電子級磷酸在電子工業中的應用及發展

＊楊著 姜飛

（湖北興福電子材料有限公司 湖北 443007）

近年來，隨著我國集成電路和面板產業的高速發展，世界上許多著名IC晶圓代工、TFT-LCD企業巨頭在我國投資建廠，濕電子化學品的需求越來越大。據統計，2020年我國濕電子化學品市場需求量達到147萬噸，平均年增長率為15%以上。電子級磷酸由于具有優良的性能，已成為電子工業不可缺少的濕電子化學品之一，其需求量正逐年增長。

電子級磷酸屬高純磷酸，是電子行業使用的一種超高純化學試劑，屬于關鍵濕電子化學品之一，廣泛應用于超大規模集成電路（ULSI）、大屏幕液晶顯示器等電子工業，主要用于芯片的清洗和蝕刻。長期以來，世界上僅有美國、日本、韓國等少數國家能夠生產電子級磷酸，電子級磷酸關鍵技術被其長期壟斷，嚴重制約著我國電子產業的發展。湖北興發化工集團股份有限公司自2006年起，主動承擔電子級磷酸關鍵技術攻關。2009年，興發集團控股子公司湖北興福電子材料有限公司開始投資興建3萬噸/年電子級磷酸生產示范裝置，2010年4月裝置投產，經過十多年持續研究攻關，攻克了“芯片用超高純電子級磷酸和高選擇性蝕刻液制備關鍵技術”，整體技術達到了國際先進水平，其中電子級磷酸中As、Sb等雜質控制技術居國際領先水平，并榮獲2019年度國家科技進步二等獎。電子級磷酸關鍵技術的成功開發打破了電子級磷酸長期依賴進口的局面，實現國產替代。

1.電子級磷酸概述

(1)簡介

磷酸因制備工藝的差別可分為肥料級、工業級、食品級、藥用級、試劑級、電子級等級別。……