巧借外腦沈陽芯源公司收獲成功

“十一五”期間，沈陽市政府明確將集成電路產業（即IC產業）作為重點發展產業，并決定重點建設沈陽IC裝備基地。IC裝備業可以和傳統裝備產業充分融合，形成互動，將為現代工業制造業向高精密、細微化發展奠定技術基礎。發展IC裝備業，將直接促進沈陽傳統裝備產業結構調整和產品升級，對實現沈陽老工業基地振興和跨越式發展，具有重大的戰略意義。機遇面前，沈陽芯源公司在前三年引智工作取得豐碩成果的基礎上，開發了“12英寸BUMPING封裝技術旋轉濕法刻蝕設備”項目。該項目是IC產業重點支持和鼓勵發展的項目，將成為沈陽建設IC裝備基地、發展IC裝備制造業的重要組成部分。

在項目實施中，沈陽芯源公司堅持走借腦引智與自主創新相結合的道路，使我國在集成電路制造領域的勻膠顯影技術提升了三個產品代，與國際最先進技術的差距縮短了15年。該項目先后聘請了來自日本、韓國、臺灣、新加坡等國家和地區的8位技術專家，合作完成了濕法刻蝕旋轉單元制造、高可靠性傳片生產、高安全性產品設計、整機控制軟件及驅動器嵌入式實時監控系統軟硬件研究、TRACK系列產品軟件平臺標準化建設、完整的國際采購供應體系建立和質量檢驗標準建立等工作，解決了溫度高精度控制、SPIN單元的轉速同刻蝕工藝配合、單片清洗的效率提高、故障自診斷、關鍵單元國產化等難題，建立了ISO9001（質量管理體系）、ISO14001（環境管理體系）和GB28001（職業健康管理體系）三個企業現代化管理體系，組建了一支國內集成電路專用勻膠顯影機核心技術自主研發隊伍。目前，該項目完全達到了預定目標，實現了完全的自主知識產權。截至2007年，公司累計實現銷售收入11405萬元，企業和產品在同行業中成為品牌。

在我國IC 產業中，封裝業占有重要地位，目前我國已經成為世界第一封裝大國。沈陽芯源公司研發的擁有完全自主知識產權的12英寸封裝設備的成功投入使用，實現了我國IC先進封裝專用設備技術水平與IC制造業主流技術水平更新同步，打破了國外產品的市場壟斷和技術壟斷，扭轉了我國IC制造裝備受制于人的局面，對提高我國IC制造裝備的自主創新能力和國際競爭力具有重要的戰略意義。

（沈陽市外專局供稿）