續(xù)服務(wù)的進(jìn)行。而且設(shè)備行業(yè)高度竟?fàn)帲髽I(yè)必須保證對(duì)每一代技術(shù)的持續(xù)跟進(jìn)，保持技術(shù)的領(lǐng)先性。這就需要持續(xù)迸行投入，而過(guò)低的獲利，將導(dǎo)致企業(yè)無(wú)力跟進(jìn)技術(shù)的進(jìn)步。

王暉認(rèn)為，對(duì)于國(guó)產(chǎn)設(shè)備業(yè)者來(lái)說(shuō)，最佳的解決之道就是做產(chǎn)品的差異化技術(shù)開(kāi)發(fā)，而不是僅憑低價(jià)格來(lái)爭(zhēng)取訂單。“面對(duì)同一個(gè)應(yīng)用，同一個(gè)技術(shù)挑戰(zhàn).你要比大公司做得好，就要尋求差異化的解決方法，否則就很難超過(guò)大公司。在王暉看來(lái)，從技術(shù)創(chuàng)新的角度.小公司未必會(huì)輸給大公司.反而因?yàn)槠潇`活性及高效率，而更容易做出突破性的技術(shù)。以汽帶面，從點(diǎn)阮取得突破，方是國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)長(zhǎng)期持續(xù)的成長(zhǎng)之道。

莫大康則指出，設(shè)備廠一定要有全球化的視野，不可能只盯著中國(guó)市場(chǎng)。要想全球化，產(chǎn)品設(shè)備的性能指標(biāo)要面向國(guó)際一流水準(zhǔn)。中微的設(shè)備之所以能打入臺(tái)積電生產(chǎn)線，正是因?yàn)槠鋰?guó)際化的眼光和市場(chǎng)化的手段。