江蘇省集成電路產業“奮勇向前”光刻機廠商ASML“握手”無錫

5 月，光刻機生產研發公司荷蘭阿斯麥（ASML）公司與無錫高新區管委會簽署戰略合作協議，未來阿斯麥公司將在原有基礎上對資源進行整合提升，加速擴建光刻設備技術服務（無錫）基地。

光刻機，又名掩模對準曝光機，是制造大規模集成電路的核心裝備。作為“芯片之母”，它對某個國家或地區的集成電路產業具備重要的發展支撐作用。阿斯麥公司與無錫“握手”，將為江蘇集成電路產業帶來哪些新變化？

這是阿斯麥與無錫第二次“握手”。2006 年，阿斯麥公司在無錫布局建立光刻設備技術服務基地，經過多年的“深耕細作”，如今，阿斯麥無錫基地是中國規模最大的光刻設備技術服務基地，成為華虹、SK 海力士等一批重點集成電路企業光刻機的供應商。

此次阿斯麥實施（無錫）基地升級擴建，將擁有近200 人規模專業團隊的技術中心，從事光刻設備的維護、升級等技術服務，為設備安裝、升級及生產運營等所需的物料提供更高水準的物流支持。項目建成后，將更好地滿足無錫乃至江蘇集成電路產業的發展需求。

目前，我國集成電路產業正處于一個非常時期。“阿斯麥光刻設備技術服務的引入與此時擴建，有著非同一般的重要意義。”有專家表示，無錫是最早布局的集成電路產業基地之一，近年來，在國家和地方政策的重點支持下，無錫先后引入華虹基地、海力士二工廠等一批重大產業項目。去年，無錫集成電路產業產值達到1178 億元，增長8.3%，位居江蘇省第一、全國第二。專家坦言，江蘇集成電路產業在國內起步早，并形成了一定的產業規模，但在集成電路產業的上游，無論是光刻設備，還是集成電路設計和高端電子化學品方面，仍是一條“短腿”，亟待補齊產業鏈，提升產業自主創新力和國際競爭力。

據介紹，阿斯麥公司無錫技術服務基地還將服務江蘇乃至整個長三角地區。目前江蘇先進制程（28nm 及以下）半導體工廠有南京臺積電工廠、無錫SK 海力士DRAM 工廠等。其中，華虹半導體無錫基地12 英寸生產線實現了高性能90nm FSI 工藝平臺產品投片。