氣體層流流量傳感器測量不確定度評定

甄楊 于勁竹

摘 要：氣體層流流量傳感器層流元件上下游的靜壓力差來實現(xiàn)氣體流量測量的儀表，廣泛應(yīng)用于汽車電子、半導(dǎo)體技術(shù)、能源與環(huán)保等領(lǐng)域，本文依據(jù)JJG 736-2012《氣體層流流量傳感器》和JJF159.1-2012《測量不確定度評定和表示》對該流量計儀表系數(shù)檢定的不確定度進行了評定。

關(guān)鍵詞：氣體層流流量傳感器;儀表系數(shù);不確定度;評定

一、測量原理、方法和依據(jù)

當氣體流經(jīng)傳感器層流元件時，形成層流運動，在元件上下游產(chǎn)生靜壓力差。根據(jù)流體力學(xué)原理，流過元件的平均流速或體積流量與這一差壓成正比。氣體層流流量傳感器的校準依據(jù)是中華人民共和國國家計量檢定規(guī)程JJG736-2012《氣體層流流量傳感器》。[1]～[2]

二、建立數(shù)學(xué)模型

六、測量不確定度報告

氣體層流流量傳感器顯示流量307.56L/min，實際流量為304.24±304.24×0.70% L/min=304.24±2.13 L/min。

參考文獻：

[1]JJG 736-2012《氣體層流流量傳感器》.北京：中國質(zhì)檢出版社，2012.

[2]JJF159.1-2012《測量不確定度評定和表示》北京：中國質(zhì)檢出版社，2013.