《電子工業專用設備》第41卷（2012）目次總匯編

垂直集成——延長摩爾定律的有效途徑.....................................................................................童志義，趙 璋1-1

物聯網技術應用前景分析.............................................................................................解自國，顏禮松，嚴仕新1-8

化學機械拋光設備關鍵技術研究...............................................................................高文泉，丁彭剛，徐存良1-12

著力推進集成電路封測產業鏈的創新能力.............................................................................................于燮康3-1

全球半導體代工業群雄爭霸 中國何去何從...........................................................................................何新宇3-6

2011年中國集成電路產業回顧與2012年發展展望................................................................................李 珂3-8

韓國半導體設備業發展策略研究.............................................................................................................杜 漸3-10

先進封裝關鍵工藝設備面臨的機遇和挑戰...................................................................王志越，易 輝，高尚通4-1

晶圓劃切工藝與優化.....................................................................................................................張 偉，賈月明4-7

太陽能電池印刷線關鍵技術及發展趨勢...................................................................................張世強，邴守東6-1

適應光伏電池生產的數字化車間智能制造系統.......................................................................劉仁杰，周大良7-1

塑封材料研究進展.......................................................................................................................................武 祥9-1

晶片干燥技術綜述.........................................................................................................................張偉才，宋 晶9-8

2012年上半年中國集成電路產業市場逆勢增長....................................................................................劉 臻10-1

超聲技術在半導體行業中應用探討......................................................................宋偉峰，成 龍，劉永進，等10-4

系統級封裝（SiP）技術研究現狀與發展趨勢............................................................胡 楊，蔡 堅，曹立強，等11-1

健壯設計在專用設備研發中的應用.........................................................................................楊樹文，佀海燕11-7

楔焊中使用球焊劈刀的可行性分析.....................................................................夏志偉，劉嚴慶，紀 偉，等11-12

我國IGBT的產業現狀和發展..................................................................................................................武 祥12-1

環氧塑封料現狀及發展趨勢...................................................................................................................韓江龍12-6

LED藍寶石圖形化襯底的研究進展及發展趨勢...............................................張欽亮，金志杰，雍春娥，等12-10

清洗技術與設備

在線等離子清洗設備控制系統設計................................................................................楊 靜，苗 岱，劉 暢1-16

等離子清洗在LED封裝工藝中的應用..................................................................馬 斌，程丕俊，師筱娜，等1-23

相移掩模清洗結晶控制...........................................................................................張海平，尤 春，周家萬，等5-41

有機清洗槽共振與噪聲控制方法研究.........................................................................萬 弋，張繼靜，劉鴻儒5-43

掩模清洗機加熱系統控制及故障排除.......................................................................................陳 卓，嚴劍蔭6-39

125mm低阻硅拋光片清洗技術研究.........................................................................................耿 莉，楊洪星6-46

相移掩模保護膜殘留膠清洗方式研究...........................................................................尤 春，嚴劍蔭，陳 卓7-26

射頻等離子清洗系統設計.....................................................................................柳國光，苗俊芳，胡文平，等7-29

先進封裝技術與設備

塑封IC失效分析及對策.............................................................................................................王立國，邵 剛1-27

劃片機工作臺仿真分析.............................................................................................................................張 菊1-33

雙面電鍍在先進封裝中應用的可行性研究............................................................................Richard Hollman3-17

ADT7100劃片機的使用和維護....................................................................................刁振國，殷履文，臧成東5-7

劃片機空氣靜壓電主軸徑向軸承的設計.................................................................................李戰偉，劉婷婷5-10

飛針測試工藝研究及Z軸結構設計..............................................................................呂磊，譚立杰，趙立華5-14

全自動晶圓劃片機軟件系統的設計與實現...........................................................劉婷婷，趙志偉，李戰偉，等6-4

鍵合機熱臺溫度研究.....................................................................................................................柴 亮，孫永超6-7

劃片機空氣靜壓電主軸材料選用及加工工藝研究...................................................................賈月明，張 偉6-11

ESEC 2008HS裝片機Manua Downset的改造設計..................................................................杜椿楣，顧 健6-15

MEMS器件封裝技術.......................................................................................................................袁永舉王靜7-6

激光加工中自動旋轉校位切割的研究...................................................................張文斌，孟憲俊，孟凡輝，等7-9

LED探針臺CCD采集數據處理算法的研究.........................................................................................劉國敬7-13

裝片機漏晶檢測器的改造--reflection反射功能....................................................................................杜椿楣7-15

多關節機械手在晶圓減薄機中的應用...................................................................衣忠波，石 偉，王仲康，等7-19

從IC封裝產品可靠性談封裝沖切模具優化設計........................................................藺興江，代 賦，何文海7-22

硅通孔電鍍銅填充工藝優化研究...........................................................................李軼楠，蔡 堅，王德君，等10-6

片式多層陶瓷電容器全自動薄膜絲印機的研制...............................................陳裕錦，梁昇平，陸永鑫，等10-11

太陽能晶硅電池片印刷工藝及工藝物化初步研究.............................................趙立華，易 輝，費玖海，等10-15

一種絲網印刷間距調整系統的設計.......................................................................鄧 斌，萬喜新，郭 立，等10-21

LTCC層壓工藝及設備................................................................................................李曉燕，馮 哲，張建宏10-24

測試測量技術與設備

自動排片機視覺系統的應用研究.............................................................................高 岳，孫廣翔，楊 超，等1-37

AOI設備在PCB和SMT主要生產環節中的應用................................................................................孫明睿1-42

晶片定位原理與算法...............................................................................................呂 菲，耿博耘，李春龍，等1-47

應用MATLAB研究機器視覺系統的光源特性.........................................................................靳衛國，周 莉2-40

用萬能工具顯微鏡測量的原則及原理分析...............................................................................李 雪，宋秀敏2-48

基于Profibus實現netLINK網關與PLC的通訊....................................................................宋婉貞，田洪濤2-50

AVR單片機實現以太網通信的研究..........................................................................于海波，付江波，李金濤2-54

應用系統級ATE測試增進IC設計驗證效率..........................................................................宋文晶，陳宰曼3-20

美國M icroE圓光柵在數控轉臺和DDR電機領域的應用及特點.........................................付耀斌，李書恒3-24

300mm立式爐恒溫區測量系統的設計與實現...........................................................................王 艾，徐 冬3-27

應對3DIC測試挑戰的ATE解決方案Advantest V93000準備就緒....................ScottChesnut，Bob Sm ith10-34

基于QT的視頻目標檢測方法..................................................................................................蔡廣偉，蘭 華11-59

電子專用設備研制

片式多層陶瓷電容器生產用薄膜流延設備的研究與開發.......................................陳裕錦，湯立云，梁昇平1-50

薄膜電容自動噴金機的研制...................................................................................................................錢立文2-19

電容分選機調速系統設計...............................................................................................黃 永朱江濤張素枝2-24

基于音圈電機伺服控制的應用研究...........................................................................................石藝楠，郝 靖2-27

FOG邦定生產線中脈沖本壓機的研制............................................................................郭 麗,田 輝，李 想2-33

直線電機在芯片分選機中的應用...............................................................................................郝 靖，石藝楠2-37

超高壓汞燈功率控制研究.........................................................................................................劉衛平，葛勱沖4-40

故障樹分析法在PTC水壓層壓機故障診斷中的應用..........................................................................張文朋4-43

大尺寸玻璃刻蝕設備控制系統設計...............................................................................苗 岱，杜虎明，張 峰4-46

平衡懸架上反作用桿夾角設計初探...........................................................................................劉 輝，杜婷婷4-51

中小尺寸ACF邦定機的技術分析.........................................................................................................王志誠6-49

玻璃結構電容式觸摸屏邦定工藝及設備...............................................................................................馬增剛6-52

真空預處理設備的研制...........................................................................................................................劉軍濤7-44

OA安全機制在企業信息安全中的應用................................................................................................唐維燕7-49

高速自動電鍍線的電氣設計.....................................................................................時 璇，胡子卿，孟 超，等8-44

薄膜電容器充放電試驗儀的研制...........................................................................................................錢立文8-49

真空氣淬爐安全性設計與分析.................................................................................................靳麗巖，王成君8-53

基于TMS320F2812數據采集系統的設計...................................................................................劉 娜，王 豐8-58

CPU水冷系統散熱實驗研究......................................................................................呂玉坤，劉海峰，徐國濤8-62

HT250灰口鑄鐵在電子工業專用設備中的應用....................................................楊樹文，秦江，胡章坤，等9-45

液壓挖掘機的節能控制方法...................................................................................................................田文勝9-51

邦定機中伺服控制系統的抗干擾問題.................................................................................................菅衛娟10-56

直線導軌安裝底座幾種尺寸標注方法的比較與分析............................................................郎 平，周啟舟10-59

超高壓汞燈電源高壓大電流觸發干擾分析與抑制措施研究...............................................劉衛平，劉金榮11-32

雙噴槍薄膜電容自動噴金機的研制.......................................................................................錢立文，張世松11-36

RTX在實時控制系統中的應用..............................................................................王 豐，劉 娜，肖雅靜，等11-40

基于Spirit解析器框架的DXF文件解析技術..........................................................孟凡輝，王宏智，吳 旭11-44

真空熱處理爐在汽車尾氣凈化器制造方面的關鍵性應用.......................................陳執銘，劉鋒敏，張 寧12-50

材料制造設備與工藝

LTCC專用燒結爐的應用及發展趨勢.....................................................................顏秀文，張建國，鄧 斌，等2-1

硅芯爐速度控制系統設計方案探討.............................................................................................吳 斌，暢行利2-5

ZRL-005型真空熔煉爐系統設計................................................................................................張聞華，靳麗巖2-9

多線切割中溫度對懸浮液的影響...........................................................................................................欒國旗2-15

多線切割機電氣控制設計.....................................................................................丁彭剛，王雙全，莊文波，等3-31

應用于硅片傳輸系統的機械手設計.............................................................................呂 磊，胡曉霞，王洪宇3-36

變速切割速度曲線對硅片翹曲度的影響...............................................................................................馬玉通3-41

CMP系統真空供給系統設計....................................................................................李 偉，高文泉，柳 濱，等3-45

基于Solidworks的FOG邦定機模塊化設計研究.................................................................................馬增剛3-50

淺談高頻干擾對硅芯爐的影響及防護措施...................................................................吳 斌，姚 婕，雷小博4-13

基于Modbus協議的立式爐電力監測系統..................................................................................王 艾，徐 冬4-16

高阻晶體硅電池擴散爐溫度控制的研究...............................................................毛朝斌，陳特超，李 克，等4-20

直拉式單晶爐整體結構靜力分析...............................................................................楊 潤，彭 曦，胡 超，等4-24

藍寶石拋光去除率試驗的正交設計方法.....................................................................孫振杰，費玖海，劉 濤4-29

P/P+外延片制備過程中應力變化的研究...............................................................................................索開南4-33

片盒清洗技術研究...................................................................................................................................寇雅娟4-37

輻射探測器用高純鍺單晶技術研究.............................................................................劉 鋒，耿博耘，韓煥鵬5-27

消除區熔硅單晶生長中“硅刺”的研究..................................................................................................劉 燕5-32

ZnO薄膜晶體管真空退火設備的研究...................................................................靳麗巖，王宏杰，張 浩，等5-35

多晶硅片少子壽命的影響因素研究與分析.............................................................................于麗君，段晉勝6-26

PVT法摻釩SiC單晶生長電阻率變化規律研究.......................................................洪 穎，馮 玢，王 磊，等6-31

新型砷化鎵多晶高壓合成爐設計與制造...............................................................................................劉立起6-35

擴散爐反應管壓力自平衡系統的設計.....................................................................李 克，郭 立，毛朝斌，等7-32

懸浮區熔法生長鍺單晶.................................................................................................閆 萍，龐炳遠，索開南7-36

DRF-J45型鎵單晶爐的開發與設計........................................................................袁長路，李伯軍，李 杰，等7-40

激光加工中切割PZT陶瓷的時序設計..............................................................張文斌，靳衛國，連軍莉，等11-17

在光阻材料中過濾器吸附機制的作用.....................................................................................Tetsu Kohyama11-22

一種大型網帶式玻璃退火爐傳送系統設計...........................................................鄧 斌，佘鵬程，郭 立，等11-28

先進光刻技術與設備

200mm×200mm OLED步進投影曝光機................................................................................周 暢，李喜峰3-12

投影光刻中非對稱型相位光柵對準信號及對準誤差計算模型...........................................................戈亞萍5-14

孤立接觸孔掩模顯影工藝優化...............................................................................張海平，尤 春，周家萬，等5-24

一種小型重力補償器的研究...................................................................................齊芊楓，方 潔，吳立偉，等6-20

接觸接近式曝光機曝光方式淺析及實例.......................................................................李 霖，周慶奎，宮 晨6-24

論超高壓汞燈特性和控制方式...............................................................................................................劉衛平8-35

ZEMAX軟件在曝光光源設計中的應用蒲繼祖....................................................................................蒲繼祖8-40

一種新型的底部對準光學系統設計.......................................................................................劉金榮，劉衛平12-17

微小孔近場衍射光強的空間分布及仿真...............................................................................賈亞飛，蒲繼祖12-21

掩模傳輸交換版機械手的設計分析.....................................................................................................馬喜寶12-26

光伏制造工藝與設備

晶體硅太陽能電池生產線外圍設施建設經驗漫談.................................................陳特超，謝建國，李 克，等5-1

基于小型太陽能供電系統的研究與開發.................................................................李可為，張祥軍，羅 樂，等5-4

新型晶硅電池快速燒結爐的研制.............................................................................鄧 斌，郭 立，萬喜新，等8-19

基于嵌入式控制器的自動控制系統設計.....................................................................................高 超，單 偉8-23

單相交流調壓電路觸發角與負載的關系.................................................................................張紅勇，周永清8-31

高產能晶體硅太陽能電池制絨設備及工藝研究...................................................毛朝斌，李 克，李健志，等9-11

CAN總線在太陽能電池測試分選機中的應用....................................................張迎春，朱林濤，馬鵬飛，等9-14

硅片在絲印線上的傳輸與搬運方法...............................................................................鄭海紅，辛 偉，荊 萌9-18

一種用于電子裝備的硅片傳輸機械手.......................................................................................張世強，楊 志9-21

多線切割機導輪系統設計.......................................................................................................................徐旭光9-24

基于ANSYS的爐膛熱工分析..................................................................................................................許 堃9-27

新技術應用

JR286SS薄膜電容卷繞機的設計...................................................................................栗宇春，仉振，李曉光5-48

基于日志挖掘的打印管理系統的分析與設計.......................................................................................唐維燕5-53

CMP技術與設備

CMP設備中拋光墊修整機構的研究........................................................................高文泉，李 偉，徐存良，等8-1

300mm硅片精密化學機械拋光機幾何參數優化...............................................黨宇星，徐繼平，劉 斌，等10-27

封裝材料與設備

影響區熔硅單晶電阻率均勻性的主要因素...............................................................................................劉 洪8-4

單晶爐密閉式熱場改造研究.......................................................................................................謝俊啟，韓煥鵬8-7

鍵合焊接檢測系統的研究與優化.............................................................................................................顧 健8-11

全自動劃片機物料傳輸系統淺析.............................................................................常 亮，岳 蕓，易 輝，等12-30

金絲球焊制作焊接凸點的工藝參數分析.................................................................田知玲，夏志偉，閆啟亮12-33

芯片識別定位系統中LED光源的應用研究.............................................................李 愷，王小捷，韓微微12-40

IC制造與設備

預濃縮氣相色譜質譜在半導體潔凈室VOC管控中的應用........................................劉彥云，黃其煜,李 明9-31

DBC氣氛網帶爐的設計與應用..............................................................................................................高立影9-35

薄膜電容器含浸固化聯動線的研制...........................................................................................辛 偉，鄭海紅9-41

半導體材料及設備

區熔單晶生長過程中高頻線圈形變的原因分析及理論計算...............................................................劉 洪10-40

新型多線切割機張力控制系統研究.........................................................................姜家宏，陳學森，丁鵬剛10-43

基于電子凸輪技術的金剛石單線切割機排線設計...............................................................蔣云龍，江國中10-47

一種新型全自動激光劃切機...............................................................................趙志偉，劉婷婷，劉紅英，等10-52

市場透視

制造業突破庫存管理瓶頸的方法及實證研究.....................................................董 鵬，郭麗美，尤華勝，等11-50