中國首臺高端光刻機赴法國參展記

1978 年夏天，舉世矚目的法國工業展覽會在巴黎隆重舉行。國務院決定讓清華大學徐端頤團隊自主研發的第一臺光刻機參加展出。然而，作為中國首臺高端光刻機的研發者，徐端頤和同事們并沒有親自護送這臺光刻機遠赴法國。這也導致中國光刻機在參展期間差點遭受不應有的質疑……

研發制造 一切都從零開始

1970年的一天深夜，北京突然來了一個緊急電話，命令徐端頤立即返回北京，有重要任務?；氐奖本┖螅於祟U才知道，原來是要他負責研制國家半導體工業和國防工業急需的關鍵設備——自動光刻機。于是，來自貴州的青年助教徐端頤臨危受命，承擔了重任。

清華大學為徐端頤配備了實力很強的研制隊伍。研制隊伍成員涵蓋全校5個系，人數多達數百人，是一次大規模的集團作戰。

因為光刻機的制造技術太復雜，難度太高，國際“巴黎統籌委員會”（巴統）早就將其列為尖端技術產品，對華實行封鎖禁運。此時的中國與外界隔絕，難以獲得外國相關資料。徐端頤率領其團隊研制光刻機，全部圖紙都是由自己設計，全部零部件都是在自己的車間里加工制造，一切都是從零開始。在極其困難的條件下，經過一年多的艱苦努力，徐端頤團隊終于研制出中國的第一臺高端光刻機，各項技術指標均達到了國際一流水平。

1978年3月，全國科學大會在北京召開。徐端頤在1971年主持研究完成的中國首臺高端自動光刻機，榮獲全國科學大會獎。

一波三折

中國代表團進退維谷

1978年中國的第一臺高端光刻機在法國巴黎國際工業展覽會上閃亮登場，引起了國際科學界的高度關注和極大興趣。這是因為，高端光刻機的研發、制造難度實在太大，擁有這種技術和能力的國家寥寥無幾。中國在幾乎與世隔絕的環境中居然獨立自主地研發出世界一流的光刻機，令人難以置信。

這個神秘的東方大國，一定有許多獨到的、值得學習的東西。于是，渴望學習的各國科學家慕名而來，虛心地向中國科學家請教。然而，面對各國科學家的提問，負責解說的幾位中國科學家支支吾吾，答非所問，令人大失所望！

當時代表中國前往巴黎，并在展覽會上擔任中國光刻機解說的這幾位干部和工程師，在各自領域中都是佼佼者。但是，他們對光刻機并不熟悉。面對各國科學家專業性極強的各種提問，負責解說的這幾位中國干部及專家難以回答，未免左支右絀，場面尷尬。

經過幾番禮貌的不同層次的提問以后，目光犀利的世界一流的科學家們很快得出了結論：這幾位中國人對光刻機一竅不通。一群不懂光刻機的人怎么能造出世界頂級的高端光刻機？這就不能不讓人懷疑這臺中國光刻機的真實效能了！

如果這臺中國光刻機涉嫌造假，被媒體曝光，那將會成為本屆國際工業展覽會的最大丑聞。展覽會的主辦者找到中國代表團負責人，善意地提出：請中國代表團自己悄悄把光刻機從展臺上撤下來，裝箱運走，卷鋪蓋走人算了……這是委婉地向中國代表團下達了逐客令！

中國代表團感到事態嚴重，只能火速將這一意外情況報告國內高層領導，請求指示，領導高層迅速采取了應對措施。

笑傲群雄 代表團載譽歸來

當天夜里，徐端頤只身一人，登上了從北京飛往巴黎的飛機。徐端頤到達巴黎后，立即投入工作，在國際工業展覽會現場里，擔任中國自動光刻機的講解員。徐端頤是中國清華大學首臺光刻機研發團隊的領軍人物和設計者，對這臺光刻機的設計、制造中的每一個環節和每一個部件都了然于胸。他的英語特別好，根本不用翻譯人員，便直接在展覽會現場與觀眾進行交流，回答了觀眾提出的各種問題。

人們這時才知道，中國的這臺光刻機里，有很多獨到的新發明、新技術，擁有完全的知識產權，足以笑傲群雄。人們也才真切地認識到，中國科學家睿智勤奮，待人真誠，是值得信任、深交的朋友。

巴黎國際工業展覽會落下帷幕后，中國代表團載譽歸來，皆大歡喜……

（摘自《文史天地》 章正遠/文）