林本堅一生獲獎無數,曾十度獲美國IBM杰出發明獎、美國IBM杰出貢獻獎、2008年當選美國國家工程學院院士……更在2014年獲選為臺灣中研院院士,成為臺灣最高學術殿堂首位企業界院士。2018年,林本堅又獲得未來科學大獎數學與計算機科學獎。未來論壇理事會輪值主席陳恂說:“大概從2006年開始至今,世界上所有的高端芯片——包括咱們人手一部的手機里的核心芯片、人工智能芯片、5G芯片、比特幣挖礦芯片,無一不是浸潤式光刻科技制造的。說沒有浸潤式光刻科技就沒有IT的今天,毫不夸張。世界上第一個提出這個科技的就是林本堅?!?/p>
林本堅從小生長在越南西貢,出于對物理的喜愛以及工作機會的思量,林本堅在考臺北大學時選擇了電機系,進而與電磁波結緣。臺大畢業后,林本堅又前往美國俄亥俄州立大學攻讀博士學位。畢業后,林本堅在IBM一做就是22年。在IBM的道路并非一帆風順,50歲時,他申請提前退休創業。然而創業后,他才發現專利在美國維持不易,最后應邀加入臺積電。
2002年,全球芯片產業進入發展瓶頸期,芯片產業所遇到的問題主要出自光刻技術,林本堅提出浸潤式光刻技術,在臺積電高層的大力支持下,開始放手一搏。他的創新和推動不但讓全球芯片工藝得以推進了六七代,臺積電也因此躋身一線大廠、主導業界規格。2015年底,林本堅從臺積電退休,并應邀加入清華大學擔任講座教授。
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