電子級多晶硅生產技術分析

張洪斌，閆 濤，李鵬飛，賈雪鶴

（內蒙古永安安全科技有限公司，內蒙古呼和浩特 010000）

集成電路是信息產業發展的基礎內容，也是我國戰略發展的支柱性產業，對我國新經濟常態發展具有重要的推動作用。隨著我國集成電路的發展，市場規模不斷擴大，但是產業的自助供給率卻比較低，尚未達到30%，不利于國民經濟的發展，因此必須要推動集成電路產業的發展。當前集成電路以及半導體的發展中，多晶硅已經成為主要的原料內容，半導體器件以及集成電路等都是以硅材料為主要的原料。光伏行業發展中也以多晶硅為主要材料，當前電子級多晶硅已經成為集成電路產業發展中的上游產業內容，產品純度也已經達到人類技術水平的極限，對生產制造技術的要求高。但是從高端電子級多晶硅的發展情況來看，企業的規模化發展仍然無法滿足要求，仍然需要進一步進行探究。

1 電子級多晶硅技術發展水平

從當前國際上電子級多晶硅生產技術發展情況來看，生產工藝主要包括硅烷法、流化床、改良西門子等工藝流程。其中流化床工藝法主要是對產品雜質進行全面控制，因此無法生產優質的電子級多晶硅；改良西門子工藝采用的為三氯氫硅的生產模式，通過還原爐的化學氣相沉積實現多晶硅的生產，這也是我國多晶硅生產的主要工藝形式。但是在生產過程中多晶硅產品質量控制仍然存在很多不足，當前我國在電子級多晶硅的核心技術檢測中尚未完全掌握西門子法核心技術。……