紅外測徑儀YPIR-QT的應用及改進

張紅勇，方 軍

(1.西安理工大學，陜西西安710048;2.西安工業(yè)大學，陜西西安710048)

1 紅外測徑儀YPIR-QT原理

YPIR-QT是基于紅外輻射原理的非接觸式測量儀表，它將進入其測量范圍的特殊紅外輻射能量量化，轉化為可以識別和利用的電信號。適用于高溫、移動目標的測量。具有響應速度快、不破壞被測物體溫度分布、可測較小目標等特點。

被測物體表面的紅外輻射經(jīng)物鏡投射到分光鏡上，如圖1所示，其可見光部分透過分光鏡會聚到分劃板，用來觀察瞄準目標;紅外部分光線則被反射，經(jīng)濾光后會聚到紅外探測器上。紅外探測器將接收到的紅外能量轉化為電信號，就是被測的目標信號。

圖1 紅外測徑儀YPTR-QT結構圖

2 紅外測徑儀YPIR-QT在鍺單晶直拉法生長領域的應用

直拉法是把鍺多晶原料放入坩堝，在單晶爐內(nèi)加熱熔化，溫度約達930攝氏度。將晶種(稱籽晶)浸入溶液中，如圖2所示。在適宜的溫度下，溶液中的原子會順著晶種的原子排列結構在固、液分界面處形成規(guī)則的結晶，把晶種緩慢旋轉并向上提升，最后形成一根圓柱形的原子排列整齊的鍺單晶晶體。控制鍺單晶圓柱部分直徑均勻，是單晶生長的首要要求。紅外測徑儀YPIR-QT是常用的直徑檢測元件。

圖2 鍺單晶生長示意圖

自然界的所有高于熱力學零度的物體，都在向外發(fā)出紅外輻射。根據(jù)普朗克定律，物體的溫度越高，其輻射能量越大。測徑儀YPIR-QT接收鍺晶體發(fā)出的輻射能量，間接反應晶體直徑的變化。單晶生長過程中，在固、液分界處，圍著圓柱形的固體晶體會形成一個溫度很高的透亮光圈，透過測徑儀YPIR-QT的觀察窗，內(nèi)有一黑色小環(huán)，調(diào)整測徑儀位置，選擇合適的測量點，使小環(huán)與單晶周圍光圈相交，如圖3所示，如果單晶直徑變大，光圈外延，與小環(huán)重疊的面積增大，測徑儀接收的紅外輻射能量增加，輸出信號增大;如果單晶直徑變小，光圈收縮，與小環(huán)重疊面積減小，測徑儀接收的紅外輻射能量減少，輸出信號減小，反應了單晶生長過程中直徑變化情況。單晶生長過程中，不僅垂直向上提拉，而且旋轉，紅外測徑儀YPIR-QT的檢測對象——單晶處于動態(tài);其次，成品單晶長度約2m，上提拉軟軸行程很長，與鐘擺類似，單晶存在晃動，特別是剛開始單晶較輕的時候，光圈也隨之擺動;再加光圈本身不是很規(guī)則圓形，所有這些因素，造成單晶直徑實際尺寸沒有變化，但是紅外測徑儀YPIR-QT輸出的直徑測量信號有周期性波動。所以，紅外測徑儀YPIR-QT需要從目標測量值輸出信號的控制算法上改進，提高自身抗干擾能力［1］。

圖3 測徑儀觀察到的小環(huán)與單晶周圍光圈示意圖

3 紅外測徑儀YPIR-QT改進措施

單晶生長過程中，紅外測徑儀YPIR-QT，周期性地測量、輸出晶體的直徑信號;采用自適應控制的思路如圖4所示，根據(jù)所獲得的實時動態(tài)信息數(shù)據(jù)，分析規(guī)律，對數(shù)據(jù)真實性進行辨識，及時修改、優(yōu)化信號計算單元，達到直徑逼近最真實情況的效果，克服各種干擾對測量值的影響［2］。

圖4 自適應直徑檢測原理框圖

從自適應直徑檢測原理框圖，建立紅外測徑儀YPIR-QT直徑輸出信號的閉環(huán)傳遞函數(shù)，如圖5所示，加入調(diào)節(jié)器單元時，對紅外測徑儀信號計算單元結構、參數(shù)進行實時估計、修改，主要特點是在閉環(huán)條件下進行，調(diào)節(jié)通道、輸出通道必須保證閉環(huán)系統(tǒng)輸出直徑信號序列是穩(wěn)定的［3］。

圖5 閉環(huán)傳遞函數(shù)

紅外測徑儀的直徑輸出數(shù)學模型可視為受控的自回歸滑動平均差分方程模型，不加自適應調(diào)節(jié)通道時，用差分方程表示為:

簡化為時域函數(shù):

其中，A，B，C 為多項式參數(shù);階次分別 na，nb，nc。u(t－k)，y(t)，w(t)分別是輸入、輸出和擾動;k為延遲時間，數(shù)值為采樣周期的整數(shù)倍。

令:

調(diào)節(jié)單元的G(Z－1)、F(Z－1)也為多項式參數(shù)，階次分別 nf，ng。

令:

為了方便分析，設:延遲 k=0，b0=0，na=nb=nc=n，可得:

加入自適應調(diào)節(jié)通道后，以擾動為輸入的閉環(huán)傳遞函數(shù)為:

寫成矩陣形式:α=Sθ，其中系數(shù)矩陣S有n+max{nf，ng}行，2n列。有唯一解的條件是S的秩為2n，等價于 n+max{nf，ng}≥2n。

也就是說:設計調(diào)節(jié)器單元傳遞函數(shù)F(Z－1)、G(Z－1)時，其階次必須大于等于信號計算單元傳遞函數(shù)的階次，系統(tǒng)才是穩(wěn)定的，才能保證紅外測徑儀YPIR－QT穩(wěn)定工作。

表1是鍺單晶生長過程中，用紅外測徑儀YPIR-

帶入式(3)得:

Q(Z－1)=F(Z－1)C(Z－1)

P(Z－1)=A(Z－1)F(Z－1)+B(Z－1)G(Z－1)

P(Z－1)的階次滿足:l=n+max(ng，nf)。保證閉環(huán)系統(tǒng)輸出穩(wěn)定的直徑信號序列y(t)，要求閉環(huán)系統(tǒng)必須是穩(wěn)定的，即P(Z)有唯一解。將A，B，C，G，F(xiàn)，P 多項式帶入 P(Z－1)=A(Z－1)F(Z－1)+B

比較上式兩邊同冪系數(shù)，得如下方程組:QT測量直徑，直徑測量值反饋到控制系統(tǒng)時，做濾波、均值處理后，得到的直徑檢測統(tǒng)計數(shù)據(jù)。與不做處理的測量值對比如下表:晶體生長條件為:晶體實際直徑150 mm，對應測量的輸出電信號參考量為無量綱值 360，提拉速度為 0.6 mm/min，旋轉12 r/min。

表1 紅外測徑儀測量鍺單晶直徑統(tǒng)計數(shù)據(jù)

晶體開始生長初期，晃動比較嚴重，以晶體長度為10mm、20mm時為例，對直徑測量值做曲線比較，如圖6所示。

圖6 不同晶體長度的直徑測量值

從圖6可以看出，對紅外測徑儀YPIR-QT測量的直徑信號作適當?shù)靥幚恚瑴y量值穩(wěn)定性提高，改善了晶體圓錐擺影響直徑測量值的問題，減輕了直徑自動控制系統(tǒng)的負擔。

4 結論

隨著被測物工況的復雜化，紅外測徑儀YPIRQT采用自適應控制方法進行信號處理，提高自身抗干擾能力，是現(xiàn)代工業(yè)發(fā)展的需求。對于自適應控制的具體算法，由于篇幅的限制，我們將另行分析探討。

［1］ Sheng Chunyu，Tang Xinyi，Li Zheng．Design of Adaptive infrared Tracing System For Spacial Target［M］．Laser ＆Infrared，2012，42(5):518 －521．(in Chinese)盛春雨，湯心溢，李爭．一種自適應空間目標提取的紅外跟蹤系統(tǒng)設計［J］．激光與紅外，2012，42(5):518 －521．

［2］ Xu Xiangyuan．Self-Adaptive Control theory and application［M］．Beijing:Electric Industry Publication，2007．1．(in Chinese)徐湘元．自適應控制理論與應用［M］．北京:電子工業(yè)出版社，2007，1．

［3］ LiGuoyong．Optimal Control theory and application［M］．Beijing:National Defence Industry Publication，2008．10．(in Chinese)李國勇．最優(yōu)控制理論與應用［M］．北京:國防工業(yè)出版社，2008，10．