管式PECVD工藝對太陽電池鍍膜顏色均勻性的影響研究

胡軍英 江民華

(1.江西工程學院智能制造與能源工程學院，江西 新余 338000；2.新余學院新能源科學與工程學院，江西 新余 338000)

太陽能是近年來發展迅猛的可再生能源，它是人類可以自由利用且最豐富的清潔能源。世界上很多國家都將太陽能產業列為戰略性新興產業，在產品研發、技術升級改造等方面都取得了長足進步，發展潛力巨大。因此太陽電池的研究和應用引起了科學家的廣泛關注[1]。本文通過管式PECVD工序，研究了其對改善鍍膜顏色的均勻性的影響，對高效單晶PERC電池的發展有一定的指導意義。

一、概述

1、單晶PERC鍍膜

PERC(Passivated Emitter and Rear Cell)全稱為鈍化發射極和背面電池技術，相對于傳統的電池工藝而言，PERC電池的生產流程多出幾個重要步驟：背面鍍氧化鋁、背面鍍氮化硅、背面激光開槽，這樣高品質的背面鈍化使金屬銀與半導體硅形成良好的歐姆接觸，能使PERC電池的開路電壓(Voc)和短路電流(Isc)比常規電池的電性能得到大幅提升，從而使電池片的轉化效率提升一個檔次。

2、PECVD

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)為等離子體化學氣相沉積法，是一種通過微波或射頻電流使硅烷和氨氣的氣體分子電離，在局部狀態下形成化學活性很強的等離子體，該等離子體可以在基片上沉積出所需求的薄膜結構[2]。

3、管式PECVD工藝對鍍膜均勻性的影響

近年來，對管式PECVD工藝鍍膜均勻性方面進行了深入的研究，如郭麗[3-5]等人對鍍膜工藝和石墨舟使用情況對成膜影響的研究。研究表明，從石墨舟卡點、各溫區溫度和石墨舟飽和情況都會影響鍍膜的均勻性，而且機臺內爐管在使用年限長的情況下，電池片的顏色波動性較大，成膜質量及均勻性較差。……