針對大尺寸液晶面板的一些技術改善

黃小昆 袁玉祥

（南京中電熊貓液晶材料科技有限公司，江蘇南京 210033）

彩色濾光片的主要工藝流程是解包、BM、R、G、B、鍍膜、研磨、最終檢查、捆包、出貨（圖1）。在上述主工藝流程當中，在每條線體都設置有手動、自動宏觀檢查機，異物檢查機，自動光學檢查機等，掃描經過的玻璃基板，如果有不符合要求的玻璃基板，就通過裝載輸送系統(tǒng)進入修補線體，經過修補之后再進入主工藝流程繼續(xù)向產線下游運動。檢查玻璃基板的規(guī)則如何制定，修補后的玻璃基板如何再次進入主工藝流程，這都需要聯合所有設備確定生產節(jié)拍。由于玻璃基板只有零點幾毫米的厚度，在裝載輸送的過程中極易破碎，破碎一片就會造成上千元的損失，如何減少破片率，能夠為公司挽回一大筆損失。下面介紹如何通過修改一款產品的設備參數和邏輯程序進行改善。（圖1）

圖1

1 曝光工藝的改善

針對在制作645 產品時，由于是12shot 產品，曝光機生產的Tact Time 過長的問題，增加曝光機Gap Skip 功能和啟用Local Alignment 模式。

1.1 曝光機增加Gap Skip 功能和啟用Local Alignment 模式

我公司使用的曝光機采用Step 曝光模式，即在完成第一個shot 曝光后，移動到下個區(qū)域再進行曝光。增加的Gap Skip 功能為對涂布后的基板進行曝光時，只有最開始的三枚基板會在曝光前量測基板與掩膜板之間的Gap，之后的基板不會再量測Gap。

啟用Local Alignment 功能后，先對掩膜板預對位單元進行校正，防止掩膜板相對于基準位置有所偏移，并提高了曝光時的精度，在曝光時，所有shot 的對位次數都變?yōu)? 次，原本因為對位精度差而導致對位次數增加影響工作時間也有所改善。

1.2 設備功能詳細描述

1.2.1 追加Gap Skip 功能

設定為100 片校正一次曝光Gap，即開始生產的前三枚基板曝光時每個shot 會測量Gap，之后的97 枚基板只有第一shot 會測量Gap，后續(xù)的11 個shot 直接移動到位進行曝光，平均每個shot 可以節(jié)約0.5 秒，每片可以節(jié)約5.5 秒左右。（圖2）

圖2

1.2.2 啟用Local Alignment 功能

打開該功能之后，曝光機工作時每個shot 對位只有一次，補正會根據首次測量的偏移量進行小范圍補正，因此為了防止對位精度的異常，校正了掩膜板預對位單元的八個Clamp 位置，同時將補正的精度由50um 變更為5um。工作時，每個shot 可以節(jié)約0.8 秒，每片產品可以節(jié)約10 秒左右。（圖3）

圖3

1.3 改善后的效果

在追加Gap Skip 功能和啟用Local Alignment 模式后各條產線曝光機在生產645 產品時，Tact Time 有所減少，由原來的80 秒/片縮短為60 秒/片，平均每天可以比原先多生產350 片產品。

2 捆包工藝的優(yōu)化

針對在捆包150 段時經?；緯霾蹖е缕破?，增加對中氣缸固定TRAY 的位置從而確?；逶赥RAY 里的位置不便移。

2.1 追加對中氣缸后的工作方式

PAK 在捆包150 段的時候，基板經常容易出槽導致破片，本裝置固定TRAY 與基板的位置，保證基板在TRAY 中間。

PAK 四軸機器人往CV10 上送片后對中氣缸會夾持基板確保基板位置不變，確?；逶赥RAY 盤里不出槽。

工作方式：在PAK CV10 處X 和Y 方向分別添加4 個氣缸，共8 個氣缸，在四軸機器人送片后，對中氣缸會規(guī)正基板，同時把原來10 個頂Pin 更換為萬向球Pin，減少摩擦力，讓氣缸能夠推動基板起到夾持基板的作用，固定基板位置，減少出槽的機會，從而保證少破片。

2.2 基板旋轉功能追加部件明細（表1）

表1

2.3 追加設備規(guī)格詳細描述

2.3.1 追加部分采用8 組氣缸對中基板，規(guī)正基板位置的作用。

2.3.2 對中機構下頂Pin 由于氣缸夾持基板摩擦力過大后更換了10 組帶萬向球的頂Pin，高度和原來頂Pin 位置一樣，使基板在頂Pin 上能夠被推動。

2.3.3 關于追部分的控制：追加控制氣缸的電磁閥2 個，在捆包150 段時可以手動控制夾持基板，在氣缸上安裝傳感器和氣管控制氣缸前進后退。

2.3.4 PLC 程序說明

在程序上增加的功能（圖4）。

圖4

2.4 改善效果

PAK 在CV10 上追加8 組氣缸后，基板能夠推動基板，達到預期目標，基板位置固定，保證基板在TRAY 里位置不變。

PAK 在追加4 組共8 個氣缸后，氣缸推動基板，保證基板在TRAY 中間，對破片有很大的改善，破片率由原來70%降到現在20%，確保稼動率，也控制了破片的發(fā)生。

3 捆包尾料的處理

因生產需要PK1&PK2 線打包出貨給客戶要全滿Tray，經常會有尾料流入線體，而尾料需等待新做出同型號玻璃基板二次打包，嚴重影響了產能。現相關業(yè)務科室經過多次開會討論，歷經2個多月。終于修改好了PK2 線的PLC 程序，以滿足尾料的合理打包。

3.1 利用Parameter 功能，設定基板片數，尾料流入線體的情況出現，提高線體產能。執(zhí)行內容：

3.1.1 點擊Touch Panel 上【自動運用Parameter】，圖5。

圖5

3.1.2 看到【計劃投入基板數量設定】，在【設定出片數】寫入當前卡匣需要流出的玻璃枚數，最后按【使用中（3S）】亮起，圖6。

圖6

3.1.3 此功能是當【當前已經出片數】等于【設定出片數】時，Touch Panel 會自動切為【基板投入禁止】，需手動解除后才可正常放片。

3.2 改善后的效果

Parameter 功能的使用，將打包出貨的基板片數固定，避免了尾料流入，從而不會到影響其他型號產品的正常生產，保證了線體的產能。

4 結論

通過對一款產品流程的優(yōu)化，使主流程的節(jié)拍更加有效率，破片的減少和尾料的處理，不僅減少了破片帶來的損失，還提高了產能。通過日常的運行維護不斷發(fā)現問題、積累經驗，經過多方面的驗證，最后實施。這只是整個液晶面板生產流程當中的一小部分，在今后的生產當中，還需要解決其他線體發(fā)現的問題。只有這樣不斷的優(yōu)化，才能最大限度提高公司的生產效能。