《電子工業專用設備》第 50 卷（2021）目次總匯編

趨勢與展望

AlN 單晶襯底的制備及研究進展..............................................................................................................齊志華3-1

時尚預測對產業裝備設計的輔助作用研究..................................................................孫 斐，陸定邦，崔成強5-1

淺談我國智能制造的發展建議..................................................................................................................柯建波6-1

半導體制造工藝與設備

接觸/接近式光刻UV-LED 光源測試分析與工藝研究........................................陳 威，黨景濤，王 河，等1-1

碲鋅鎘晶片雙面磨拋加工表面損傷層研究..................................................................張文斌，郭 東，葛勱翀1-5

液相外延設備溫度控制系統研究............................................................................李 瑫，程文進，黃志海，等1-8

低溫探針臺液氮管路保冷設計與應力分析................................................................賈月明，劉路寬，高 岳1-12

基于模糊PID 控制的晶圓精密磨削控制系統.......................................................楊生榮，王克江，白 陽，等2-1

線形同軸耦合微波等離子體系統仿真研究............................................................彭宜昌，吳易龍，徐 偉，等2-5

磁控濺射臺鍍膜形貌及均勻性改善研究.....................................................................解 晗，張春勝，申 強2-8

基于雙頻電源的PECVD 沉積設備設計與仿真...................................................龍長林，周立平，陳國欽，等2-12

離子注入機分析器模型的自動調束控制方法............................................................孫 勇，鐘新華，楊亞兵2-15

基于仿真分析的設備微環境控制技術....................................................................楊 師，史 霄，楊元元，等3-8

基于數字孿生的設備預測性維護模式研究...........................................................................................張 蕾3-12

CMP 干燥模組控制軟件設計................................................................................楊 旭，楊元元，王嘉琪，等3-16

自動稱重系統在全自動硅片上下料機的應用........................................................................................剌穎乾3-21

鍺片表面鈍化探究進展................................................................................................楊 靜，韓煥鵬，張偉才4-27

晶片雙面磨拋壓力控制系統的研究.....................................................................孫莉莉，韋 薇，張爭光，等4-31

離子束濺射沉積設備制備薄膜均勻性研究.........................................................陳國欽，袁祖浩，胡 凡，等4-35

氣態氟化氫釋放系統..................................................................................................................................龐克儉5-7

自動化離子注入設備控制系統的研究與設計............................................................周 波，佘鵬程，羅 超5-11

MOCVD 設備射頻感應加熱原理與故障分析............................................................劉成群，程壹濤，劉宇寧5-16

碳化硅用多線切割機張力控制系統技術研究...........................................................董同社，毛善高，段成龍5-22

照明光瞳調制技術研究.............................................................................................................高愛梅，盛乃援5-27

離子束刻蝕技術與設備常見故障分析.......................................................................程壹濤，劉成群，吳 海5-33

基于面陣相機識別生成晶圓圖譜的算法研究.....................................................周 丹，霍 杰，袁曉春，等5-39

150 mm 圓片在光刻機內旋轉135°曝光的方法..................................................申 強，趙 磊，劉 磊，等6-7

離子注入機用層疊開放式加速電源的研制.........................................................金則軍，劉玉軍，于 亮，等6-12

VDMOS 器件制造中的濕法工藝與設備研究........................................................................................宋文超6-16

集成電路裝備的智能裝配平臺研究.......................................................................................................齊芊楓6-21

全自動化學拋光機系統設計.................................................................................薛書亮，張 博，趙永進，等6-28

離子注入機離子束生成系統的原理及維修.........................................................文黎波，張海明，王秀海，等6-32

先進封裝技術與設備

遠程運維技術在共燒陶瓷基板制造設備中的應用.............................................田 芳，劉 培，閆 冬，等2-18

金絲引線鍵合失效的主要因素分析.....................................................................常 亮，孫 彬，徐品烈，等2-23

高壓力微孔填充工藝技術研究...............................................................................................................王 慧2-29

新型HDI 盲孔填孔電鍍銅技術..................................................................................郝鵬飛，呂麒鵬，王 殿2-33

基于改進蜂群PID 算法的高速擺臂機構抑振研究.................................................郝 靖，劉廣杰，張宇龍，等4-1

隱形劃片技術及其在MEMS 制造中的應用..............................................................................劉成群，程壹濤4-7

打孔機運動平臺精度自補償技術研究.....................................................................................高 峰，李 欣4-13

全自動鍵合機送線裝置研究.................................................................................常 亮，孫 彬，徐品烈，等4-19

采用凸輪驅動的QFP 電路分離模具..........................................................................李慶生，汪宗華，汪宗寶4-23

引線鍵合設備壓力控制機構的研究.......................................................................郝艷鵬，趙喜清，王增琴，等5-4

臨時鍵合和解鍵合工藝技術研究.........................................................................胡曉霞，鄭如意，邢 瑩，等6-45

塑封溢料之DFN/QFN 分析..................................................................................黃銀青，汪宗華，丁麗成，等6-49

管殼類產品縫焊過程質量問題分析及解決方法.......................................................閆旭冬，李文浩，王 雁6-51

測試·測量技術與設備

提高多芯片拼接線性度的新方法...............................................................................高慧瑩，左 寧，艾 博1-15

自動對準定位算法技術在探針設備中的應用研究.............................................劉國敬，梁 津，張文斌，等1-20

基于傾斜雙目相機的視覺對位技術研究.................................................................................董永謙，王增琴1-24

基于SIFT 特征的圖像拼接算法應用研究.............................................................................................劉 駿1-30

CMP 在線光學終點檢測算法研究及應用............................................................楊元元，楊 旭，史 霄，等2-37

一種MEMS 用硅單晶的缺陷檢驗方法.................................................................................................高 丹2-43

晶圓級微波測試工藝研究...........................................................................................呂 磊，胡曉霞，鄭如意2-46

基于神經網絡的IC 芯片圖形缺陷檢測技術研究.................................................................................魏 鵬3-35

一種精密流場維持系統的設計與應用...................................................................................................羅 晉3-42

超聲掃描檢測圖像處理方法研究...............................................................................張繼靜，呂榮華，連軍莉6-41

電子專用設備研究

基于PLC 的聲掃顯微鏡自動上下片系統設計......................................................... 趙英偉，郝曉亮，張文朋1-34

提高二維工作臺定位精度的誤差補償方法研究.................................................徐品烈，田利忠，種寶春，等1-38

IC 封裝TO 系列產品框架變形研究.......................................................................................................鄭娟莉1-42

基于數字化車間的加工精度自優化技術研究.....................................................張志耀，馬 良，韋 杰，等1-47

基于VGPU 的桌面虛擬化在三維設計中的應用......................................................韓棟梁，賀霄琛，李少飛1-52

相控陣雷達天線焊接技術研究.............................................................................劉志丹，張 飛，趙志平，等1-57

半導體制造設備排氣通風設計及仿真.................................................................史 霄，楊 師，楊元元，等1-63

從概念到批量生產升級MEMS 制造...........................................................................................David Haynes 1-67

面向IIOT 的數字化車間數據通信研究及應用.....................................................................................張 蕾2-52

化學鍍鎳鐵氟龍設備的設計要點研究.....................................................................................魏宇祥，王 殿2-57

內部螺旋線型管式熱交換器在工業窯爐上的應用.................................................................陳龍豪，朱從健2-61

系統級封裝(SiP)組裝技術與錫膏特性....................................... Sze Pei Lim，Kenneth Thum，Andy Mackie 2-67

基于定子繞組溫度感知與模糊PI 策略的感應電機矢量控制方法........................................孫 勇，張 偉3-46

真空共晶爐的改進與提升...........................................................................................霍灼琴，馬海亮，張永聰3-54

電池片高速劃片旋轉傳輸臺的研究.......................................................................................................張奚語3-60

系統級封裝(SiP)組裝技術與錫膏特性(續)................................Sze Pei Lim，Kenneth Thum，Andy Mackie 3-65

AMOLED 除泡工藝中智能搬送及分揀系統的設計與實現...............................田 娜，王 毅，姜慧慧，等4-40

太陽能電池分選設備視覺定位系統...........................................................................尹 昊，傅子霞，沈 建4-45

基于多軸同步控制系統的研究與應用.....................................................................................李國林，馬紅雷4-50

改善SMT 過程工藝對提高Type C 焊接質量的影響研究.....................................................姚長春，劉洪光4-54

激光縫焊機控制系統設計.....................................................................................萬喜新，周水清，王學仕，等4-63

基于NDK 的DSP 網絡通信技術研究.....................................................................................鄭佳晶，高榮榮5-42

基于Modbus RTU 協議的數據采集平臺設計與實現...............................................艾 博，許向陽，賈月明5-46

氫氣退火爐關鍵部件研究與開發.........................................................................趙志然，李 明，黃志海，等5-50

鏈式退火爐電氣系統的研制.......................................................................................萬喜新，鄧 斌，王學仕5-55

濕法工藝設備高溫化學液的直排技術研究.........................................................吳 娖，祝福生，趙寶君，等5-60

探針測試臺X-Y 工作臺電機控制..........................................................................................................周 豪5-64

加速特征相關(FD)干法刻蝕的工藝發展............................................................................................泛林集團5-68

芯片測試系統滾珠絲杠軸承座有限元分析.............................................................................賈月明，李 斌6-55

TANK 式自動除泡機多層藍具剮蹭的原因分析和改進.............................................程建民，金 敏，王 芳6-59

CMP 清洗傳輸機械手的優化設計....................................................................... 劉福強，張繼靜，吳燕林，等6-64

材料制造工藝與設備

BAK 蒸發臺金屬薄膜分層臺階現象探究................................................................. 解 晗，夏久龍，申 強3-25

Micro-LED 顯示器量化生產關鍵技術...................................................................................................蔡克新3-29

SiC 外延生長設備控制系統設計..........................................................................周立平，林伯奇，吳 限，等6-35

專用設備維護與保養

高性能矢量網絡分析儀的常見故障判斷與維修技術.........................................楊志成，林 升，付少輝，等4-68