博康：因“智”而動 乘“數(shù)”而上

盡管在光刻膠的研發(fā)上早已碩果累累，但傅志偉深諳“授之以魚，不如授之以漁”。于是2012年開始，傅志偉不再局限于光刻膠材料的生產(chǎn)，而是開始光刻膠和光刻設(shè)備“兩手抓”。

作為半導(dǎo)體上游核心支柱，半導(dǎo)體材料肩負(fù)著中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全自主可控的重要使命，尤其是光刻膠作為芯片制造過程中的關(guān)鍵材料發(fā)揮著不可替代的作用，已成為中國芯片自主化的關(guān)鍵，有著極為重要的戰(zhàn)略意義和實(shí)際價(jià)值。

近些年在政策、資本和產(chǎn)業(yè)的助推下，我國光刻膠業(yè)取得可喜的進(jìn)步，徐州博康信息化學(xué)品有限公司（下文簡稱“博康”）作為我國最早從事光刻材料產(chǎn)業(yè)化開發(fā)的企業(yè)之一，在助力光刻膠國產(chǎn)化之路上可謂大放光芒，不僅實(shí)現(xiàn)了“單體—樹脂、光酸—光刻膠”的全產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋，而且通過持續(xù)的自主研發(fā)投入，擁有了100多項(xiàng)的光刻膠專利，在保障國產(chǎn)光刻膠材料產(chǎn)業(yè)鏈安全、自主、可控方面取得實(shí)質(zhì)性突破。

今年4月，博康宣布完成新一輪融資，金額超6億元，投后估值高達(dá)70億元，成為徐州新晉的半導(dǎo)體獨(dú)角獸企業(yè)。

傅志偉創(chuàng)業(yè)之初，光刻膠的研發(fā)在國內(nèi)還是一片空白。而現(xiàn)在，博康已成功開發(fā)ArF/KrF單體及光刻膠、I線光刻膠、封裝光刻膠、電子束光刻膠等系列產(chǎn)品，且具備干法ArF及濕法ArF光刻膠的技術(shù)能力。其中，干法ArF可應(yīng)用于90nm/65nm/55nm節(jié)點(diǎn)，濕法ArF可應(yīng)用于40nm/28nm節(jié)點(diǎn)。

盡管在光刻膠的研發(fā)上早已碩果累累，但傅志偉深諳“授之以魚，不如授之以漁”。于是2012年開始，傅志偉不再局限于光刻膠材料的生產(chǎn)，而是開始光刻膠和光刻設(shè)備“兩手抓”。在傅志偉的帶領(lǐng)下，短短三年時(shí)間，博康就完成了半導(dǎo)體納米級制版光刻設(shè)備、封裝及PCB激光直接成像設(shè)備兩個(gè)國家科技重大專項(xiàng)。2016年，博康集團(tuán)還成功收購了國際頂尖的電子束光刻機(jī)生產(chǎn)商——英國NBL公司，推出了新一代LDI產(chǎn)品，打破西方國家的壟斷。目前，博康已實(shí)現(xiàn)原料到光刻膠產(chǎn)品的全國產(chǎn)化、全產(chǎn)業(yè)鏈布局，研發(fā)儲備100多項(xiàng)的光刻膠單體產(chǎn)品技術(shù)，其中KrF光刻膠單體份額全球領(lǐng)先。2021年—2022年，博康實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入數(shù)億元。

這些成就的取得，充分彰顯了博康的遠(yuǎn)見與格局。

一方面，博康早在十年前便意識到全產(chǎn)業(yè)鏈布局的重要性，持續(xù)著力全產(chǎn)業(yè)鏈布局，不僅保證了光刻膠的原材料光酸、樹脂的原材料單體的自主開發(fā)，而且光刻膠產(chǎn)品覆蓋品類也更加寬廣；另一方面，博康擁有500多名技術(shù)人員，一線研發(fā)團(tuán)隊(duì)200多人，其中碩士、博士占比超過50%，且都具備豐富的有機(jī)合成、高分子聚合、半導(dǎo)體級電子級純化的專業(yè)能力，系統(tǒng)掌握了電子級化學(xué)品生產(chǎn)的核心技術(shù)。此外，博康還斥巨資建成了產(chǎn)品齊全、技術(shù)水平先進(jìn)的光刻膠材料研發(fā)制造基地，基地配備了先進(jìn)的自動化中控平臺以及標(biāo)準(zhǔn)的光刻材料生產(chǎn)設(shè)備及實(shí)驗(yàn)檢測儀器，達(dá)產(chǎn)后實(shí)現(xiàn)了1100噸光刻材料及10000噸電子級溶劑的規(guī)模化生產(chǎn)。

“光刻膠生產(chǎn)更多是配方及物理混合，主要依靠樹脂跟光酸的合成，屬于有機(jī)合成，涉及如何讓分子結(jié)構(gòu)排列保持一致，以及如何實(shí)現(xiàn)更精準(zhǔn)的測試，而且需要持續(xù)的投入以開發(fā)先進(jìn)工藝所需的高分辨率光刻膠。同時(shí)必須有工匠精神，不斷地打磨產(chǎn)品提高質(zhì)量和品控，才能穩(wěn)定批量地供應(yīng)，滿足客戶的全面需求。”博康相關(guān)負(fù)責(zé)人闡釋了博康從原材料到研發(fā)再到生產(chǎn)的全面布局之道。

博康的知行合一，使其在市場上收獲了廣泛的認(rèn)可。在應(yīng)用方面，博康已經(jīng)獲得近40家客戶的訂單，這些客戶廣泛分布于集成電路、分立器件、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域。而涵蓋原材料、生產(chǎn)和研發(fā)的“全武行”，也為博康奠定了深厚的根基和奮進(jìn)的底蘊(yùn)。

“未來徐州博康將繼續(xù)加大研發(fā)投入力度，鞏固核心自主知識產(chǎn)權(quán)，不斷拓寬技術(shù)護(hù)城河，為國產(chǎn)光刻膠的國產(chǎn)化貢獻(xiàn)力量。”傅志偉希望通過5到10年的努力，將博康打造成為中國領(lǐng)先、世界知名的半導(dǎo)體光刻材料公司。