王 璐,常白雪,岳藝宇,吳宇林,吳 昊,陳淑靜,劉金剛
(中國地質(zhì)大學(北京)材料科學與工程學院,北京 100083)
集成電路(IC)技術(shù)是當今信息社會發(fā)展的基石,也是當今自然科學領(lǐng)域最為活躍、發(fā)展最為迅速的高技術(shù)領(lǐng)域之一[1]。IC 技術(shù)的迅猛發(fā)展一方面得益于先進的IC 設計與制造水平的不斷提高,同時與IC 器件封裝技術(shù)的發(fā)展也密不可分[2]。IC 封裝是與IC 設計、制造、測試等并重的集成電路重要分支之一。從廣義上講,IC 封裝技術(shù)是一種將小型化的電子元件和非電功能的部件以及操作環(huán)境之間連接起來的一項技術(shù),以構(gòu)成具有特定復雜功能的系統(tǒng),使系統(tǒng)與特定應用環(huán)境相匹配,并在整個生命周期內(nèi)保護和維護系統(tǒng)的性能[3]。從狹義上講,IC 封裝是采用具有優(yōu)良化學與環(huán)境穩(wěn)定性的材料如玻璃、陶瓷以及高分子樹脂等,對基于脆性半導體材料如硅、氮化鎵、砷化鎵等的IC 芯片或分立器件等進行鈍化、絕緣等保護的一種技術(shù)[4]。環(huán)氧塑封料(EMC)就是IC 封裝中應用最為廣泛的一類材料[5]。
EMC 在IC 芯片封裝中的主要功能包括:1)保護芯片不受外界環(huán)境的影響;2)抵抗外部濕氣、溶劑等進入芯片內(nèi)部,抵抗外部沖擊影響芯片;3)使芯片和外界環(huán)境絕緣;4)抵抗安裝工藝對芯片產(chǎn)生的熱沖擊和機械振動;5)為芯片提供散熱通道等[6]?,F(xiàn)代IC 封裝技術(shù)的發(fā)展對EMC 材料在無鹵阻燃、耐高溫、耐濕熱、低翹曲、低應力、低介電常數(shù)與介電損耗等方面提出了越來越嚴格的要求。EMC 的發(fā)展方向也向著環(huán)保型、高耐熱、高尺寸穩(wěn)定性、低熔體粘度、高填料、高熔體流動性等趨勢發(fā)展。……