中國(guó)首臺(tái)高端光刻機(jī)赴法國(guó)參展記

1978 年夏天，舉世矚目的法國(guó)工業(yè)展覽會(huì)在巴黎隆重舉行。國(guó)務(wù)院決定讓清華大學(xué)徐端頤團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的第一臺(tái)光刻機(jī)參加展出。然而，作為中國(guó)首臺(tái)高端光刻機(jī)的研發(fā)者，徐端頤和同事們并沒(méi)有親自護(hù)送這臺(tái)光刻機(jī)遠(yuǎn)赴法國(guó)。這也導(dǎo)致中國(guó)光刻機(jī)在參展期間差點(diǎn)遭受不應(yīng)有的質(zhì)疑……

研發(fā)制造 一切都從零開始

1970年的一天深夜，北京突然來(lái)了一個(gè)緊急電話，命令徐端頤立即返回北京，有重要任務(wù)。回到北京后，徐端頤才知道，原來(lái)是要他負(fù)責(zé)研制國(guó)家半導(dǎo)體工業(yè)和國(guó)防工業(yè)急需的關(guān)鍵設(shè)備——自動(dòng)光刻機(jī)。于是，來(lái)自貴州的青年助教徐端頤臨危受命，承擔(dān)了重任。

清華大學(xué)為徐端頤配備了實(shí)力很強(qiáng)的研制隊(duì)伍。研制隊(duì)伍成員涵蓋全校5個(gè)系，人數(shù)多達(dá)數(shù)百人，是一次大規(guī)模的集團(tuán)作戰(zhàn)。

因?yàn)楣饪虣C(jī)的制造技術(shù)太復(fù)雜，難度太高，國(guó)際“巴黎統(tǒng)籌委員會(huì)”（巴統(tǒng)）早就將其列為尖端技術(shù)產(chǎn)品，對(duì)華實(shí)行封鎖禁運(yùn)。此時(shí)的中國(guó)與外界隔絕，難以獲得外國(guó)相關(guān)資料。徐端頤率領(lǐng)其團(tuán)隊(duì)研制光刻機(jī)，全部圖紙都是由自己設(shè)計(jì)，全部零部件都是在自己的車間里加工制造，一切都是從零開始。在極其困難的條件下，經(jīng)過(guò)一年多的艱苦努力，徐端頤團(tuán)隊(duì)終于研制出中國(guó)的第一臺(tái)高端光刻機(jī)，各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到了國(guó)際一流水平。

1978年3月，全國(guó)科學(xué)大會(huì)在北京召開。徐端頤在1971年主持研究完成的中國(guó)首臺(tái)高端自動(dòng)光刻機(jī)，榮獲全國(guó)科學(xué)大會(huì)獎(jiǎng)。

一波三折

中國(guó)代表團(tuán)進(jìn)退維谷

1978年中國(guó)的第一臺(tái)高端光刻機(jī)在法國(guó)巴黎國(guó)際工業(yè)展覽會(huì)上閃亮登場(chǎng)，引起了國(guó)際科學(xué)界的高度關(guān)注和極大興趣。這是因?yàn)椋叨斯饪虣C(jī)的研發(fā)、制造難度實(shí)在太大，擁有這種技術(shù)和能力的國(guó)家寥寥無(wú)幾。中國(guó)在幾乎與世隔絕的環(huán)境中居然獨(dú)立自主地研發(fā)出世界一流的光刻機(jī)，令人難以置信。

這個(gè)神秘的東方大國(guó)，一定有許多獨(dú)到的、值得學(xué)習(xí)的東西。于是，渴望學(xué)習(xí)的各國(guó)科學(xué)家慕名而來(lái)，虛心地向中國(guó)科學(xué)家請(qǐng)教。然而，面對(duì)各國(guó)科學(xué)家的提問(wèn)，負(fù)責(zé)解說(shuō)的幾位中國(guó)科學(xué)家支支吾吾，答非所問(wèn)，令人大失所望！

當(dāng)時(shí)代表中國(guó)前往巴黎，并在展覽會(huì)上擔(dān)任中國(guó)光刻機(jī)解說(shuō)的這幾位干部和工程師，在各自領(lǐng)域中都是佼佼者。但是，他們對(duì)光刻機(jī)并不熟悉。面對(duì)各國(guó)科學(xué)家專業(yè)性極強(qiáng)的各種提問(wèn)，負(fù)責(zé)解說(shuō)的這幾位中國(guó)干部及專家難以回答，未免左支右絀，場(chǎng)面尷尬。

經(jīng)過(guò)幾番禮貌的不同層次的提問(wèn)以后，目光犀利的世界一流的科學(xué)家們很快得出了結(jié)論：這幾位中國(guó)人對(duì)光刻機(jī)一竅不通。一群不懂光刻機(jī)的人怎么能造出世界頂級(jí)的高端光刻機(jī)？這就不能不讓人懷疑這臺(tái)中國(guó)光刻機(jī)的真實(shí)效能了！

如果這臺(tái)中國(guó)光刻機(jī)涉嫌造假，被媒體曝光，那將會(huì)成為本屆國(guó)際工業(yè)展覽會(huì)的最大丑聞。展覽會(huì)的主辦者找到中國(guó)代表團(tuán)負(fù)責(zé)人，善意地提出：請(qǐng)中國(guó)代表團(tuán)自己悄悄把光刻機(jī)從展臺(tái)上撤下來(lái)，裝箱運(yùn)走，卷鋪蓋走人算了……這是委婉地向中國(guó)代表團(tuán)下達(dá)了逐客令！

中國(guó)代表團(tuán)感到事態(tài)嚴(yán)重，只能火速將這一意外情況報(bào)告國(guó)內(nèi)高層領(lǐng)導(dǎo)，請(qǐng)求指示，領(lǐng)導(dǎo)高層迅速采取了應(yīng)對(duì)措施。

笑傲群雄 代表團(tuán)載譽(yù)歸來(lái)

當(dāng)天夜里，徐端頤只身一人，登上了從北京飛往巴黎的飛機(jī)。徐端頤到達(dá)巴黎后，立即投入工作，在國(guó)際工業(yè)展覽會(huì)現(xiàn)場(chǎng)里，擔(dān)任中國(guó)自動(dòng)光刻機(jī)的講解員。徐端頤是中國(guó)清華大學(xué)首臺(tái)光刻機(jī)研發(fā)團(tuán)隊(duì)的領(lǐng)軍人物和設(shè)計(jì)者，對(duì)這臺(tái)光刻機(jī)的設(shè)計(jì)、制造中的每一個(gè)環(huán)節(jié)和每一個(gè)部件都了然于胸。他的英語(yǔ)特別好，根本不用翻譯人員，便直接在展覽會(huì)現(xiàn)場(chǎng)與觀眾進(jìn)行交流，回答了觀眾提出的各種問(wèn)題。

人們這時(shí)才知道，中國(guó)的這臺(tái)光刻機(jī)里，有很多獨(dú)到的新發(fā)明、新技術(shù)，擁有完全的知識(shí)產(chǎn)權(quán)，足以笑傲群雄。人們也才真切地認(rèn)識(shí)到，中國(guó)科學(xué)家睿智勤奮，待人真誠(chéng)，是值得信任、深交的朋友。

巴黎國(guó)際工業(yè)展覽會(huì)落下帷幕后，中國(guó)代表團(tuán)載譽(yù)歸來(lái)，皆大歡喜……

（摘自《文史天地》 章正遠(yuǎn)/文）