關(guān)于《X射線單晶體定向儀校準(zhǔn)規(guī)范》的探討

1 規(guī)范制訂的背景和依據(jù)

X射線單晶體定向儀（以下簡稱定向儀）是測量單晶體晶面角度的專用計量儀器，它廣范地應(yīng)用在晶體切割、研磨和半導(dǎo)體器件加工等生產(chǎn)中的測量儀器，相當(dāng)于生產(chǎn)線上的卡尺和角度尺一樣應(yīng)用那樣普遍。

隨電子工業(yè)不斷發(fā)展，對定向儀的需求量越來越大，技術(shù)水平要求越來越高，品種規(guī)格需要越來越多，使用單位分布越來越廣，遍布全國各地，尤其是沿海各省和中部省區(qū)。定向儀對單晶體的晶面角度檢測和精確與否直接關(guān)系到電子器件的放大倍數(shù)和振蕩頻率等關(guān)鍵指標(biāo)，所以對電子工業(yè)的發(fā)展起到至關(guān)重要作用。為了加強定向儀在生產(chǎn)線上使用和管理，保證量值傳遞準(zhǔn)確，滿足定向儀出口的需要，進一步適應(yīng)形勢的發(fā)展，需要對定向儀制訂一個校準(zhǔn)規(guī)范。為此，由丹東市計量測試技術(shù)研究所負責(zé)起草制定了JJF 1256-2010《X射線單晶體定向儀》校準(zhǔn)規(guī)范。經(jīng)國家質(zhì)監(jiān)總局批準(zhǔn)于2010年6月11日發(fā)布，并自2010年9月10日起實施。

2 校準(zhǔn)規(guī)范中計量性能要求的確定

在定向儀的計量性能要求確定中，主要圍繞性能指標(biāo)的水平、穩(wěn)定可靠和安全三個方面，引用了JJG（遼）42-98《X射線定向儀校準(zhǔn)規(guī)范》；JB/T5482-2003《X射線晶體定向儀技術(shù)條件》行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)；JB/8764-1998《工業(yè)探傷用X射線管通用技術(shù)條件》和日本理學(xué)公司同類產(chǎn)品技術(shù)條件等技術(shù)文獻，并在引用中做了修改和增刪，最終確定了五項計量性能要求。

（1）角度分辨率的校準(zhǔn)方法在定向儀的技術(shù)條件和遼寧省地方校準(zhǔn)規(guī)范中，都是以[μA]表下降到最大值的97%，記錄下角與13°20'之差，不得大于30\"。操作困難誤差很大，不易判斷。日本理學(xué)公司和荷蘭飛利浦公司等都是以半峰寬為性能指標(biāo)。為了產(chǎn)品進入國際市場與國際接軌，我們將性能指標(biāo)和校準(zhǔn)方法都做了修訂。

（2）X射線管的焦點尺寸，在定向儀上很難測定，也無法判斷合格和不合格，因為實際焦點尺寸是4×1mm在定向儀上只能測有效焦點，這個焦點尺寸與測角儀“0”線與X射線管軸線夾角有關(guān)，假如是6°角有效焦點尺寸應(yīng)該是4×0.1mm。因此對X射線管焦點尺寸納入到X射線管通用技術(shù)條件中考核，不列入校準(zhǔn)規(guī)范性能要求中，把定向儀的空氣比釋動能率列入性能要求，是作為X射線管壽命和衰老程度的考核指標(biāo)。

（3）其余各項是根據(jù)用戶使用中經(jīng)常出現(xiàn)的問題，定向儀長時間工作[μA]表示值漂移和保證人身安全等方面列入校準(zhǔn)規(guī)范性能要求。

3 校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法的確定過程

為了使方法制訂的合理，盡可能與國外發(fā)達國家水平接近或相同，又要結(jié)合我國國情，使性能指標(biāo)不是高不可攀也不是輕而一舉就可達到。校準(zhǔn)方法力求合理可行，真實地反映出性能指標(biāo)的準(zhǔn)確性，避免模楞兩可和不確切的校準(zhǔn)方法，為此我們深入定向儀制造廠和使用單位，進一步驗證指標(biāo)的合理性和方法的可行性。把某些性能指標(biāo)和校準(zhǔn)方法分別發(fā)給遼東射線儀器有限公司和丹東七寶電器設(shè)備制造廠進行測量，將兩個單位測量的結(jié)果，通過分析匯總，確定性能指標(biāo)和校準(zhǔn)方法。例如：在確定角度分辨率的性能指標(biāo)和校準(zhǔn)方法時，兩個單位測量的結(jié)果接近一致，所以確定單晶體定向儀角度分辨率為±2[°]，雙晶體定向儀為±30\"。

《X射線單晶體定向儀》校準(zhǔn)規(guī)范制訂中，丹東計量測試技術(shù)研究所的校準(zhǔn)規(guī)范制訂人員，深入到定向儀制造廠，腳踏實地進行實驗和驗證，廣泛征求定向儀使用單位在生產(chǎn)線上應(yīng)用和管理中的意見，由于我們收集到的國內(nèi)外相關(guān)資料不多，加上技術(shù)水平和條件所限，因此本規(guī)范難免有不妥之處，希望有關(guān)專家和領(lǐng)導(dǎo)提出寶貴指導(dǎo)意見，以便修改和充實。