本期文章點評

■石巖-微半球諧振陀螺技術研究進展

針對微半球諧振陀螺諧振結構加工成形的難題，國內外發展出各向同性刻蝕與沉積、玻璃熱膨脹加工和高溫噴燈吹制三種較為成熟的加工工藝。本文分析了三種工藝技術的特點，并對其未來發展趨勢進行了闡述，對微半球諧振陀螺技術研究者有很高的參考價值。

■蘇中-金屬殼諧振子研究進展

金屬殼諧振陀螺具有結構簡單、功耗低、抗沖擊性強、量程大等優點，可廣泛應用于中低精度角速度測量領域。作者從金屬殼諧振子結構設計、理論建模、信號處理、耦合抑制等方面進行了討論，針對性給出了微小型薄殼金屬諧振子構型、諧振特性、耦合抑制的發展建議，可為微小型金屬薄殼諧振陀螺研制者提供有益參考。

■席翔-圓柱殼體振動陀螺技術現狀與發展趨勢

本文作者介紹了圓柱殼體振動陀螺研究現狀，并詳細介紹了材料特性、加工變形、精密機械平衡、測控技術等對圓柱殼體振動陀螺性能的影響，并對其未來發展趨勢進行了討論。具有一定的參考價值。

■于家福-MEMS偏航角速度傳感器在旋轉導彈穩定回路中的應用

文中提出了一種新的MEMS偏航角速度傳感器技術方案，實現了對常規液浮陀螺或無驅動陀螺的替代，解決了偏航角速度傳感器正交耦合、力學環境適應性、波形畸變等問題，實現了旋轉導彈偏航角速度信號的精確測量，具有較強的工程價值。

■谷留濤-微半球陀螺測控電路國內外現狀與關鍵技術

為了彌補制造缺陷以及適應環境變化，微半球陀螺測控電路需要完成正交補償、模態匹配和溫度補償等工作。本文作者從Sigma-Delta電路、模態匹配、正交補償、溫度補償等角度進行了詳細討論，對微半球陀螺電路設計有一定的技術參考價值。

■于翔宇-全角模式半球諧振陀螺振型控制與角度檢測

本文對全角模式半球諧振陀螺進行了研究，介紹了全角模式半球諧振陀螺控制和信號處理方法與全角模式的實現。通過數字仿真與實物實驗結果可知，本文所介紹的全角模式半球諧振陀螺系統能夠實現不依賴積分運算的角度檢測功能，且動態范圍有了一定的提高，為全角模式半球諧振陀螺提供一種控制和信號處理方法，適合于工程實際應用。

■黎超-用于定位導航授時微終端的SoC系統設計

定位導航授時微終端（MPNTT）對處理器提出了高處理能力要求的同時，也要求其集成化、高精度、可擴展。本文介紹了一種用于定位導航授時微終端的SoC系統設計，芯片單片實現ARM與FPGA的功能，為定位導航授時微終端系統微型化，進一步降低功耗與集成面積，提供了有效解決途徑。

■馮文帥-基于波長控制的光纖陀螺標度因數溫度性能提高方法

光纖陀螺的標度因數溫度性能與其光路、光源的多個參數相關，本文作者提出一種采用鉑電阻和橋路的簡便補償辦法，實現了對全溫標度因數誤差的有效補償。經試驗，全溫標度因數誤差改善了近一個數量級，對于中低精度光學陀螺的批產具有重要的工程價值。

■莊須葉-微型化半球陀螺制備工藝發展現狀及趨勢分析

半球陀螺的微型化是微機電陀螺領域的研究熱點，作者對半球陀螺的微型化歷程進行了綜述介紹，著重對微型化半球陀螺諧振器的結構形態、工藝制備方法和材料選擇進了對比和分析，并對各微型化途徑的特點進行了討論和展望，具有較強的參考價值。

■蘇兆喜-基于玻璃-硅復合基板的微系統圓片級三維封裝

系統級的三維封裝已經成為電子產品高度集成化、微型化、多功能化形勢下的必然趨勢。本文作者針對性提出基于玻璃回流方案實現慣性器件的三維封裝，并制作了埋入式慣性器件電極以及三維圓片級封裝原型，實驗結果表明具有氣密性，并適合光電混合封裝，是一種容易實現并且有應用前景的微系統三維封裝方法。

■徐志強-石英半球諧振子精密加工技術探討

石英半球諧振子作為半球諧振陀螺的核心零件，壁薄、形狀復雜、加工精度高、制造難度大，是制約半球諧振陀螺研制的關鍵之一。本文分析了半球諧振陀螺的結構類型和特點，分析了石英半球諧振子粗磨成型、精密磨削、研磨拋光、化學腐蝕、質量調平、表面鍍膜等加工方法及研究進展，并提出了今后研究方向。

■馬志奎-石英半球諧振子精密成型技術

石英半球諧振子的制造屬于硬脆薄壁球殼狀異形三維結構微應力精密超精密制造，難度較大。本文以范成球面彈性展成為基礎，以均衡磨削原則、磨頭最大包絡原則和三階段37道工序的精細優化工藝流程，較好地解決了高精度微應力硬脆石英振子異形薄壁件的成型問題，具有重要的工程參考價值。

■劉寧-極端瞬態力作用下金屬殼諧振陀螺結構強度分析

金屬殼諧振陀螺極端瞬態力作用下的結構強度分析是研究其抗過載能力的關鍵，本文作者利用有限元仿真方法，研究了極端瞬態力作用下金屬殼諧振陀螺的應力分布，給出了金屬殼諧振陀螺抗過載能力與結構參數之間的關系，有助于實現金屬殼諧振陀螺抗過載結構設計。

■莊須葉-硅半球深腔結構無損檢測技術

半球深腔的加工質量是決定硅基MEMS半球陀螺精度的關鍵因素之一，但卻沒有對半球深腔形貌特征進行測量的有效辦法。本文作者提出一種將硅半球形深腔的結構尺寸和表面形貌轉移到PDMS半球模型上的無損檢測手段，實現了測量不準確度優于5‰，具有重要的工程參考價值。

■艾力·庫爾班-GPS/BDS組合定位精度分析

本文從衛星可見性、精度因子、定位精度和均方根誤差等方面對GPS、BDS及兩者組合定位系統的定位性能、精度進行了詳細比較。測試結果表明采用GPS/BDS組合定位較單一GPS和BDS系統定位方法能有效提高定位精度，對開展GNSS高精度導航定位研究具有參考價值。

■路小燕-改進的Sage-Husa自適應濾波算法在MEMS航姿參考系統中的應用

針對經典Kalman濾波和擴展Kalman濾波融合算法存在的計算量大、精度低、實時性差的缺點，文章引入了改進的Sage-Husa自適應擴展Kalman濾波算法，對濾波器發散進行有效的抑制、減少了算法計算量。實驗結果證明了該算法的可靠性、精確性以及自適應能力。