粒子碰撞噪聲檢測儀校準與測量不確定度評定

邢榮欣，李潔，趙昭，王酣

(中國電子技術標準化研究院，北京100176)

0 引言

粒子碰撞噪聲檢測儀(PIND，Particle Impact Noise Detection)是微電子元器件可靠性篩選的重要設備，用于檢測封裝器件內的多余粒子。PIND 在軍工領域的應用非常廣泛，國軍標GJB548B －2005 《微電子器件試驗方法和程序》和GJB128－1997《半導體分立器件試驗方法》中都對PIND 試驗的方法和流程作了明確規定。

PIND 的基本測試原理是:在機械沖擊下，元器件內部空腔中可能存在的微小粒子與器件空腔壁分離，變為自由粒子;自由粒子在規定頻率和加速度的正弦振動下，與器件空腔內壁發生微小碰撞，產生粒子噪聲;PIND 通過STU 傳感器探測到該粒子噪聲，以聲光方式報警，通知操作人員器件內部存在微小粒子。PIND 的基本結構如圖1 所示。

圖1 充電平板檢測儀結構框圖

1 PIND 的主要技術指標及校準方法

根據PIND 的基本結構和工作原理，并結合相關標準規定，歸納PIND 的主要技術指標:振動加速度幅值、振動頻率、振動時間、沖擊加速度幅值、沖擊脈沖寬度等。表1 為PIND 的主要技術指標。

表1 PIND 主要技術指標

1.1 振動參數校準

振動參數的校準，包括振動加速度幅值、振動頻率和振動時間的校準，可通過壓電式振動傳感器、電荷放大器、頻率計和示波器組成的振動校準系統實現，如圖2 (a)和2 (b)所示。其中圖2 (a)為振動加速度幅值和振動試驗時間校準裝置，圖2 (b)為振動頻率校準裝置。

校準方法:將校準用壓電振動傳感器用專用雙面膠固定在被校PIND 的振動沖擊臺上。根據規程和客戶需求設定被校PIND 的振動加速度幅值和振動頻率(振動加速度一般選取5，10 ，20 g，振動頻率覆蓋20 ～250 Hz)。利用示波器讀取電荷放大器的輸出電壓峰值，根據加速度計的參考靈敏度、電荷放大器的準確度計算振動加速度幅值校準值;利用頻率計，進行振動頻率校準;設定PIND 振動時間，利用示波器進行振動試驗時間校準。本文中，振動參數校準選用的設備包括:YD－12 型壓電振動傳感器、DHF － 2 型電荷放大器、53131A 型數字頻率計和DPO4104B 型數字示波器。

圖2 PIND 振動參數校準裝置

1.2 沖擊參數校準

沖擊參數的校準，包括沖擊加速度幅值、沖擊脈寬的校準，可利用壓電加速度傳感器、電荷放大器和示波器組成的沖擊校準系統實現，其裝置示意圖同圖2 (a)。

校準方法:將校準用加速度傳感器用雙面膠固定在被校PIND 的振動沖擊臺上。在進行沖擊參數校準前，須進行PIND 的帶載沖擊加速度自校正;根據規程和客戶需求設定被校PIND 的沖擊加速度幅值(一般選取1000 g 和2000 g)。利用沖擊參數校準裝置對被校PIND 的沖擊加速度幅值和沖擊脈寬進行校準。本文中，沖擊參數校準選用的設備包括:YD －5 型振動傳感器、DHF－2 型電荷放大器和DPO4104B 型數字示波器。

2 校準實例與測量不確定度分析

2.1 校準實例

根據以上介紹的PIND 校準裝置，對45llL 型PIND測試系統進行了校準驗證，以下為試驗數據和試驗波形。

2.1.1 振動加速度幅值校準

根據以上方法，對PIND 振動加速度幅值進行了校準試驗，校準數據如表2 所示。

表2 振動加速度幅值校準數據 g

2.1.2 振動頻率校準

對于振動頻率校準，校準點的選取應包含GJB548和GJB128 要求的測量點，同時應覆蓋最大和最小值。校準數據如表3 所示。

表3 振動頻率校準數據 Hz

2.1.3 振動時間校準

根據GJB548B，振動試驗時間規定為3 s，因此僅對3 s 定時和最短定時0.1 s、最長定時25.5 s 進行校準即可。3 s 振動時間校準波形如圖3 所示。校準數據如表4 所示。

圖3 振動時間校準波形(3s)

表4 振動頻率校準數據 s

2.1.4 沖擊加速度幅度校準

對于沖擊加速度的校準，選取1000 g，2000 g 兩個校準點。由于沖擊臺在主沖擊峰后不會立刻靜止，后面還會有一些小的沖擊波形(如圖4)，因此在進行沖擊校準時，應盡量選擇較高的觸發電平或者采取單次觸發方式，以保證示波器采集的波形為沖擊波形的第一峰。1000 g 校準波形如圖5，沖擊加速度幅值校準數據如表5 所示。

圖4 沖擊校準波形(1000 g)

表5 沖擊加速度幅值校準數據 g

2.1.5 沖擊脈寬校準

沖擊脈寬的校準是在沖擊幅度校準采集的沖擊波形上，對其脈寬參數進行校準。1000g 沖擊波形的脈寬校準波形如圖6 所示。脈寬校準數據如表6 所示。

圖6 沖擊脈寬校準波形(1000 g)

表6 沖擊脈寬校準數據

2.2 測量不確定度分析

2.2.1 振動加速度幅值校準的測量不確定度

振動加速度幅度校準測量不確定度來源主要包括:振動校準裝置的加速度幅值測量不準引入的測量不確定度分量、重復多次測量引入的測量不確定度分量，以及周圍環境等引入的振動加速度幅值測量不確定度分量。以下以10 g 為例對測量不確定度進行分析評定。

1)重復測量引入的測量不確定度分量uA

設定PIND 振動加速度為10 g，振動頻率為60 Hz，重復獨立測量10 次，得到振動加速度幅值校準數據為9.96，9.92，9.92，9.96，9.98，9.96，9.94，9.90，9.94，9.92 g。

代入貝塞爾公式計算本次測量的實驗標準差:

計算得到A 類不確定度:uA=0.03 g

2)由振動校準裝置的加速度幅值測量不準引入的測量不確定度分量uB1

對于校準裝置引入的測量不確定度分量，屬于B類測量不確定度分量。根據上級計量部門給出的檢定證書，校準裝置的最大允許相對誤差為3%，最大允許絕對誤差為0.3 g。取半寬區間，為均勻分布，k =，則引入的測量不確定度分量為

3)周圍環境等引入的測量不確定度分量uB2

周圍環境等引入的測量不確定度分量無法準確評估，設為uB2= 0.01 g。

4)計算合成標準不確定度

設以上引入各不確定度的因素獨立且不相關，則

5)擴展不確定度評定

取包含因子k=2，則

擴展不確定度U = k × uc= 0.35 g(k=2)，相對擴展測量不確定度為3.5% (k=2)。

2.2.2 振動頻率校準的測量不確定度

振動頻率校準的測量不確定度主要來源:頻率計頻率測量不準引入的測量不確定度分量、重復多次測量引入的測量不確定度分量、電荷放大器DHF －2 和壓電傳感器YD－12 頻率響應范圍引入的測量不確定度分量。以下以60 Hz 校準點為例進行測量不確定度的評定。

1)測量重復性引入的測量不確定度分量uA

設定PIND 振動加速度為10 g，振動頻率為60 Hz，重復獨立測量10 次，得到振動頻率校準數據分別為60.40，60.26，60.38，60.40，60.26，60.32，60.29，60.44，60.47，60.26 Hz。

代入貝塞爾公式計算本次測量的實驗標準差:

計算得到A 類不確定度:uA=0.08 Hz

2)由頻率計53131A 頻率測量不準引入的測量不確定度分量uB1

根據53131A 的技術手冊，53131A 的最大允許誤差為± 0.01%，校準60 Hz 的最大允許絕對誤差為0.006 Hz。取半寬區間，為均勻分布，k =，則引入的測量不確定度分量為

3)由壓電傳感器和電荷放大器頻率響應范圍引入的測量不確定度分量uB2

由于壓電傳感器的頻率響應范圍為1 Hz ～10 kHz，電荷放大器的頻率響應范圍為0.3 Hz ～100 kHz，這與被測頻率相差數個量級，因此由壓電傳感器和電荷放大器頻率范圍引起的測量不確定度分量可以忽略不計。

4)計算合成標準不確定度

設以上引入各不確定度的因素獨立且不相關，則

5)擴展不確定度評定

取包含因子k=2，則

擴展不確定度U = k ×uc= 0.18 Hz(k=2)，相對擴展測量不確定度為0.3% (k=2)。

2.2.3 振動時間的測量不確定度

振動時間校準的測量不確定度主要來源:示波器時間間隔測量不準引入的測量不確定度分量、重復多次測量引入的測量不確定度分量。以下以3 s 校準點為例進行測量不確定度的評定。

1)測量重復性引入的測量不確定度分量uA

設定PIND 振動加速度為10 g，振動頻率為60 Hz，振動時間為3 s。重復獨立測量振動時間10 次，得到振動時間校準數據分別為3.02，3.00，2.99，2.99，3.01，3.00，3.01，2.99，3.00，3.01 s。

代入貝塞爾公式計算本次測量的實驗標準差:

計算得到A 類不確定度:uA=0.01s

2)由示波器時間間隔測量不準引入的測量不確定度分量uB1

根據DPO4104B 的技術手冊，時間間隔測量的最大允許誤差為±1%，校準3 s 的最大允許絕對誤差為0.03 s。取半寬區間為均勻分布，k =，則引入的測量不確定度分量為

3)計算合成標準不確定度

設以上引入各不確定度的因素獨立且不相關，則

4)擴展不確定度評定

取包含因子k=2，則

擴展不確定度U = k×uc≈0.05 s(k=2)，相對擴展不確定度為1.7% (k=2)。

2.2.4 沖擊加速度幅值校準的測量不確定度

沖擊加速度幅度校準測量不確定度來源主要包括:沖擊校準裝置的加速度幅值測量不準引入的測量不確定度分量、重復多次測量引入的測量不確定度分量。以下以1000g 為例對測量不確定度進行分析評定。

1)重復測量引入的測量不確定度分量uA

設定PIND 沖擊加速度為1000g，重復獨立測量10次，得到沖擊加速度幅值校準數據分別為996，992，990，997，989，990，987，996，991，996 g。

代入貝塞爾公式計算本次測量的實驗標準差:

計算得到A 類不確定度:uA=3.6 g

2)由沖擊校準裝置的加速度幅值測量不準引入的測量不確定度分量uB1

根據上級計量部門給出的檢定證書，校準裝置的最大允許相對誤差為5%，絕對最大允許誤差為50 g。取半寬區間，為均勻分布，，則引入的測量不確定度分量為

3)計算合成標準不確定度

設以上引入各不確定度的因素獨立且不相關，則

4)擴展不確定度評定

取包含因子k=2，則

擴展不確定度U = k × uc= 60 g(k=2)，相對擴展測量不確定度為6% (k=2)。

2.2.5 沖擊脈寬校準的測量不確定度

沖擊脈寬校準的測量不確定度主要來源:示波器時間間隔測量不準引入的測量不確定度分量、由示波器電壓測量誤差引起的閾值不準引入的測量不確定度分量以及多次重復測量引入的測量不確定度分量。以下以1000 g 沖擊加速度脈寬為例進行測量不確定度的評定。

1)測量重復性引入的測量不確定度分量uA

設定PIND 沖擊加速度為1000 g，利用示波器重復獨立測量沖擊脈寬10 次，得到沖擊脈寬的校準數據分別 為103.6，104.2，103.6，104.9，103.6，105.2，106.0 ，105.7，104.0，107.4 μs 。

代入貝塞爾公式計算本次測量的實驗標準差:

計算得到A 類不確定度:uA=1.3 μs

2)由示波器時間間隔測量不準引入的測量不確定度分量uB1

根據DPO4104B 的技術手冊，時間間隔測量的最大允許誤差為±1%，校準104 μs 的最大允許絕對誤差為1.04 μs。取半寬區間為均勻分布，，則引入的測量不確定度分量為

3)由于示波器電壓測量誤差引起時間閾值不準引入的測量不確定度分量uB2

設沖擊脈沖上升沿的10%峰值處的斜率絕對值為k1，下降沿的10%峰值處的斜率絕對值為k2，根據波形可以估算k1=0.3 V/μs，k2=0.15 V/μs。由于示波器電壓測量最大允許誤差為± 1%，標稱閾值電壓0.992V，故由上升沿和下降沿電壓閾值不準引入的脈寬測量測量不確定度分量分別為

由于上升沿和下降沿的閾值測量相互獨立，因此由示波器電壓測量誤差引起的閾值不準引入的測量不確定度分量為

4)計算合成標準不確定度

設以上引入各不確定度的因素獨立且不相關，則

5)擴展不確定度評定

取包含因子k=2，則

擴展不確定度U = k×uc≈3μs(k=2)，相對擴展不確定度為3% (k=2)。

3 結論

本文論述了粒子碰撞噪聲檢測儀關鍵參數的校準方法，并給出了校準實例和測量不確定度的評定方法。對于解決粒子碰撞噪聲檢測儀的校準和量值溯源問題，具有一定借鑒作用。

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