硅片甩干干燥裝置

李歡 王敏

（揚(yáng)州虹揚(yáng)科技發(fā)展有限公司 江蘇 揚(yáng)州 225155）

引言

硅片旋轉(zhuǎn)沖洗甩干是的一道重要工序，使用于Solar panel和Silicon wafer的生產(chǎn)制造過(guò)程中對(duì)Wet etching清洗后的硅片進(jìn)行干燥和潔凈處理。曾有一篇專利描述了一種甩干機(jī)內(nèi)部的組合零件，該專利中所提的片盒夾具是多個(gè)夾具組裝在一起，這樣的裝置是整體運(yùn)作的，不利于單獨(dú)拿取和檢查硅片的狀態(tài)。所提內(nèi)筒底板圓心位置處開鑿一個(gè)中心孔槽，每一個(gè)片盒夾具外部設(shè)置若干個(gè)固定孔。

目前市場(chǎng)上出現(xiàn)的硅片放置盒大多都是整體拿取、整體上料，不能單獨(dú)翻轉(zhuǎn)放置硅片的上料框，給操作帶來(lái)了諸多不方便。

2 裝置設(shè)計(jì)

此硅片甩干干燥裝置，包含干燥桶、回轉(zhuǎn)工作臺(tái)、變頻電機(jī)和轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，變頻電機(jī)安裝在干燥桶下端，并且變頻電機(jī)上方安裝有回轉(zhuǎn)工作臺(tái)，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)上安裝有旋轉(zhuǎn)裝置，旋轉(zhuǎn)裝置包含若干個(gè)定位架和若干個(gè)連接板，定位架順著回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的四周圍方向間隔設(shè)置，并且相鄰近的定位架之間有連接板相連接。

在以上技術(shù)方案的奠基之上，本文還做了以下改善：

（1）所提定位架至少有四個(gè)，通過(guò)多個(gè)定位架能夠用于放置裝有硅片的上料框，這是其的優(yōu)勢(shì)之處。

（2）定位架包含定位槽、放料框和銷軸，使用這樣的裝置其優(yōu)點(diǎn)是定位架被分成多個(gè)部分，放料框就能夠翻轉(zhuǎn)，放置上料架和拿取上料架就變得較為簡(jiǎn)單。所提定位槽固定在所提回轉(zhuǎn)工作臺(tái)上，并且定位槽的開口向內(nèi)，所提放料框?yàn)閮?nèi)側(cè)開口的長(zhǎng)方形箱體，所提放料框位于所提定位槽內(nèi)部，并且放料框上方與定位槽上方有活動(dòng)插銷連接。

（3）定位槽、放料框的側(cè)邊均開設(shè)有多個(gè)排水孔，使用這樣的裝置其優(yōu)點(diǎn)是經(jīng)過(guò)多個(gè)排水孔便于水份流出。放料框上方安裝有撥動(dòng)桿，使用這一步的優(yōu)點(diǎn)是通過(guò)撥動(dòng)桿能夠便于轉(zhuǎn)動(dòng)放料框。

（4）變頻機(jī)構(gòu)為變頻電機(jī)，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)與變頻電機(jī)上方的輸出端相連接。

3 具體實(shí)施

下面將對(duì)本文所提的技術(shù)方案進(jìn)行全面性講解。

本文提供的一種硅片甩干干燥裝置，包含干燥桶、回轉(zhuǎn)工作臺(tái)、變頻電機(jī)和旋轉(zhuǎn)裝置，所提變頻電機(jī)安裝在干燥桶下端，且變頻電機(jī)上方安裝有回轉(zhuǎn)工作臺(tái)，所提回轉(zhuǎn)工作臺(tái)上安裝有旋轉(zhuǎn)裝置，所提旋轉(zhuǎn)裝置包含若干個(gè)支撐架和若干個(gè)轉(zhuǎn)換板，所提支撐架順著回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的四周圍方向間隔設(shè)置，且相鄰近的支撐架之間連接有轉(zhuǎn)換板；本實(shí)施例是利用變頻電機(jī)完成回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)，其中旋轉(zhuǎn)裝置是安裝在回轉(zhuǎn)工作臺(tái)上，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，旋轉(zhuǎn)裝置能帶動(dòng)跟著轉(zhuǎn)動(dòng)，使得硅片得到甩干的目的。而旋轉(zhuǎn)裝置由兩個(gè)部分組成，一個(gè)是支撐架，另一個(gè)是轉(zhuǎn)換板，所提支撐架可以有大于或等于四個(gè)（依據(jù)器具的大小而定），支撐架是用于放置裝有硅片的上料框，那支撐架就靠轉(zhuǎn)換板來(lái)連接，這樣使得回轉(zhuǎn)工作臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，旋轉(zhuǎn)裝置不會(huì)脫離回轉(zhuǎn)工作臺(tái)而得到保障。

變頻電機(jī)為驅(qū)動(dòng)裝置，所提變頻電機(jī)上方的輸出端連接有回轉(zhuǎn)工作臺(tái)；本實(shí)施例中變頻電機(jī)就是驅(qū)動(dòng)源，能夠驅(qū)動(dòng)回轉(zhuǎn)工作臺(tái)從而完成轉(zhuǎn)動(dòng)。

支撐架包含定位槽、不銹鋼儲(chǔ)料槽和插銷，所提定位槽固定在所提回轉(zhuǎn)工作臺(tái)上，并且定位槽的開口向內(nèi)，所提不銹鋼儲(chǔ)料槽為內(nèi)側(cè)開口的長(zhǎng)方形箱體，所提不銹鋼儲(chǔ)料槽位于所提定位槽內(nèi)部，且插銷將不銹鋼儲(chǔ)料槽上方與定位槽上方相連接；本實(shí)施例中的支撐架分成多個(gè)部分，是定位槽和不銹鋼儲(chǔ)料槽的組合而成，其中定位槽是焊連在回轉(zhuǎn)工作臺(tái)上，其上方與不銹鋼儲(chǔ)料槽上方有插銷做連接，這樣不銹鋼儲(chǔ)料槽能夠圍繞著插銷旋轉(zhuǎn)，不銹鋼儲(chǔ)料槽的內(nèi)側(cè)面為開口面，當(dāng)該開口面在不銹鋼儲(chǔ)料槽翻轉(zhuǎn)向上后，就可以用來(lái)放置裝有硅片的上料框，旋轉(zhuǎn)不銹鋼儲(chǔ)料槽，可使不銹鋼儲(chǔ)料槽的開口面朝向內(nèi)側(cè)，此時(shí)完成整個(gè)上料框的放置動(dòng)作。

定位槽、不銹鋼儲(chǔ)料槽的側(cè)邊均開有多個(gè)排水孔；本實(shí)施例中定位槽、不銹鋼儲(chǔ)料槽的各個(gè)側(cè)邊面上開設(shè)的排水孔有利于水份流出，使得水滴不再殘留在硅片的表面。

不銹鋼儲(chǔ)料槽上方安裝有切換撥片，本實(shí)施例中的切換撥片呈90度直角形狀，可拉動(dòng)不銹鋼儲(chǔ)料槽進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，便于操作人員的抓取。

4 結(jié)束語(yǔ)

本文闡述的是一種硅片甩干干燥裝置，這種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作便捷，便于維修保養(yǎng)。通過(guò)變頻電機(jī)帶動(dòng)回轉(zhuǎn)工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)，使存在旋轉(zhuǎn)裝置內(nèi)部的硅片甩干，從而使硅片得到干燥處理。旋轉(zhuǎn)裝置由多個(gè)定位架組成，所有定位架內(nèi)部的上料框都可以單獨(dú)旋轉(zhuǎn)，便于放置上料框也就是說(shuō)可以單獨(dú)轉(zhuǎn)動(dòng)某個(gè)上料框的硅片，這樣使得操作便捷，安裝起來(lái)也更簡(jiǎn)單明了。