“十一五”期間,沈陽市政府明確將集成電路產業(即IC產業)作為重點發展產業,并決定重點建設沈陽IC裝備基地。IC裝備業可以和傳統裝備產業充分融合,形成互動,將為現代工業制造業向高精密、細微化發展奠定技術基礎。發展IC裝備業,將直接促進沈陽傳統裝備產業結構調整和產品升級,對實現沈陽老工業基地振興和跨越式發展,具有重大的戰略意義。機遇面前,沈陽芯源公司在前三年引智工作取得豐碩成果的基礎上,開發了“12英寸BUMPING封裝技術旋轉濕法刻蝕設備”項目。該項目是IC產業重點支持和鼓勵發展的項目,將成為沈陽建設IC裝備基地、發展IC裝備制造業的重要組成部分。
在項目實施中,沈陽芯源公司堅持走借腦引智與自主創新相結合的道路,使我國在集成電路制造領域的勻膠顯影技術提升了三個產品代,與國際最先進技術的差距縮短了15年。該項目先后聘請了來自日本、韓國、臺灣、新加坡等國家和地區的8位技術專家,合作完成了濕法刻蝕旋轉單元制造、高可靠性傳片生產、高安全性產品設計、整機控制軟件及驅動器嵌入式實時監控系統軟硬件研究、TRACK系列產品軟件平臺標準化建設、完整的國際采購供應體系建立和質量檢驗標準建立等工作,解決了溫度高精度控制、SPIN單元的轉速同刻蝕工藝配合、單片清洗的效率提高、故障自診斷、關鍵單元國產化等難題,建立了ISO9001(質量管理體系)、ISO14001(環境管理體系)和GB28001(職業健康管理體系)三個企業現代化管理體系,組建了一支國內集成電路專用勻膠顯影機核心技術自主研發隊伍。目前,該項目完全達到了預定目標,實現了完全的自主知識產權。截至2007年,公司累計實現銷售收入11405萬元,企業和產品在同行業中成為品牌。
在我國IC 產業中,封裝業占有重要地位,目前我國已經成為世界第一封裝大國。沈陽芯源公司研發的擁有完全自主知識產權的12英寸封裝設備的成功投入使用,實現了我國IC先進封裝專用設備技術水平與IC制造業主流技術水平更新同步,打破了國外產品的市場壟斷和技術壟斷,扭轉了我國IC制造裝備受制于人的局面,對提高我國IC制造裝備的自主創新能力和國際競爭力具有重要的戰略意義。
(沈陽市外專局供稿)