液空展示系列創新解決方案

在近日于上海新國際博覽中心閉幕的國際平板顯示展、全球最大規模的泛半導體產業SEMICON、SOLARCON展上，法國液化空氣集團 (以下簡稱液空)展示的高純度大宗氣體、硅烷 (SiH4)、高純氨等電子特氣產品以及新一代的反應腔清洗解決方案，受到廣大客戶和專業觀眾的好評。

硅烷是半導體、平板顯示器和光伏產業廣泛并大量使用的電子特氣，液空是目前全球唯一能自主生產硅烷的工業氣體公司;液空領先的現場制氟技術可替代 NF3，清洗高效且安全環保;液空的ALOHATM先進材料應用于化學氣相沉積與原子層沉積等半導體制程，曾數度榮獲國際集成電路行業大獎。

據悉，液空在南通的高純氨工廠，可滿足國內LED、光伏、平板顯示器等行業用戶需要，緩解了該產品長期依賴進口，且成本高、供貨期長的矛盾。