硅片生產用輔助腐蝕機構

常琳 聶磊

揚州虹揚科技發展有限公司 江蘇 揚州225115

引言

硅片腐蝕是利用氫氧化鈉對多晶硅進行腐蝕，目的是為了去除硅片在多線切割鋸切片時產生的表面損傷層，同時利用氫氧化鈉對硅腐蝕的各向異性，爭取反射率較低的表面織構。

目前在硅片腐蝕工藝中，首先將圓形硅片放入到專用載具中，其次將專用載具放入到恒溫腐蝕池中腐蝕一定時間，并在機械臂的抖動下加速腐蝕，使硅片在沒有保護的地方腐蝕成溝槽，形成芯片的初步形狀；但是現有的機械臂結構復雜，而且不利于形成旋轉腐蝕，腐蝕效果差。

授權公告號為CN207398077U的專利公開了一種用于挖溝槽的硅片旋轉裝置，該裝置只能實現在刻蝕槽內刻蝕，無法實現提升后旋轉或者旋轉后提升。

1 裝置設計

硅片生產用輔助腐蝕機構，包括裝有腐蝕槽的底座和安裝架，所述安裝架設置在底座上，且安裝架上安裝有第一轉軸，所述安裝架位于所述腐蝕槽外側，所述第一轉軸的端部安裝有驅動電機，且第一轉軸下方安裝有輔助機構，所述輔助機構位于所述腐蝕槽內部。在上述技術方案的基礎上，本文還做了如下改進：

（1）所述輔助機構包括旋轉架和支撐板，所述支撐板間隔安裝在第一轉軸下方，且支撐板之間安裝有旋轉架，采用本步的有益效果是通過支撐板能夠保證第一轉軸轉動時，旋轉架能夠隨之轉動。

（2）它還包括傳動機構，所述傳動機構安裝在第一轉軸內部，且傳動機構能夠帶動旋轉架轉動，采用本步的有益效果是通過傳動機構能夠帶動旋轉架運動，以此實現硅片能夠在腐蝕槽中轉動，提高腐蝕的均勻性。

（3）傳動機構包括第二轉軸、主動輪、從動輪和第二驅動電機，所述第二驅動電機安裝第一轉軸內部，且第二驅動電機的輸出端安裝有主動輪，所述旋轉架內部穿設有第二轉軸，所述第二轉軸的末端安裝有從動輪，所述主動輪與從動輪之間通過鏈條連接，采用本步的有益效果是通過第二驅動電機帶動第二轉軸轉動。

（4）鏈條外側套裝有保護套。

2 圖示說明

為了更清楚地說明本文的技術方案，下面將對具體實施方式中所需要使用的附圖作簡單地介紹。圖1為本文所述的一種硅片生產用輔助腐蝕機構的結構示意圖；圖2為本文所述的一種硅片生產用輔助腐蝕機構的第二轉軸的結構示意圖；

3 具體實施

下面將結合附圖對本文技術方案進行詳細的描述。

如圖1-2所示，本文所述的一種硅片生產用輔助腐蝕機構，包括裝有腐蝕槽1的底座2和安裝架3，所述安裝架3設置在底座2上，且安裝架3上安裝有第一轉軸4，所述安裝架3位于所述腐蝕槽1外側，所述第一轉軸4的端部安裝有第一驅動電機5，且第一轉軸4下方安裝有輔助機構6，所述輔助機構6位于所述腐蝕槽1內部；本實施例中的第一轉軸4是穿過安裝架3，在第一驅動電機5的帶動下，能夠實現轉動，具體與安裝架3的安裝方式屬于現有技術，此處不再贅述；第一驅動電機5設置在安裝架3外側，且輸出端與第一轉軸4的一端連接，這樣第一驅動電機5轉動時，能夠實現第一轉軸4的轉動，以此，也能帶動輔助機構6運動，脫離腐蝕槽。

如圖1所示，所述輔助機構6包括旋轉架601和支撐板602，所述支撐板602間隔安裝在第一轉軸4下方，且支撐板602之間安裝有旋轉架601；本實施例中支撐板602為兩塊，起到連接支撐的作用，旋轉架601是安裝在支撐板602之間，這樣第一轉軸4運動時，旋轉架601也能夠繞著第一轉軸4運動；本實施例中的旋轉架601用于放置腐蝕用花籃，其包括放置部和固定部，放置部通過連桿和擋板形成上方開口，內部為凹型的放置空間，開口處放置有固定部，固定部也是由連桿和擋板組成，形成和放置空間相配合的固定部，固定部與放置部通過位于其兩端螺栓固定。

如圖1所示，它還包括傳動機構7，所述傳動機構7安裝在第一轉軸4內部，且傳動機構7能夠帶動旋轉架601轉動；在腐蝕時，需要保證硅片能夠旋轉，這樣才能夠實現均勻腐蝕，所以需要額外的結構帶動旋轉架601運動。

如圖1所示，所述傳動機構7、輔助機構6均為PVC材質，所述鏈條705外側套裝有保護套706。

本實施例的運動過程：先加裝有花籃的硅片放置在旋轉架601中，固定好后，啟動第一驅動電機704，帶動第一轉軸4轉動，使得旋轉架601能夠落入腐蝕槽1中；啟動第二驅動電機704，帶動主動輪702轉動，以此實現從動輪703轉動，從而帶動第二轉軸701轉動，旋轉架601能夠完成轉動，在腐蝕完畢后，啟動第一驅動電機704，帶動第一轉軸4轉動，使得旋轉架601脫離腐腐蝕槽。

4 結束語

本文闡述的一種硅片生產用輔助腐蝕機構，通過第一轉軸能夠實現旋轉架進入或者脫離腐蝕槽，代替人工操作。通過傳動機構能夠帶動旋轉架轉動，從而提高硅片的腐蝕效果。結構簡單，成本低，且實用性高。