TFT-LCD中液晶取向異常亮點機理研究及改善

周 波，王 祺，宋勇志，洪永泰，陳維濤

(北京京東方顯示技術有限公司, 北京 100176)

1 引 言

目前市場上ADS/IPS等硬屏TFT LCD顯示產品中，液晶取向技術仍主要是接觸式摩擦配向工藝，其中亮點類不良由于其可視性，一直是顯示屏出貨的主要不良。

按照亮點不良形成原理，可以將其分為兩大類：像素亮點和不規則亮點。像素亮點主要是由于單個TFT充電異常造成的整個亞像素亮點[1]，此種不良主要是依靠陣列基板(Array)工藝條件優化、檢測維修工序進行改善及維修[2]；另一種不規則亮點，正如其名，亮點形狀不規則，與TFT充電無關，按其成因又分為兩大類：異物亮點和非異物亮點。由屏內可見異物造成的亮點即為異物亮點，異物亮點可以通過人員作業管理、清洗設備優化[3]、摩擦強度優化[4]等方面進行改善。另一種非異物造成的不規則亮點，即為本文所要分析改善的亮點不良。

針對上述非異物亮點不良，一直未有有效的分析手段和明確的不良發生機理。本文通過對非異物亮點不良進行詳細宏觀和微觀分析，同時建立實驗室測試模型找到不良發生的根本影響要素，從本源上對這種不良建立了改善對策，并將改善條件在生產線進行了實際的驗證及導入，驗證了不良機理和實驗室模型有效性，并提升了TFT LCD的量產良率。

2 非異物亮點不良的描述及初步分析

2.1 非異物亮點的不良描述

以我公司為例，該類不良的發生率維持在0.5%～1.5%左右，極大影響了我公司產品的良率和邊效等級。……