與傳統的慣性導航系統相比,由MEMs陀螺和MEMs加速度計構成的微慣性導航系統在成本、體積、重量等方面均具有顯著優勢,在飛機、導彈和艦船等軍事及民用領域均具有廣闊的應用前景。由于技術水平的局限,現今基于MEMS技術的微陀螺精度還不是很高,與光纖陀螺還有數量級的差距,但價格與之相比卻非常低。MEMS加速度計是所有MEMS傳感器中商業化應用最成功的,精度上已經能夠滿足軍事應用要求。在此使用目前市場上的MEMS加速度計和低精度MEMS陀螺來設計低成本微慣性導航系統,可用于對精度要求不高,但對成本比較敏感的領域,如小型無人機等。